13.02.2018
№218.016.283f
СПОСОБ ПОЛУЧЕНИЯ КРЕМНИЕВОЙ СТРУКТУРЫ
Вид РИД
Изобретение
№ охранного документа
0001559784
Дата охранного документа
10.04.2016
Аннотация:
Способ получения кремниевой структуры, включающий формирование на рабочей поверхности пластины-источника заданного рельефа, сборку композиции подложка-источник, нагрев композиции до температуры 750-1050°C, заполнение зазора между источником и подложкой раствором-расплавом в течение 5-10 мин через торец композиции и последующее перемещение раствора-расплава через источник в поле градиента температуры, отличающийся тем, что, с целью повышения качества структур, рельеф формируют в виде усеченных пирамид высотой 5-50 мкм и площадью вершины 100-3600 мкм с шагом 500-800 мкм, после нагрева торец композиции приводят в контакт с насыщенным раствором кремния в расплаве алюминия, а перед перемещением раствора-расплава композицию нагревают до 1100-1200°C и выдерживают при этой температуре в течение 2-5 мин.
Источник поступления информации:
Роспатент
Показаны записи 1-5 из 5.
13.02.2018
№218.016.2797
Способ получения кремниевых структур
Способ получения кремниевых структур, включающий механическую обработку подложки и источника в виде пластин из кремния, химическую обработку подложки, размещение пластин обработанными сторонами друг к другу, формирование слоя жидкой зоны между ними путем приведения навески растворителя в...
Тип: Изобретение
Номер охранного документа: 0001358485
Дата охранного документа: 10.04.2016
13.02.2018
№218.016.27a2
Способ получения кремниевых эпитаксиальных слоев р-типа проводимости
Способ получения кремниевых эпитаксиальных слоев р-типа проводимости, включающий создание узкого зазора между подложкой и пластиной-источником на основе поликристаллического кремния, нагрев системы до температуры эпитаксии, введение в зазор насыщенного при температуре эпитаксии раствора кремния...
Тип: Изобретение
Номер охранного документа: 0001625263
Дата охранного документа: 10.04.2016
13.02.2018
№218.016.27d9
Способ изготовления кремниевых структур
Способ изготовления кремниевых структур с p-n-переходом, включающий приведение в контакт кремниевой подложки n-типа с кремниевой пластиной, их совместный нагрев, формирование между ними слоя равновесного раствора - расплава Al-Si, выдержку и охлаждение, отличающийся тем, что, с целью уменьшения...
Тип: Изобретение
Номер охранного документа: 0001414017
Дата охранного документа: 10.04.2016
13.02.2018
№218.016.2837
Способ получения гетероструктур на основе кремния
Способ получения гетероструктур на основе кремния, включающий формирование кремниевой композиции из подложки и источника, установленных с зазором, их нагрев, введение в зазор расплава алюминия с образованием слоя раствора-расплава и зонную перекристаллизацию источника через этот слой под...
Тип: Изобретение
Номер охранного документа: 0001524555
Дата охранного документа: 10.04.2016
13.02.2018
№218.016.2855
Способ получения эпитаксиальных слоев кремния
Способ получения эпитаксиальных слоев кремния, включающий создание композиции из двух кремниевых пластин с заданным зазором между ними, капиллярное втягивание в зазор расплава, содержащего алюминий, формирование зоны раствора-расплава и последующее ее перемещение в поле температурного градиента...
Тип: Изобретение
Номер охранного документа: 0001591539
Дата охранного документа: 10.04.2016
