×

Автор РИД: Крыжановский В.П.

Показаны записи 1-1 из 1.
13.02.2018
№218.016.283f

Способ получения кремниевой структуры

Способ получения кремниевой структуры, включающий формирование на рабочей поверхности пластины-источника заданного рельефа, сборку композиции подложка-источник, нагрев композиции до температуры 750-1050°C, заполнение зазора между источником и подложкой раствором-расплавом в течение 5-10 мин...
Тип: Изобретение
Номер охранного документа: 0001559784
Дата охранного документа: 10.04.2016
+ добавить свой РИД