13.02.2018
№218.016.2797
СПОСОБ ПОЛУЧЕНИЯ КРЕМНИЕВЫХ СТРУКТУР
Вид РИД
Изобретение
№ охранного документа
0001358485
Дата охранного документа
10.04.2016
Аннотация:
Способ получения кремниевых структур, включающий механическую обработку подложки и источника в виде пластин из кремния, химическую обработку подложки, размещение пластин обработанными сторонами друг к другу, формирование слоя жидкой зоны между ними путем приведения навески растворителя в контакт с торцом пластин, нагрев, выдержку и последующую перекристаллизацию источника, под действием градиента температуры, отличающийся тем, что, с целью повышения качества и увеличения выхода годных структур, после механической обработки на поверхности пластин формируют слои пористого кремния плотностью 35-55% при толщине этого слоя, на подложке, равной глубине нарушенного слоя, и на источнике - равной заданной толщине слоя жидкой зоны, выбираемой из диапазона 10-100 мкм, химическую обработку подложки ведут до удаления слоя пористого кремния, нагрев при формировании слоя жидкой зоны ведут до 950-1100°C, а выдержку осуществляют в течение 10-15 мин.
Источник поступления информации:
Роспатент
Показаны записи 1-5 из 5.
13.02.2018
№218.016.27a2
Способ получения кремниевых эпитаксиальных слоев р-типа проводимости
Способ получения кремниевых эпитаксиальных слоев р-типа проводимости, включающий создание узкого зазора между подложкой и пластиной-источником на основе поликристаллического кремния, нагрев системы до температуры эпитаксии, введение в зазор насыщенного при температуре эпитаксии раствора кремния...
Тип: Изобретение
Номер охранного документа: 0001625263
Дата охранного документа: 10.04.2016
13.02.2018
№218.016.27d9
Способ изготовления кремниевых структур
Способ изготовления кремниевых структур с p-n-переходом, включающий приведение в контакт кремниевой подложки n-типа с кремниевой пластиной, их совместный нагрев, формирование между ними слоя равновесного раствора - расплава Al-Si, выдержку и охлаждение, отличающийся тем, что, с целью уменьшения...
Тип: Изобретение
Номер охранного документа: 0001414017
Дата охранного документа: 10.04.2016
13.02.2018
№218.016.2837
Способ получения гетероструктур на основе кремния
Способ получения гетероструктур на основе кремния, включающий формирование кремниевой композиции из подложки и источника, установленных с зазором, их нагрев, введение в зазор расплава алюминия с образованием слоя раствора-расплава и зонную перекристаллизацию источника через этот слой под...
Тип: Изобретение
Номер охранного документа: 0001524555
Дата охранного документа: 10.04.2016
13.02.2018
№218.016.283f
Способ получения кремниевой структуры
Способ получения кремниевой структуры, включающий формирование на рабочей поверхности пластины-источника заданного рельефа, сборку композиции подложка-источник, нагрев композиции до температуры 750-1050°C, заполнение зазора между источником и подложкой раствором-расплавом в течение 5-10 мин...
Тип: Изобретение
Номер охранного документа: 0001559784
Дата охранного документа: 10.04.2016
13.02.2018
№218.016.2855
Способ получения эпитаксиальных слоев кремния
Способ получения эпитаксиальных слоев кремния, включающий создание композиции из двух кремниевых пластин с заданным зазором между ними, капиллярное втягивание в зазор расплава, содержащего алюминий, формирование зоны раствора-расплава и последующее ее перемещение в поле температурного градиента...
Тип: Изобретение
Номер охранного документа: 0001591539
Дата охранного документа: 10.04.2016
