Автор РИД: Габова Л.С.

Способ получения кремниевых структур, включающий механическую обработку подложки и источника в виде пластин из кремния, химическую обработку подложки, размещение пластин обработанными сторонами друг к другу, формирование слоя жидкой зоны между ними путем приведения навески растворителя в...