×
25.08.2017
217.015.b688

Результат интеллектуальной деятельности: СПОСОБ ПОЛУЧЕНИЯ НАНОРАЗМЕРНЫХ ПОРОШКОВ ЭЛЕМЕНТОВ И ИХ НЕОРГАНИЧЕСКИХ СОЕДИНЕНИЙ И УСТРОЙСТВО ДЛЯ ЕГО ОСУЩЕСТВЛЕНИЯ

Вид РИД

Изобретение

Аннотация: Изобретение может быть использовано для получения наноразмерных порошков элементов и их неорганических соединений методом «испарения - конденсации» в потоке газа. Перерабатываемый материал подают в виде грубодисперсного порошка с размером частиц не менее 1 мм. Для его испарения используют поток энергии СВЧ электромагнитного излучения с частотой в диапазоне 20-1200 ГГц, сфокусированный до размера длины волны используемого излучения. Газодисперсный поток с образовавшимися в результате конденсации паров перерабатываемого материала наноразмерными частицами охлаждают в теплообменнике и фильтруют для выделения частиц. Устройство для получения наноразмерных порошков элементов и их неорганических соединений содержит источник высококонцентрированного потока энергии, узел испарения - конденсации, теплообменник для охлаждения газодисперсного потока и фильтр для выделения наноразмерного порошка. Устройство включает гиротрон как источник энергии и квазиоптическое устройство фокусирования СВЧ-излучения. Изобретение позволяет повысить производительность процесса получения наноразмерных порошков, исключив радиационную опасность. 2 н.п. ф-лы, 1 ил., 4 пр.

Изобретение относится к области нанотехнологий, в частности к технологиям получения наноразмерных порошков оксидов элементов.

Наноразмерные порошки элементов и их неорганических соединений с размером частиц менее 100 нм находят широкое применение в различных приложениях - создании наноструктурных материалов и покрытий с особыми свойствами, в биологии и медицине для селективного воздействия на клетки тканей и направленного транспорта лекарственных средств, для защиты окружающей среды от токсичных соединений и др.

В настоящее время известно порядка сотни методов и их модификаций для получения наночастиц элементов, их соединений и композиций со свойствами, которые могут варьироваться за счет изменения параметров процесса и его аппаратурного оформления. Одно из ведущих мест в получении наночастиц занимают процессы «испарения - конденсации», в которых формирование наночастиц происходит при конденсации пересыщенного пара целевого продукта, предварительно образовавшегося в результате испарения исходного сырья и последующего охлаждения пара. К наиболее универсальному варианту проведения процесса «испарения - конденсации» может быть отнесено испарение объема материала под воздействием концентрированного потока энергии (электрическая дуга, излучение лазера, поток электронов) с последующей конденсацией в потоке инертного или химически активного газа.

Подвод энергии к испаряемому материалу осуществляется с использованием:

- электрической дуги (Takayuki Watanabe, Manabu Tanaka. Thermal plasma processing for functional nanoparticle synthesis. 16 ASEAN Regional Symp. on Chemical Engineering. Dec. 1-2, 2009. Manila Hotel, Philippines. Technical keynote, p. 47-50. http://www.chem-eng.kyushu-u.ac.jp/lab5/Media/PDF-conf/RSCE09.pdf.);

- излучения лазера (Иванов М.Г., Котов Ю.А., Комаров В., Саматов О.М., Сухов А.В. Синтез нанопорошков мощным излучением волоконно-иттербиевого лазера. Фотоника, 2009, №3, с. 18-20);

- потока ускоренных электронов (Бардаханов С.П., Кончагин А.И., Куксанов А.И. Получение нанопорошков испарением исходных веществ на ускорителе электронов при атмосферном давлении, Доклады Академии наук, 2006, т. 409, №3, с. 320-323).

Электродуговой процесс может быть реализован при мощности до сотен киловатт, что обеспечивает максимальные значения производительности и энергетического кпд в рассматриваемой группе процессов. Однако недостатком данного способа является наличие эрозии электродов, что не позволяет получать высокочистый целевой продукт.

Лазерное испарение характеризуется низкой производительностью и очень высокими затратами электроэнергии.

Известные к настоящему времени способы получения нанопорошков элементов и их неорганических соединений методом «испарения - конденсации» характеризуются серьезными недостатками, к числу которых прежде всего относятся низкие производительность и энергоэффективность. Для создания высокопроизводительного, ресурсо- и энергоэффективного процесса получения нанопорошков необходим поиск принципиального новых подходов к решению данной проблемы.

Наиболее близким по технической сущности и достигаемому результату к предлагаемому изобретению является способ и устройство получения ультрадисперсных порошков диоксида кремния (патент РФ №2067077, 1996 г.). Способ предусматривает нагрев исходного минерала - диоксида кремния релятивистским пучком электронов при атмосферном давлении, обеспечивающем образование паров диоксида кремния и их последующую конденсацию с образованием ультрадисперсных частиц при смешении с вводимым потоком воздуха. Далее газодисперсный поток охлаждается и осуществляется выделение из него ультрадисперсного порошка диоксида кремния.

Устройство для получения порошка содержит ускоритель электронов высокой удельной мощности, установленный соосно над испарительной камерой, выполненной в виде огнеупорного тигля, связанного с питателем для подачи диоксида кремния и содержащей набор щелевых отверстий в верхней части боковой стенки для создания направленного газодисперсного потока, содержащего испаренный диоксид кремния. Испарительная камера посредством осевого канала соединена с расширительной камерой, теплообменником и вихревым пылеуловителем.

Использование потока электронов предопределяет существенные недостатки рассматриваемого способа и устройства - сложность конструкции, использующей ускоритель электронов, высокие энергозатраты и ограниченную производительность процесса, кроме того, электронные пучки обладают радиационной опасностью.

Техническая задача, решаемая предлагаемым изобретением, предусматривает использование генераторов сверхвысокочастотного (СВЧ) электромагнитного поля миллиметрового диапазона длин волн - гиротронов - для нагрева и испарения исходного материала в процессах получения наноразмерных порошков методом «испарения - конденсации».

В настоящее время созданы и эксплуатируются СВЧ-генераторы миллиметрового диапазона длин волн - гиротроны, работающие на частотах в диапазоне 24-1000 ГГц мощностью 5-1000 кВт и коэффициенте полезного действия до 60% (Запевалов В.Е. Эволюция гиротронов. Изв. ВУЗов, Радиофизика, 2011, т. 54, №8-9, с. 559-572. Генерация и усиление сигналов терагерцового диапазона. Под ред. А.Е. Храмова, А.Г. Баланова, В.Д. и др. Саратов, СГТУ, 2016, 460 с. Гиротронные комплексы - разработка и применение. Непрерывные гиротроны. ЗАО НПП "Гиком". http://www.gycom.ru/products/pr7.html). Увеличение частоты электромагнитного поля при переходе в миллиметровый диапазон длин волн обеспечивает повышение эффективности нагрева материала в процессах их получения и обработки вследствие возрастания коэффициента поглощения СВЧ-энергии. Кроме того, увеличение частоты и, соответственно, уменьшение длины волны излучения обеспечивает возможность его фокусировки до пятна с характерным размером порядка миллиметров и достижения высоких плотностей потока энергии, воздействующего на материал. С использованием сфокусированных потоков СВЧ-излучения с высокой плотностью мощности может быть осуществлен локальный нагрев материала до температур испарения и, соответственно, реализованы процессы получения нанопорошков методом «испарения - конденсации».

Использование гиротронов, непрерывная мощность которых, как указано выше, достигает 1000 кВт при коэффициенте полезного действия до 60%, обеспечит возможность создания высокопроизводительных и энергоэффективных процессов получения наноразмерных порошков оксидов элементов.

Технический результат достигается тем, что получение наноразмерных порошков элементов и их неорганических соединений методом «испарения - конденсации» в потоке газа под воздействием потока энергии на перерабатываемый материал осуществляется при подаче материал в виде грубодисперсного порошка с размером частиц не менее 1 мм и для его испарения используется поток энергии СВЧ электромагнитного излучения с частотой в диапазоне 20-1200 ГГц, сфокусированный до размера длины волны используемого излучения, и газодисперсный поток с образовавшимися в результате конденсации паров перерабатываемого материала наноразмерными частицами охлаждают в теплообменнике и фильтруют для выделения частиц.

Устройство для получения наноразмерных порошков элементов и их неорганических соединений содержит источник высококонцентрированного потока энергии, узел испарения - конденсации, теплообменник для охлаждения газодисперсного потока и фильтр для выделения наноразмерного порошка, при этом в устройстве используется гиротрон как источник энергии и квазиоптическое устройство фокусирования СВЧ-излучения, которое обеспечивает формирование пятна с размером длины волны, т.е. 15-0.25 мм.

Указанный диапазон частот соответствует используемому в существующих конструкциях гиротронов, при этом следует учитывать, что с повышением частоты уменьшается размер пятна сфокусированного СВЧ-излучения и при постоянной мощности возрастает плотность потока энергии и, соответственно, температура в зоне пятна. Поэтому для испарения материалов с высокой температурой кипения следует использовать более высокие частоты СВЧ-излучения.

Существующие гиротронные комплексы мощностью 5-1000 кВт, оснащенные фокусирующим устройством, в непрерывном режиме работы обеспечивают плотность потока энергии к обрабатываему материалу от 3 до порядка 105 кВт/см2 в указанном выше диапазоне частот, при этом кпд гиротрона достигает 60%. Достигаемые плотности потока СВЧ-энергии позволяют обеспечить испарение любых материалов, быстрое охлаждение паров которых, например, при смешении с холодным газом будет приводить к образованию наноразмерных частиц.

Схема установки для получения наноразмерных порошков оксидов элементов методом «испарение - конденсация», использующей испарение исходного сырья при воздействии сфокусированного СВЧ-излучения миллиметрового диапазона длины волны, представлена на рис. 1.

В гиротронном комплексе (1), являющемся источником высококонцентрированного потока энергии, генерируется электромагнитное излучение миллиметрового диапазона длин волн, которое по волноводному тракту (2) направляется в технологический блок. Волноводный тракт включает фильтр мод, преобразователь мод, СВЧ-окно, преобразователь моды в гауссов пучок. Фильтр мод предназначен для исключения попадания отраженной мощности в гиротрон, что может привести к его повреждению. Преобразователь мод обеспечивает дальнейшее преобразование излучения в гауссов пучок. После преобразователя мод в подводящем тракте СВЧ-излучения установлено охлаждаемое СВЧ-окно. Окно необходимо для отсечения технологического блока от волноводного тракта и предотвращения попадания в него порошков.

В технологическом блоке (3) размещено фокусирующее зеркало (4), которое фокусирует СВЧ-излучение на поверхности перерабатываемого материала, находящегося в вертикально расположенном гарниссажном тигле (4). Использование тигля с гарниссажем из перерабатываемого материала исключает загрязнение получаемого продукта соединениями, присутствующими в материале тигля. Подача перерабатываемого материала в тигель осуществляется питателем (5). Над тиглем расположено кварцевое окно, через которое проходит СВЧ-излучение к поверхности перерабатываемого материала. Непосредственно под окном расположены каналы ввода холодного газа (6) к поверхности испарения, при смешении которого с парами перерабатываемого материала происходит формирование наноразмерных частиц. Тигель вместе с кварцевым окном и каналами ввода холодного газа образуют узел испарения - конденсации. Теплообменник (7) обеспечивает охлаждение газодисперсного потока, содержащего наноразмерные частицы. Для выделения частиц из потока используется фильтр (8).

Предлагаемый способ получения наноразмерных порошков реализуется следующим образом.

Перерабатываемый материал, которым могут быть индивидуальные или сложные оксиды элементов, а также их смеси в виде грубодисперсного порошка с размером частиц не менее 1 мм, подается в гарниссажный тигель дозирующим устройством. Использование порошка с указанным размером частиц предотвращает их вынос газовым потоком и попадание в получаемый наноразмерный порошок. На горизонтально расположенную поверхность материала по нормали направляется сфокусированный поток СВЧ-излучения.

В области фокального пятна происходит нагрев, плавление и испарение перерабатываемого материала. Поверхность материала обдувается потоком газа кислородсодержащего газа (воздух или другие кислородно-азотные смеси) при смешении с которым происходит конденсация паров с образованием наноразмерных частиц. Изменение расхода газа и скорости его течения может использоваться для управления размером формирующихся наночастиц. Далее газодисперсный поток охлаждается в теплообменнике и поступает на фильтр, где происходит выделение наноразмерных частиц.

Пример 1

На уплотненный слой порошка оксида вольфрама WO3 с размером частиц 1-4 мм воздействует сфокусированный поток СВЧ-излучения, генерируемого в гиротроне. Выходная мощность гиротрона, работающего в непрерывном режиме, составляет 1 кВт, рабочая частота - 263 ГГц. Диаметр сфокусированного пятна СВЧ-излучения на поверхности материала 1.2 мм. Поверхность оксида вольфрама обдувается по нормали потоком воздуха с расходом 12 м3/ч. Процесс осуществляется при давлении, близком к атмосферному.

Полученный порошок является оксидом вольфрама WO3 состоит из частиц, размеры которых находятся в диапазоне от 20 нм до 1 мкм, удельная поверхность порошка - 4.1 м2/г. Частицы имеют различную форму - близкую к сферической, а также форму октаэдров.

Производительность процесса составила 0.4 кг/ч, затраты электроэнергии - 2.5 кВтч/кг WO3.

Пример 2

На уплотненный слой порошка оксида олова SnO2 воздействует сфокусированный поток СВЧ-излучения, генерируемого в гиротроне. Выходная мощность гиротрона, работающего в непрерывном режиме, составляет 5.3-6,5 кВт, рабочая частота - 24 ГГц. Диаметр сфокусированного пятна СВЧ-излучения на поверхности материала 12 мм. Поверхность оксида вольфрама обдувается по нормали потоком воздуха с расходом 10 м3/ч. Процесс осуществляется при давлении, близком к атмосферному.

Полученный порошок оксида олова состоит из частиц с размерами 20-200 нм, преимущественно с равноосной формой и имеющих огранку, удельная поверхность порошка составляет 10.4 м2/г, что соответствует среднему размеру d32=85 нм.

Производительность процесса составила 0.09 кг/ч, затраты электроэнергии - 65 кВтч/кг SnO2.

Пример 3

На уплотненный слой порошка оксида цинка ZnO со средним размером частиц 1 мм воздействует сфокусированный поток СВЧ-излучения, генерируемого в гиротроне, работающем в непрерывном режиме на частоте 263 ГГц. Выходная мощность гиротрона составляет 1 кВт. Диаметр сфокусированного пятна СВЧ-излучения на поверхности материала 1.2 мм. Поверхность слоя порошка обдувается по нормали потоком аргона с расходом 6 м3/ч. Процесс осуществляется при давлении, близком к атмосферному.

Полученный порошок является оксидом цинка ZnO, имеет сложную морфологию и состоит в основном из двух видов частиц - ограненных стержней длиной до 200-300 нм и поперечным размером около 60 нм, а также нановискеров (нанонитей) приблизительно такой же длины, но с поперечным размером не более 20 нм, при этом в порошке присутствуют нановискеры, исходящие из общего ядра, - тетраподы. Производительность процесса составила 0.03 кг/ч, затраты электроэнергии - 33 кВтч/кг.

Пример 4

На порошок оксида олова SnO2 со средним размером частиц 2 мм воздействует сфокусированный поток СВЧ-излучения, генерируемого в гиротроне, работающем в непрерывном режиме на частоте 0.95 ГГц. Выходная мощность гиротрона составляет 0.9 кВт. Диаметр сфокусированного пятна СВЧ-излучения на поверхности материала 0.32 мм. Поверхность слоя порошка обдувается по нормали потоком воздуха с расходом 5 м3/ч. Процесс осуществляется при давлении, близком к атмосферному.

Полученный порошок является оксида олова SnO2 и состоит из частиц с размерами в диапазоне 20-150 нм, преимущественно с равноосной формой, удельная поверхность порошка составляет 13 м2/г, что соответствует среднему размеру d32=67 нм.

Производительность процесса составила 0.04 кг/ч, затраты электроэнергии - 22.5 кВтч/кг SnO2.


СПОСОБ ПОЛУЧЕНИЯ НАНОРАЗМЕРНЫХ ПОРОШКОВ ЭЛЕМЕНТОВ И ИХ НЕОРГАНИЧЕСКИХ СОЕДИНЕНИЙ И УСТРОЙСТВО ДЛЯ ЕГО ОСУЩЕСТВЛЕНИЯ
Источник поступления информации: Роспатент

Показаны записи 61-70 из 118.
19.01.2018
№218.015.ff1d

Листопрокатная клеть

Изобретение относится к прокатному производству, конкретно к конструкциям прокатных валков в клетях листопрокатных станов дуо, в том числе одноклетьевых. Комплект прокатных валков содержит пару валков с бочками цилиндрической формы, на которых выполнены геликоидальные выступы, имеющие форму...
Тип: Изобретение
Номер охранного документа: 0002629579
Дата охранного документа: 30.08.2017
20.01.2018
№218.016.1061

Устройство получения направленного экстремального ультрафиолетового излучения с длиной волны 11,2 нм ±1% для проекционной литографии высокого разрешения

Изобретение относится к области оптического приборостроения и касается устройства получения направленного экстремального ультрафиолетового излучения с длиной волны 11.2 нм ±1% для проекционной литографии высокого разрешения. Устройство включает в себя гиротрон, генерирующий пучок излучения...
Тип: Изобретение
Номер охранного документа: 0002633726
Дата охранного документа: 17.10.2017
20.01.2018
№218.016.184f

Способ получения композиционного металломатричного материала, армированного сверхупругими сверхтвердыми углеродными частицами

Изобретение относится к получению композиционного металломатричного материала, армированного сверхупругими сверхтвердыми углеродными частицами. Способ включает приготовление смеси порошков металла и фуллеритов и ее прессование при давлении 5-8 ГПа и температурах 800-1000°С с обеспечением...
Тип: Изобретение
Номер охранного документа: 0002635488
Дата охранного документа: 13.11.2017
20.01.2018
№218.016.1b8b

Реактор со стабилизированной высокотемпературной приосевой струей

Изобретение относится к области высокотемпературных аппаратов, используемых в химических и металлургических производствах, в частности к реактору со стабилизированной высокотемпературной приосевой струей периферийным вихревым потоком. Реактор включает корпус с рубашкой охлаждения,...
Тип: Изобретение
Номер охранного документа: 0002636704
Дата охранного документа: 27.11.2017
10.05.2018
№218.016.3971

Способ получения нанопорошка оксинитрида алюминия

Изобретение относится к получению нанопорошка оксинитрида алюминия. Тонкодисперсный порошок алюминия вводят в поток термической плазмы, в котором осуществляют взаимодействие паров алюминия с аммиаком в присутствии кислорода в количестве, отвечающем атомному соотношению элементов 1,16
Тип: Изобретение
Номер охранного документа: 0002647075
Дата охранного документа: 13.03.2018
09.06.2018
№218.016.5cf4

Рабочее вещество для термолюминесцентной дозиметрии рентгеновского и гамма-излучения

Изобретение относится к области радиоэкологического мониторинга и дозиметрии рентгеновского и гамма-излучения и может быть использовано в персональных и аварийных дозиметрах для определения дозозатрат персонала рентгеновских кабинетов, мобильных комплексов радиационного контроля, зон с...
Тип: Изобретение
Номер охранного документа: 0002656022
Дата охранного документа: 30.05.2018
09.06.2018
№218.016.5f85

Способ получения проволоки из сплава титан-ниобий-тантал-цирконий с эффектом памяти формы

Изобретение относится к области металлургии, а именно к деформационно-термической обработке сплавов титан-ниобий-тантал-цирконий с эффектом памяти формы и может быть использовано в металлургии, машиностроении и медицине, в частности при изготовлении медицинских устройств типа «стент»,...
Тип: Изобретение
Номер охранного документа: 0002656626
Дата охранного документа: 06.06.2018
16.06.2018
№218.016.62ea

Способ получения биоцемента на основе карбоната кальция для заполнения костных дефектов

Изобретение относится к области медицины, а именно к керамическим и цементным материалам, и раскрывает способ получения биоцемента на основе карбоната кальция для заполнения костных дефектов. Способ характеризуется тем, что цементный раствор получают в результате последовательного добавления в...
Тип: Изобретение
Номер охранного документа: 0002657568
Дата охранного документа: 14.06.2018
12.07.2018
№218.016.700b

Способ повышения критической температуры сверхпроводящего перехода в поверхностном слое высокотемпературного сверхпроводника

Изобретение относится к способам повышения критической температуры сверхпроводящего перехода (Тс) в высокотемпературных сверхпроводниках (ВТСП) и может быть использовано для создания различного рода датчиков и счетчиков в сверхбыстродействующих электронных устройствах, криоэлектронных приборах,...
Тип: Изобретение
Номер охранного документа: 0002660806
Дата охранного документа: 10.07.2018
05.09.2018
№218.016.8316

Керамический материал с низкой температурой спекания на основе диоксида циркония тетрагональной модификации

Изобретение относится к области получения высокоплотной керамики на основе тетрагонального диоксида циркония. Технический результат изобретения - увеличение прочности материалов, спекающихся до плотного состояния при низкой температуре 1300-1350°С. Керамический материал содержит добавку ниобат...
Тип: Изобретение
Номер охранного документа: 0002665734
Дата охранного документа: 04.09.2018
Показаны записи 61-70 из 74.
20.01.2018
№218.016.1061

Устройство получения направленного экстремального ультрафиолетового излучения с длиной волны 11,2 нм ±1% для проекционной литографии высокого разрешения

Изобретение относится к области оптического приборостроения и касается устройства получения направленного экстремального ультрафиолетового излучения с длиной волны 11.2 нм ±1% для проекционной литографии высокого разрешения. Устройство включает в себя гиротрон, генерирующий пучок излучения...
Тип: Изобретение
Номер охранного документа: 0002633726
Дата охранного документа: 17.10.2017
20.01.2018
№218.016.184f

Способ получения композиционного металломатричного материала, армированного сверхупругими сверхтвердыми углеродными частицами

Изобретение относится к получению композиционного металломатричного материала, армированного сверхупругими сверхтвердыми углеродными частицами. Способ включает приготовление смеси порошков металла и фуллеритов и ее прессование при давлении 5-8 ГПа и температурах 800-1000°С с обеспечением...
Тип: Изобретение
Номер охранного документа: 0002635488
Дата охранного документа: 13.11.2017
20.01.2018
№218.016.1b8b

Реактор со стабилизированной высокотемпературной приосевой струей

Изобретение относится к области высокотемпературных аппаратов, используемых в химических и металлургических производствах, в частности к реактору со стабилизированной высокотемпературной приосевой струей периферийным вихревым потоком. Реактор включает корпус с рубашкой охлаждения,...
Тип: Изобретение
Номер охранного документа: 0002636704
Дата охранного документа: 27.11.2017
10.05.2018
№218.016.3971

Способ получения нанопорошка оксинитрида алюминия

Изобретение относится к получению нанопорошка оксинитрида алюминия. Тонкодисперсный порошок алюминия вводят в поток термической плазмы, в котором осуществляют взаимодействие паров алюминия с аммиаком в присутствии кислорода в количестве, отвечающем атомному соотношению элементов 1,16
Тип: Изобретение
Номер охранного документа: 0002647075
Дата охранного документа: 13.03.2018
10.05.2018
№218.016.4a9b

Способ локального травления двуокиси кремния

Изобретение относится к микроэлектронике, способам контроля и анализа структуры интегральных схем, к процессам жидкостного травления. Сущность изобретения: выравнивание локальной неравномерности толщины слоя двуокиси кремния на поверхности кристалла ИС, образовавшейся в процессе...
Тип: Изобретение
Номер охранного документа: 0002651639
Дата охранного документа: 23.04.2018
03.03.2019
№219.016.d278

Способ получения узкофракционных сферических порошков из жаропрочных сплавов на основе алюминида никеля

Изобретение относится к области порошковой металлургии. Способ получения узкофракционных сферических порошков из жаропрочных сплавов на основе алюминида никеля включает стадию предварительного выделения заданной фракции путем классификации исходного порошкообразного материала зернистостью 5-150...
Тип: Изобретение
Номер охранного документа: 0002681022
Дата охранного документа: 01.03.2019
29.03.2019
№219.016.f1b6

Плазменная установка для получения нанодисперсных порошков

Изобретение относится к области получения наноразмерных порошков (НП) элементов, неорганических соединений и композиций, в частности к плазменному оборудованию для производства НП различного назначения. Реактор имеет определенные соотношения геометрических размеров, связывающие выходной диаметр...
Тип: Изобретение
Номер охранного документа: 0002311225
Дата охранного документа: 27.11.2007
29.03.2019
№219.016.f711

Способ получения нанопорошков систем элемент-углерод

Изобретение может быть использовано в химической промышленности. Получение нанопорошков систем элемент-углерод из элементов и их соединений проводится в термической плазме смеси углеводорода с одним из компонентов или смесью компонентов из группы: водяной пар, диоксид углерода. В реагирующей...
Тип: Изобретение
Номер охранного документа: 0002434807
Дата охранного документа: 27.11.2011
29.05.2019
№219.017.658e

Способ реактивного ионного травления слоя нитрида титана селективно к алюминию и двуокиси кремния

Изобретение относится к микроэлектронике, методам и технологическим приемам контроля и анализа структур интегральных схем, к процессам сухого плазменного травления. Сущность изобретения: слой TiN удаляется селективно к Al и SiO при реактивном ионном травлении его в плазме CF+O при соотношении...
Тип: Изобретение
Номер охранного документа: 0002392689
Дата охранного документа: 20.06.2010
29.05.2019
№219.017.690d

Способ получения суспензий наночастиц

Изобретение относится к области химической промышленности и металлургии и может применяться для получения суспензий наноразмерных частиц элементов и их соединений. Способ включает конденсацию из газовой фазы при охлаждении водой высокотемпературного потока, содержащего пары конденсируемого...
Тип: Изобретение
Номер охранного документа: 0002436659
Дата охранного документа: 20.12.2011
+ добавить свой РИД