Автор РИД: Глявин Михаил Юрьевич

Изобретение относится к области оптического приборостроения и касается устройства получения направленного экстремального ультрафиолетового излучения с длиной волны 11.2 нм ±1% для проекционной литографии высокого разрешения. Устройство включает в себя гиротрон, генерирующий пучок излучения...

Изобретение может быть использовано для получения наноразмерных порошков элементов и их неорганических соединений методом «испарения - конденсации» в потоке газа. Перерабатываемый материал подают в виде грубодисперсного порошка с размером частиц не менее 1 мм. Для его испарения используют поток...

Изобретение относится к электронным пушкам приборов пролетного типа с трубчатым электронным потоком, коаксиальным оси резонатора, например гиротронов. Технический результат - повышение эффективности генерации микроволнового излучения за счет того, что электронная пушка для формирования винтовых...