Вид РИД
Изобретение
Изобретение относится к микроэлектронике, а именно к способам обеспечения качества и надежности интегральных схем (ИС), и может быть использовано для сравнительной оценки надежности партий ИС как на этапе производства, так и на входном контроле на предприятиях-изготовителях радиоэлектронной аппаратуры.
Из техники известно [1], что низкочастотный шум в полупроводниковых изделиях зависит от частоты, но разброс значений среднеквадратичного напряжения зависит от конкретного изделия, и этот разброс тем больше, чем меньше частота. На рис.1 представлена зависимость среднего значения (мкВ2) от частоты и разброс значений для ИС типа КР537РУ13 (статические ОЗУ, КМОП-технология). Значение измерялось методом прямого измерения по выводам «питание - общая точка» на частотах 100, 200, 500 и 1000 Гц.
Известен способ сравнительной оценки надежности партий транзисторов [2], в соответствии с которым проводят выборочные испытания партий транзисторов воздействием электростатических разрядов. На каждый прибор выборки подают электростатические разряды потенциалом вдвое большим, чем допустимый по техническим условиям, каждый раз повышая его на 20-30 В до появления параметрического или катастрофического отказа.
Недостаток данного способа - испытание является разрушающим. Предлагаемое изобретение направлено на устранение этого недостатка и повышение функциональных возможностей способа.
Достоинством предложенного способа является то, что сравнительная оценка партий ИС основывается на измерении низкочастотного шума на частотах до 200 Гц.
Способ осуществляется следующим образом: от каждой партии одного типа (количество партий не ограничено) методом случайной выборки отбирают по 10-20 схем и измеряют среднеквадратичное напряжение низкочастотного шума на частоте до 200 Гц методом прямого измерения по выводам «питание - общая точка». Подсчитывают среднее значение по выборке и сравнивают эти значения.
Способ был опробован на выборках по 10 шт. из двух партий ИС типа КР537РУ13. Значения на частоте 100 Гц представлены в таблице.
|
Из таблицы видно, что среднее значение для ИС второй партии значительно меньше среднего значения первой партии, меньше и размах: 473 мкВ2 для партии 2 и 789 мкВ2 для партии 1. Поэтому партия 2 будет более надежной, чем партия 1.
Источники информации
1. Горлов М.И., Ануфриев Л.И., Достанко А.И., Смирнов Д.Ю. Диагностика твердотельных полупроводниковых структур по параметрам низкочастотного шума. - Минск: Интегралполиграф, 2006. - 112 с.
2. Патент РФ N2226698, G01R 31/26, опубл. 10.04.2004. Бюл. №10.
Способ сравнительной оценки надежности партий интегральных схем, в соответствии с которым на одинаковых произвольных выборках схем из партий проводят измерения значений среднеквадратичного напряжения шума, отличающийся тем, что измерения низкочастотного шума проводят по выводам «вход - общая точка» на частоте до 200 Гц и сравнение партий проводят по среднему значению низкочастотного шума в выборке.