×
27.12.2014
216.013.1630

СПОСОБ РАЗДЕЛЕНИЯ ИНТЕГРАЛЬНЫХ СХЕМ ПО НАДЕЖНОСТИ

Вид РИД

Изобретение

Юридическая информация Свернуть Развернуть
Краткое описание РИД Свернуть Развернуть
Аннотация: Изобретение относится к электротехнике, а именно к способам обеспечения качества и надежности интегральных схем (ИС) как логических, так и аналоговых. Сущность изобретения заключается в том, что на представительной выборке проводят измерение критического напряжения питания (КНП) до и после электротермотренировки (ЭТТ) продолжительностью до 100 ч и после термического отжига продолжительностью 4-10 ч при температуре, максимально допустимой для данного типа ИС, затем находят коэффициент М и по его значению разделяют ИС по надежности. где - значения КНП до ЭТТ, после ЭТТ и после отжига соответственно. Предложенный способ позволяет снизить риск повреждения испытуемых схем при воздействии на них внешних испытательных факторов.
Основные результаты: Способ разделения интегральных схем по надежности, в соответствии с которым на представительной выборке проводят измерение критического напряжения питания (КНП), находят коэффициент М и по его значению разделяют ИС по надежности, отличающийся тем, что критическое напряжение питания измеряют до и после электротермотренировки (ЭТТ) продолжительностью до 100 ч и после термического отжига продолжительностью 4 - 10 часов при температуре, максимально допустимой для данного типа ИС, а отбор интегральных схем проводят по относительной величине изменения критического напряжения питания, рассчитанной по формуле: ,где - значения КНП до ЭТТ, после ЭТТ и после отжига соответственно.
Реферат Свернуть Развернуть

Изобретение относится к микроэлектронике, а именно к способам обеспечения качества и надежности интегральных схем (ИС) как логических, так и аналоговых, и может быть использовано как в процессе производства, так и при входном контроле на предприятиях-изготовителях радиоэлектронной аппаратуры.

Известен способ выделения ИС повышенной надежности [1] по отбору ИС, проводимому по относительной величине изменения критического напряжения питания при нормальной и повышенной температуре. Недостатком способа является большая трудоемкость измерений критического напряжения питания (КНП) при повышенной температуре, а также невысокая точность.

Наиболее близким является способ [2], согласно которому партию ИС подвергают предварительному разделению методом критического напряжения питания (КНП) и воздействуют на нее электростатическим разрядом (ЭСР) потенциалом, составляющим половину опасного, при этом после воздействия ЭСР методом КНП выделяют дополнительную партию ИС с повышенной надежностью, после чего проводят отжиг дефектов.

Недостатком метода является то, что есть риск повредить схемы при воздействии ЭСР.

Изобретение направлено на расширение функциональных возможностей.

Это достигается следующим образом. Производится предварительное разделение партии по критическому напряжению питания. По результатам статистических данных определяется интервал КНП, в который укладывается большая часть (>90%) значений. Для схем, не попавших в этот интервал, делается вывод о пониженной надежности.

Далее ИС подвергаются электротермотренировке (ЭТТ) продолжительностью до 100 ч и термическому отжигу в течение 4-10 ч при температуре, максимально допустимой для данного типа ИС. По результатам измерений КНП до, после ЭТТ и после термического отжига рассчитывается коэффициент М, характеризующий надежность ИС:

где - значения КНП до ЭТТ, после ЭТТ и после отжига соответственно.

Формула имеет такой вид, т.к. при ЭТТ происходит деградация параметров ИС, а отжиг позволяет восстановить последствия ЭТТ и приблизить значения параметров к исходным значениям. Чем больше это отношение, тем менее надежна интегральная схема.

Способ осуществляется следующим образом. На представительной выборке ИС, как логических, так и аналоговых, проводится измерение КНП, после чего проводится ЭТТ и термический отжиг, после них измеряются КНП, после чего находится коэффициент, характеризующий надежность ИС:

В зависимости от значения критерия М, устанавливаемого для каждого типа ИС экспериментально, можно разделить партию ИС по надежности.

1. Патент РФ №2365930, G01R 31/26. Опубликован 27.08.2009.

2. Патент РФ №2230334, G01R 31/26. Опубликован 10.06.2004.

Способ разделения интегральных схем по надежности, в соответствии с которым на представительной выборке проводят измерение критического напряжения питания (КНП), находят коэффициент М и по его значению разделяют ИС по надежности, отличающийся тем, что критическое напряжение питания измеряют до и после электротермотренировки (ЭТТ) продолжительностью до 100 ч и после термического отжига продолжительностью 4 - 10 часов при температуре, максимально допустимой для данного типа ИС, а отбор интегральных схем проводят по относительной величине изменения критического напряжения питания, рассчитанной по формуле: ,где - значения КНП до ЭТТ, после ЭТТ и после отжига соответственно.
СПОСОБ РАЗДЕЛЕНИЯ ИНТЕГРАЛЬНЫХ СХЕМ ПО НАДЕЖНОСТИ
СПОСОБ РАЗДЕЛЕНИЯ ИНТЕГРАЛЬНЫХ СХЕМ ПО НАДЕЖНОСТИ
Источник поступления информации: Роспатент

Показаны записи 1-10 из 16.
10.01.2013
№216.012.1a17

Способ разбраковки полупроводниковых изделий

Изобретение относится к микроэлектронике, а именно к способам обеспечения качества и надежности полупроводниковых изделий (диодов, транзисторов и интегральных схем), и может быть использовано для разбраковки по критерию потенциальной надежности как в процессе производства, так и на входном...
Тип: Изобретение
Номер охранного документа: 0002472171
Дата охранного документа: 10.01.2013
20.02.2013
№216.012.2807

Устройство для измерения параметра низкочастотного шума γ

Изобретение относится к области радиоизмерений, а именно к измерению шумов полупроводниковых изделий, и может быть использовано для лабораторных и цеховых измерений параметра шума γ. Устройство для измерения параметра низкочастотного шума γ содержит два независимых канала усиления, к выходу...
Тип: Изобретение
Номер охранного документа: 0002475767
Дата охранного документа: 20.02.2013
10.06.2013
№216.012.49dd

Способ отбраковки полупроводниковых изделий пониженного уровня надежности

Изобретение относится к микроэлектронике, а именно к способам обеспечения надежности полупроводниковых изделий (ППИ) (транзисторов и интегральных схем), и может быть использовано для обеспечения повышенной надежности партий изделий как на этапе производства, так и на входном контроле на...
Тип: Изобретение
Номер охранного документа: 0002484489
Дата охранного документа: 10.06.2013
20.08.2013
№216.012.61bf

Способ сравнительной оценки надежности полупроводниковых изделий

Изобретение относится к микроэлектронике, а именно к способам обеспечения качества и надежности полупроводниковых изделий (ПИИ), и может быть использовано для сравнительной оценки надежности партий НИИ как на этапе производства, так и на входном контроле на предприятиях - изготовителях...
Тип: Изобретение
Номер охранного документа: 0002490655
Дата охранного документа: 20.08.2013
20.08.2013
№216.012.61c0

Способ отбраковки потенциально ненадежных транзисторов

Изобретение относится к микроэлектронике, а именно к способам обеспечения надежности транзисторов, и может быть использовано для разделения транзисторов по надежности в процессе производства, а также на входном контроле на предприятиях-изготовителях радиоэлектронной аппаратуры. Сущность:...
Тип: Изобретение
Номер охранного документа: 0002490656
Дата охранного документа: 20.08.2013
10.09.2013
№216.012.68df

Способ сравнительной оценки надежности партий интегральных схем

Изобретение относится к микроэлектронике, а именно к способам обеспечения качества и надежности интегральных схем (ИС), и может быть использовано для сравнительной оценки надежности партий ИС как на этапе производства, так и на входном контроле на предприятиях-изготовителях радиоэлектронной...
Тип: Изобретение
Номер охранного документа: 0002492494
Дата охранного документа: 10.09.2013
10.12.2013
№216.012.87e3

Наноструктурированный катализатор для дожигания монооксида углерода

Настоящее изобретение относится к катализаторам из металлов платиновой группы на оксидном носителе, предназначенным для удаления вредных компонентов, в частности газообразного монооксида углерода в выхлопных газах автомобильных двигателей, или для использования в электродах газочувствительных...
Тип: Изобретение
Номер охранного документа: 0002500469
Дата охранного документа: 10.12.2013
20.02.2014
№216.012.a352

Способ разделения транзисторов по надежности

Изобретение относится к микроэлектронике, а именно к обеспечению качества и надежности полупроводниковых изделий (ПЛИ), в частности транзисторов, и может быть использовано как на этапе производства, так и на этапе применения. Способ разделения транзисторов по надежности включает измерение...
Тип: Изобретение
Номер охранного документа: 0002507525
Дата охранного документа: 20.02.2014
10.04.2014
№216.012.b34d

Способ сравнительной оценки надежности партий полупроводниковых изделий

Изобретение относится к микроэлектронике, а именно к способам обеспечения качества и надежности полупроводниковых изделий ППИ (транзисторов, интегральных схем (ИС) и т.д.) и может быть использовано для сравнительной оценки надежности партий ППИ как в процессе производства, так и при входном...
Тип: Изобретение
Номер охранного документа: 0002511617
Дата охранного документа: 10.04.2014
10.04.2014
№216.012.b35d

Способ отбраковки полупроводниковых изделий пониженного уровня качества из партий изделий повышенной надежности

Изобретение относится к микроэлектронике, а именно к способам обеспечения надежности полупроводниковых изделий (ППИ) (транзисторов и интегральных схем), и может быть использовано для обеспечения повышенной надежности партий изделий как на этапе производства, так и на входном контроле на...
Тип: Изобретение
Номер охранного документа: 0002511633
Дата охранного документа: 10.04.2014
Показаны записи 1-10 из 11.
10.12.2013
№216.012.87e3

Наноструктурированный катализатор для дожигания монооксида углерода

Настоящее изобретение относится к катализаторам из металлов платиновой группы на оксидном носителе, предназначенным для удаления вредных компонентов, в частности газообразного монооксида углерода в выхлопных газах автомобильных двигателей, или для использования в электродах газочувствительных...
Тип: Изобретение
Номер охранного документа: 0002500469
Дата охранного документа: 10.12.2013
10.09.2014
№216.012.f197

Способ испытания на коррозионную стойкость интегральных схем

Изобретение относится к микроэлектронике, а именно к способам испытаний интегральных схем (ИС) на коррозионную стойкость. Сущность: перед испытанием ИС проводят проверку внешнего вида, электрических параметров и проверку герметичности, нагревают до температуры плюс 125°С со скоростью не более...
Тип: Изобретение
Номер охранного документа: 0002527669
Дата охранного документа: 10.09.2014
27.09.2014
№216.012.f95e

Способ разделения интегральных схем "по надежности"

Изобретение относится к контролю качества и надежности интегральных схем (ИС), как логических, так и аналоговых, и может быть использовано как в процессе производства, так и при входном контроле на предприятиях-изготовителях радиоэлектронной аппаратуры. Сущность: на представительной выборке ИС...
Тип: Изобретение
Номер охранного документа: 0002529675
Дата охранного документа: 27.09.2014
10.04.2015
№216.013.3c96

Способ сравнительных испытаний по надежности партий интегральных схем

Изобретение относится к микроэлектронике, а именно к способам обеспечения качества и надежности полупроводниковых интегральных схем (ИС). Сущность: из партий ИС методом случайной выборки отбирают одинаковое количество изделий (не менее 10 от каждой партии) и измеряют значение информативного...
Тип: Изобретение
Номер охранного документа: 0002546998
Дата охранного документа: 10.04.2015
10.07.2015
№216.013.5bd0

Способ очистки воздуха

Изобретение относится к очистке воздуха и может быть использовано в газовой, нефтяной, нефтехимической и других отраслях промышленности. Способ заключается в многократном последовательном поэтапном насыщении запыленного воздушного потока паром жидкости с последующим осаждением на каждом этапе...
Тип: Изобретение
Номер охранного документа: 0002555045
Дата охранного документа: 10.07.2015
13.04.2019
№219.017.0c29

Способ разделения интегральных схем класса "система на кристалле" по надежности

Использование: для разбраковки ИС класса «система на кристалле» по критерию потенциальной надежности. Сущность изобретения заключается в том, что на представительной выборке ИС класса «система на кристалле» измеряют значения критических напряжений питания (КНП) отдельно для каждого...
Тип: Изобретение
Номер охранного документа: 0002684681
Дата охранного документа: 11.04.2019
19.06.2019
№219.017.85be

Способ диагностики полупроводниковых изделий по производным вольт-амперных характеристик

Изобретение относится к области микроэлектроники и может быть использовано в технологии изготовления полупроводниковых изделий (ППИ), а также для анализа изделий, отказавших у потребителя. Технический результат: повышение точности диагностики и расширение функциональных возможностей контроля...
Тип: Изобретение
Номер охранного документа: 0002348941
Дата охранного документа: 10.03.2009
29.06.2019
№219.017.9bf0

Устройство для выявления потенциально ненадежных полупроводниковых интегральных схем методом анализа форм и/или параметров динамического тока потребления

Изобретение относится к области микроэлектроники и может быть использовано в технологии изготовления полупроводниковых интегральных схем (ИС), а также для анализа изделий, отказавших у потребителя. Технический результат: повышение точности диагностики и расширения функциональных возможностей...
Тип: Изобретение
Номер охранного документа: 0002348049
Дата охранного документа: 27.02.2009
29.06.2019
№219.017.9de7

Способ разбраковки полупроводниковых изделий по стойкости к электростатическим разрядам

Изобретение относится к области электротехники, в частности к производству и эксплуатации полупроводниковых изделий (ППИ), и может быть использовано для отбраковки из партии полупроводниковых изделий, менее стойких к электростатическим разрядам. Для этого полупроводниковые изделия на...
Тип: Изобретение
Номер охранного документа: 0002379698
Дата охранного документа: 20.01.2010
03.08.2019
№219.017.bc4a

Способ неразрушающего контроля качества сверхбольших интегральных схем по значению критического напряжения питания

Изобретение относится к микроэлектронике и может быть использовано для обеспечения качества и надежности сверхбольших интегральных схем (СБИС). Сущность: измеряют критическое напряжение питания при нормальной и повышенной температуре. СБИС предварительно программируют тестирующей программой для...
Тип: Изобретение
Номер охранного документа: 0002696360
Дата охранного документа: 01.08.2019
+ добавить свой РИД