×
24.10.2019
219.017.dab5

Результат интеллектуальной деятельности: Устройство для преобразования инфракрасного излучения в поверхностную электромагнитную волну на плоской грани проводящего тела

Вид РИД

Изобретение

№ охранного документа
0002703941
Дата охранного документа
23.10.2019
Аннотация: Изобретение относится к области исследования поверхности металлов и полупроводников путем измерения характеристик направляемых ей поверхностных электромагнитных волн (ПЭВ) и может найти применение в сенсорных устройствах, абсорбционных спектрометрах и интерферометрах, использующих в качестве носителя информации поверхностные плазмон-поляритоны (ППП), являющиеся разновидностью ПЭВ. Техническим результатом является повышение эффективности преобразования монохроматического ИК излучения в поверхностную электромагнитную волну на плоской грани проводящего тела. Устройство для преобразования ИК излучения в ПЭВ на плоской грани проводящего тела содержит источник р-поляризованного монохроматического излучения, оптический объектив, цилиндрический сегмент, выпуклая поверхность которого способна направлять ПЭВ, покрыта слоем диэлектрика субволновой толщины, имеет перпендикулярную плоскости падения излучения осевую линию, ограничена двумя остроугольными ребрами в направлении, перпендикулярном плоскости падения, имеет линию пересечения с этой плоскостью короче длины распространения ПЭВ и сопряжена одним из ребер с плоской гранью тела, поглощающий экран, расположенный над треком ПЭВ вне ее поля и ориентированный перпендикулярно как к грани, так и к плоскости падения, объектив выбран коллимационным. Выпуклая поверхность сегмента снабжена планарной дифракционной решеткой, штрихи которой перпендикулярны плоскости падения. Источник и объектив укреплены на платформе, способной перемещаться по дуге, ось которой совпадает с центральным штрихом решетки. 1 ил.

Изобретение относится к области исследования поверхности металлов и полупроводников путем измерения характеристик направляемых ей поверхностных электромагнитных волн (ПЭВ) инфракрасного (ИК) или терагерцового (ТГц) диапазона, и может найти применение в сенсорных устройствах, абсорбционных спектрометрах и интерферометрах, использующих в качестве носителя информации поверхностные плазмон-поляритоны (ППП), являющиеся разновидностью ПЭВ [1].

Генерацию ППП осуществляют, чаще всего, воздействуя на исследуемую поверхность образца объемной волной источника излучения. При этом, для согласования фазовых скоростей излучения источника и ИК ППП, а также - их волновых векторов, используют явление дифракции плоской волны на том или ином дифракционном элементе (крае экрана, ребре прозрачной призмы, планарной дифракционной решетке или просто неоднородности на поверхности), размещенном в пределах глубины проникновения поля ППП в окружающую среду [2]. Отрицательным моментом такого способа преобразования ИК или ТГц излучения в ППП является сопутствующее этому эффекту порождение широкого веера паразитных объемных волн, часть из которых является приповерхностными и поэтому трудно отличимыми от ППП [3]. Применение метода нарушенного полного внутреннего отражения (НПВО) для преобразования излучения источника в ППП среднего ИК и ТГц диапазонов практикуют редко, ввиду макроскопической длины распространения таких ПЭВ, значительно превышающей диаметр падающего пучка излучения, что обуславливает большую величину их радиационных потерь в сторону призмы НПВО [2].

Известно апертурное устройство для возбуждения ПЭВ на плоской грани проводящего тела, содержащее источник p-поляризованного излучения, фокусирующий объектив, непрозрачный экран, ориентированный перпендикулярно как плоскости падения, так и плоскости грани, край которого находится в пределах глубины проникновения поля ПЭВ в окружающую среду [4]. Основными недостатками такого устройства являются: 1) низкая эффективность (доли процента) преобразования излучения источника в ПЭВ; 2) широкий веер интенсивных объемных волн, порождаемых при дифракции излучения на крае экрана и создающих паразитный фон для фотоприемника; 3) отражение подсвеченного края экрана в зеркальной поверхности грани, что создает условия для наблюдения интерференции Ллойда в области размещения фотоприемника.

Более широко для преобразования излучения источника в ППП среднего ИК и ТГц диапазонов применяются планарные дифракционные решетки, формируемые на поверхности, направляющей ПЭВ [5]. Такие элементы преобразования обладают не только преимуществом планарности, но и более высокой эффективностью (десятки процентов) [6]. Однако применение таких устройств для преобразования объемной волны в поверхностную сопряжено с необходимостью модификации поверхности образца, что не всегда приемлемо, а также - с образованием веера интенсивных объемных волн, затрудняющих корректное детектирование ПЭВ.

Наиболее близким по технической сущности к заявляемому устройству является устройство для преобразования терагерцового излучения лазера на свободных электронах (ЛСЭ) в поверхностные плазмон-поляритоны (ППП) на плоской металлизированной подложке, содержащее источник излучения, поляризатор, цилиндрический фокусирующий объектив, цилиндрический сегмент, выпуклая поверхность которого способна направлять ППП, покрыта слоем диэлектрика субволновой толщины, имеет перпендикулярную плоскости падения излучения осевую линию, ограничена двумя остроугольными ребрами в направлении перпендикулярном плоскости падения, имеет линию пересечения с этой плоскостью короче длины распространения ППП и сопряжена одним из ребер с плоской поверхностью подложки, поглощающий экран, расположенный над треком ППП вне их поля и ориентированный перпендикулярно как к подложке, так и к плоскости падения [7]. Преобразование объемной волны в ППП происходит в результате дифракции сфокусированного излучения ЛСЭ на свободном ребре сегмента. Отличительным достоинством такого устройства (по сравнению с описанными выше) является глубокая экранировка приемника излучения в форме ППП от паразитных объемных волн, порождаемых в результате дифракции излучения ЛСЭ на ребре сегмента. Однако эффективность преобразования объемного излучения в ППП с помощью такого устройства, как и его апертурного аналога, невелика (доли процента).

Техническим результатом, на достижение которого направлено изобретение, является повышение эффективности преобразования монохроматического инфракрасного излучения в поверхностную электромагнитную волну на плоской грани проводящего тела при удержании такого важного достоинства устройства-прототипа как глубокая экранировка приемника от паразитного излучения, исходящего от дифракционного элемента согласования объемной и поверхностной волн.

Технический результат достигается тем, что в устройстве для преобразования инфракрасного излучения в поверхностную электромагнитную волну (ПЭВ) на плоской грани проводящего тела, содержащем источник р-поляризованного монохроматического излучения, оптический объектив, цилиндрический сегмент, выпуклая поверхность которого способна направлять ПЭВ, покрыта слоем диэлектрика субволновой толщины, имеет перпендикулярную плоскости падения излучения осевую линию, ограничена двумя остроугольными ребрами в направлении перпендикулярном плоскости падения, имеет линию пересечения с этой плоскостью короче длины распространения ПЭВ и сопряжена одним из ребер с плоской гранью тела, поглощающий экран, расположенный над треком ПЭВ вне ее поля и ориентированный перпендикулярно как к грани, так и к плоскости падения, объектив выбран коллимационным, выпуклая поверхность сегмента снабжена планарной дифракционной решеткой, штрихи которой перпендикулярны плоскости падения, причем источник и объектив, укреплены на платформе, способной перемещаться по дуге, ось которой совпадает с центральным штрихом решетки.

Повышение эффективности преобразования излучения в ПЭВ достигается путем использования для согласования объемной и поверхностной волн не линейного дифракционного элемента (ребра цилиндрического сегмента), а распределенной по выпуклой поверхности сегмента дифракционной решетки. Кроме того, с целью повышения эффективности преобразования, падающее на дифракционный элемент излучения не сфокусировано (как в устройстве-прототипе), а сформировано коллиматором в пучок параллельных лучей, падающих на решетку под углом, обеспечивающим согласование фазовых скоростей и тангенциальных составляющих волновых векторов излучения и ПЭВ. Причем, в отличие от устройства-прототипа, преобразование излучения в ПЭВ в заявляемом устройстве имеет место не только для узкого сектора лучей пучка [8], а для всех лучей (в силу их коллимированности), падающих на решетку, с практически одинаковой эффективностью.

На Фиг. 1 приведена схема заявляемого устройства, где цифрами обозначены: 1 - источник p-поляризованного монохроматического инфракрасного излучения; 2 - коллимационный объектив; 3 - планарная дифракционная решетка, штрихи которой перпендикулярны плоскости падения; 4 - цилиндрический сегмент, выпуклая поверхность которого содержит решетку 3; 5 - платформа, содержащая отъюстированные элементы 1 и 2, которая может перемещаться по дуге с осью, совпадающей с центральным штрихом решетки 3; 6 - плоская грань проводящего тела, примыкающая к ребру выпуклой поверхности сегмента 4; 7 - плоский поглощающий экран, расположенный над треком ПЭВ вне ее поля и ориентированный перпендикулярно как к треку, так и к плоскости падения.

Заявляемое устройство работает следующим образом. Излучение источника 1 коллимируют объективом 2 и направляют полученный световой пучок на решетку 3, сформированную на выпуклой поверхности сегмента 4. Поворачивая платформу 5 с укрепленными на ней источником 1 и объективом 2, изменяют угол падения ф излучения на решетку 3 и добиваются выполнения равенства:

здесь κ' - вещественная часть показателя преломления ПЭВ; λ - длина волны излучения в вакууме; Λ - период дифракционной решетки. При выполнении условия (1) достигается согласование фазовых скоростей и волновых векторов излучения первого порядка дифракции и ПЭВ, направляемой поверхностью сегмента 4. В результате, излучение с эффективностью в десятки процентов преобразуется в ПЭВ, в то время как излучение иных порядков дифракции сохраняет форму объемных волн (ОВ), испускаемых решеткой 3 в окружающее пространство под различными углами к поверхности сегмента 4. Эти паразитные ОВ блокируются на пути к фотоприемнику, детектирующему ПЭВ на плоской грани 6 проводящего тела, как линией горизонта выпуклой поверхности сегмента 4, так и экраном 7.

В качестве примера применения заявляемого устройства рассмотрим возможность преобразования излучения ЛСЭ с λ=130 мкм в ППП, направляемые плоской гранью золотого образца, размещенного в воздухе и содержащего покровный слой сульфида цинка толщиной 0,4 мкм; длина распространения таких ППП L равна 13 см, а вещественная часть показателя преломления κ'≈1,005 [7]. Диаметр поперечного сечения коллимированного пучка d излучения источника 1 выберем равным 10 мм, а в качестве элемента преобразования излучения в ППП - цилиндрический сегмент 4 с образующей равной 60 мм, на выпуклой поверхности которого сформирована планарная дифракционная решетка 3 с периодом Λ=300 мкм, длина и ширина которой не меньше d. Полагая центральный угол между решеткой 3 и ребром сегмента 4, примыкающим к плоской грани тела 7, равным 45°, получим, что длина трека ППП на выпуклой поверхности сегмента 4 приблизительно равна 47 мм (значительно меньше L), что обуславливает потерю ППП 36% своей энергии на этом расстоянии (независимо от вида элемента преобразования). Подставив в уравнение (1) указанные значения κ' λ и Λ, получим, что согласование фазовых скоростей и волновых векторов излучения первого порядка дифракции и ППП достигается при угле падения ϕ излучения источника (ЛСЭ) 1 на решетку 3 равном 35°06'.

Таким образом, применение в качестве элемента преобразования объемной волны в поверхностную планарной дифракционной решетки, нанесенной на выпуклую поверхность цилиндрического сегмента, в сочетании с коллимированностью падающего под определенным углом на решетку излучения, позволяет не только удержать такое важное достоинство устройства-прототипа как глубокое экранирование детектора ППП на плоской грани проводящего тела от их паразитных дифракционных спутников, но и поднять (не менее, чем на порядок) эффективность преобразования, что обусловит дополнительное повышение соотношения сигнал/шум в измерениях с использованием поверхностных плазмон-поляритонов инфракрасного и терагерцового диапазонов.

Источники информации, принятые во внимание при составлении заявки: 1. Поверхностные поляритоны. Электромагнитные волны на поверхностях и границах раздела сред / Под ред. В.М. Аграновича и Д.Л. Миллса. - М: Наука, 1985. - 525 с.

2. Vaicikauskas V., Antanavicius R., and Januskevicius R. Efficiency of FIR SEW excitation by aperture, prism and mesh methods // Intern. J. of Infrared and Millimeter Waves, 1999, v. 20, No. 3, p. 447-452.

3. Жижин Г.Н., Паркер С.Ф., Честере M.A., Яковлев В.А. Эффективность апертурного возбуждения в спектроскопии поверхностных электромагнитных волн // Оптика и спектроскопия, 1988, Т. 65, Вып. 2, с. 371-375.

4. Герасимов В.В., Князев Б.А., Никитин А.К. Способ индикации дифракционных спутников поверхностных плазмонов терагерцового диапазона// Письма в ЖТФ, 2010, том 36, вып. 21, с. 93-101.

5. Geary J.W., Medhi G., Peale R.E., and Buchwald W.R. Long-wave infrared surface plasmon grating coupler // Applied Optics, 2010, v. 49, No. 16, p. 3102-3110.

6. Gaborit G., Armand D., Coutaz J.-L., Nazarov M., Shkurinov A. Excitation and focusing of terahertz surface plasmons using a grating coupler with elliptically curved grooves // Applied Physics Letters, 2009, v. 94, 231108.

7. Gerasimov V.V., Knyazev B.A., Lemzyakov A.G., Nikitin A.K., Zhizhin G.N. Growth of terahertz surface plasmon propagation length due to thin-layer dielectric coating // JOSA (B), 2016, v. 33, No. l11 p. 2196-2203. DOI: 10.1364/JOSAB.33.002196 (прототип).

8. Gerasimov V.V., Knyazev B.A., Kotelnikov I.A., Nikitin A.K. et al. Surface plasmon polaritons launched using a terahertz free electron laser: propagating along a gold-ZnS-air interface and decoupling to free waves at the surface tail end // JOSA (B), 2013, v. 30, No. 8, p. 2182-2190. DOI: 10.1364/JOSAB.30.002182.

Устройство для преобразования инфракрасного излучения в поверхностную электромагнитную волну (ПЭВ) на плоской грани проводящего тела, содержащее источник p-поляризованного монохроматического излучения, оптический объектив, цилиндрический сегмент, выпуклая поверхность которого способна направлять ПЭВ, покрыта слоем диэлектрика субволновой толщины, имеет перпендикулярную плоскости падения излучения осевую линию, ограничена двумя остроугольными ребрами в направлении, перпендикулярном плоскости падения, имеет линию пересечения с этой плоскостью короче длины распространения ПЭВ и сопряжена одним из ребер с плоской гранью тела, поглощающий экран, расположенный над треком ПЭВ вне ее поля и ориентированный перпендикулярно как к грани, так и к плоскости падения, отличающееся тем, что его объектив выбран коллимационным, выпуклая поверхность сегмента снабжена планарной дифракционной решеткой, штрихи которой перпендикулярны плоскости падения, причем источник и объектив укреплены на платформе, способной перемещаться по дуге, ось которой совпадает с центральным штрихом решетки.
Устройство для преобразования инфракрасного излучения в поверхностную электромагнитную волну на плоской грани проводящего тела
Устройство для преобразования инфракрасного излучения в поверхностную электромагнитную волну на плоской грани проводящего тела
Источник поступления информации: Роспатент

Показаны записи 21-22 из 22.
07.07.2020
№220.018.3031

Способ получения композитного материала, обладающего высоким уровнем флуоресценции под действием электромагнитного излучения видимого диапазона

Изобретение относится к химической и электронной промышленности, а также к медицине и может быть использовано при производстве флуоресцентных пигментов, светодиодов, лазеров, медицинских зондов. В реакционную зону помещают смесь меламина и оксида алюминия при соотношении их масс 1:3. Затем...
Тип: Изобретение
Номер охранного документа: 0002725796
Дата охранного документа: 06.07.2020
16.06.2023
№223.018.79d3

Способ визуализации неоднородностей плоской полупроводниковой поверхности в терагерцовом излучении

Изобретение относится к оптическим методам контроля качества поверхности полупроводниковых и металлических изделий, в которых взаимодействие зондирующего излучения с поверхностью опосредовано поверхностной электромагнитной волной (ПЭВ), возбуждаемой падающим излучением и направляемой...
Тип: Изобретение
Номер охранного документа: 0002737725
Дата охранного документа: 02.12.2020
Показаны записи 21-30 из 38.
20.01.2018
№218.016.119b

Способ определения диэлектрической проницаемости металла в терагерцовом диапазоне спектра

Изобретение относится к области оптических измерений и касается способа определения диэлектрической проницаемости металла в терагерцовом диапазоне спектра. Способ включает в себя возбуждение зондирующим пучком поверхностной электромагнитной волны (ПЭВ) на плоской поверхности металлического...
Тип: Изобретение
Номер охранного документа: 0002634094
Дата охранного документа: 23.10.2017
17.02.2018
№218.016.2acd

Способ генерации непрерывного широкополосного инфракрасного излучения с регулируемым спектром

Изобретение относится к области оптики и касается способа генерации непрерывного широкополосного инфракрасного излучения с регулируемым спектром. Способ включает в себя нагрев металлического тела, содержащего две смежные плоские грани, генерацию оптическими фононами тела на одной из граней...
Тип: Изобретение
Номер охранного документа: 0002642912
Дата охранного документа: 29.01.2018
04.04.2018
№218.016.3174

Устройство для измерения длины распространения инфракрасной поверхностной электромагнитной волны

Изобретение относится к области оптических измерений и касается устройства для измерения длины распространения инфракрасной поверхностной электромагнитной волны (ПЭВ). Устройство включает в себя источник монохроматического излучения, твердотельный образец с направляющей волну плоской гранью,...
Тип: Изобретение
Номер охранного документа: 0002645008
Дата охранного документа: 15.02.2018
10.05.2018
№218.016.4802

Устройство для вариативной одноцветной спектроскопии "накачка-зондирование" в терагерцовом диапазоне

Устройство для вариативной одноцветной спектроскопии «накачка-зондирование» в терагерцовом диапазоне содержит перестраиваемый по частоте источник монохроматического излучения, первую пропускающую дифракционную решетку и вторую пропускающую дифракционную решетку. Вторая решетка оптически...
Тип: Изобретение
Номер охранного документа: 0002650698
Дата охранного документа: 17.04.2018
29.05.2018
№218.016.5306

Интерферометр для определения показателя преломления инфракрасной поверхностной электромагнитной волны

Изобретение относится к области оптических измерений и касается интерферометра для определения показателя преломления инфракрасной поверхностной электромагнитной волны (ПЭВ). Интерферометр содержит источник коллимированного p-поляризованного монохроматического излучения, элемент преобразования...
Тип: Изобретение
Номер охранного документа: 0002653590
Дата охранного документа: 11.05.2018
08.03.2019
№219.016.d343

Акустооптическая ячейка для реализации обратной коллинеарной дифракции терагерцевого излучения на ультразвуковой волне в жидкости

Использование: для управления такими параметрами электромагнитного излучения терагерцевого диапазона, как направление распространения, интенсивность, поляризация, частота и фаза. Сущность изобретения заключается в том, что акустооптическая ячейка (АО-ячейка) содержит герметичный контейнер с...
Тип: Изобретение
Номер охранного документа: 0002681420
Дата охранного документа: 06.03.2019
08.03.2019
№219.016.d3a2

Устройство для измерения длины распространения инфракрасной поверхностной электромагнитной волны

Изобретение относится к области бесконтактного исследования поверхности металлов и полупроводников и касается устройства для измерения длины распространения инфракрасной поверхностной электромагнитной волны (ПЭВ). Устройство содержит источник p-поляризованного монохроматического излучения,...
Тип: Изобретение
Номер охранного документа: 0002681427
Дата охранного документа: 06.03.2019
14.03.2019
№219.016.df80

Устройство для определения коэффициента затухания поверхностной электромагнитной волны инфракрасного диапазона за время одного импульса излучения

Изобретение относится к области исследования поверхности материалов оптическими методами и касается устройства определения коэффициента затухания поверхностной электромагнитной волны (ПЭВ) инфракрасного диапазона за время одного импульса излучения. Устройство включает в себя источник...
Тип: Изобретение
Номер охранного документа: 0002681658
Дата охранного документа: 12.03.2019
05.04.2019
№219.016.fd4c

Устройство для наблюдения обратной коллинеарной дифракции терагерцевого излучения на ультразвуковой волне в кристаллической среде

Изобретение относится к акустооптике и может найти применение для управления такими параметрами электромагнитного излучения терагерцевого диапазона, как направление распространения, интенсивность, поляризация, частота и фаза. Устройство для наблюдения обратной коллинеарной дифракции...
Тип: Изобретение
Номер охранного документа: 0002683886
Дата охранного документа: 03.04.2019
09.06.2019
№219.017.7d91

Устройство для измерения длины распространения монохроматических поверхностных электромагнитных волн инфракрасного диапазона

Устройство содержит источник лазерного излучения, твердотельный образец с плоской поверхностью, направляющей ПЭВ, состоящий из двух частей, имеющих сопряженные поверхности, зафиксированный относительно первой части по ходу излучения элемент преобразования излучения в ПЭВ, приемник излучения....
Тип: Изобретение
Номер охранного документа: 0002470269
Дата охранного документа: 20.12.2012
+ добавить свой РИД