Аннотация:
Способ нанесения покрытий из силицидов тугоплавких металлов в вакууме, включающий напуск в технологический объем реакционного газа, генерирование плазменного потока наносимого материала катодным пятном вакуумной дуги, приложение ускоряющего потенциала к подложке и конденсацию потока на подложке, отличающийся тем, что, с целью улучшения качества покрытий за счет образования дисилицидов металлов и снижения капель, генерирование плазменного потока осуществляют из материала катода, содержание кремния, мас.%, в котором определяется выражением
где
- процентное содержание (по массе) кремния в дисилициде тугоплавкого металла, а конденсацию потока осуществляют при давлении реакционного газа (6-8)·10 Па и ускоряющем потенциале, не превышающем 100 В.