Автор РИД: Ивашнёва В.И.

Способ нанесения покрытий из силицидов тугоплавких металлов в вакууме, включающий напуск в технологический объем реакционного газа, генерирование плазменного потока наносимого материала катодным пятном вакуумной дуги, приложение ускоряющего потенциала к подложке и конденсацию потока на...