Автор РИД: Левченко Т.С.

Способ нанесения покрытий из силицидов тугоплавких металлов в вакууме, включающий напуск в технологический объем реакционного газа, генерирование плазменного потока наносимого материала катодным пятном вакуумной дуги, приложение ускоряющего потенциала к подложке и конденсацию потока на...

Способ получения покрытий в вакууме, включающий электродуговую генерацию плазменного потока, содержащего ионы кремния, и формирование покрытия в азотсодержащей среде, отличающийся тем, что, с целью повышения термостойкости покрытия с одновременным снижением температурного потока синтеза...