×
10.09.2014
216.012.f197

СПОСОБ ИСПЫТАНИЯ НА КОРРОЗИОННУЮ СТОЙКОСТЬ ИНТЕГРАЛЬНЫХ СХЕМ

Вид РИД

Изобретение

Юридическая информация Свернуть Развернуть
Краткое описание РИД Свернуть Развернуть
Аннотация: Изобретение относится к микроэлектронике, а именно к способам испытаний интегральных схем (ИС) на коррозионную стойкость. Сущность: перед испытанием ИС проводят проверку внешнего вида, электрических параметров и проверку герметичности, нагревают до температуры плюс 125°С со скоростью не более 100°С/мин, выдерживают при этой температуре 1 ч, резко охлаждают до минус 55°С со скоростью не более 100°С/мин, выдерживают при данной температуре 0,5 ч, плавно нагревают до плюс 2°С в течение 1 ч. и выдерживают в течение 0,5 ч. Проводят не менее 16 непрерывно следующих друг за другом циклов по 3 ч каждый. Технический результат: повышение объективности оценки наличия влаги внутри корпуса ИС. 1 ил.
Основные результаты: Способ испытаний на коррозионную стойкость интегральных схем (ИС), в соответствии с которым перед испытанием ИС проводится проверка внешнего вида, электрических параметров и проверка герметичности, отличающийся тем, что ИС нагревают до температуры плюс 125°С со скоростью не более 100°С/мин, выдерживают при этой температуре 1 ч, резко охлаждают до минус 55°С со скоростью не более 100°С/мин, выдерживают при данной температуре 0,5 ч, плавно нагревают до плюс 2°С в течение 1 ч и выдерживают в течение 0,5 ч, подвергают воздействию не менее 16 непрерывно следующих друг за другом циклов по 3 ч.
Реферат Свернуть Развернуть

Изобретение относится к микроэлектронике, а именно к способам испытаний интегральных схем (ИС) на коррозионную стойкость вместо испытаний по контролю содержания паров воды внутри корпусов с помощью масс-спектрометра на заводах-изготовителях ИС.

Из техники известно, что даже в нормальных условиях при длительном хранении (как правило, от шести месяцев до нескольких лет) в отдельных схемах появляются отказы, связанные с разрушением алюминиевой металлизации на кристалле (коррозия) из-за появления загрязнения и влаги внутри корпуса.

Известен способ неразрушающего определения содержания влаги в подкорпусном объеме ИС [Патент РФ №2263369, H01L 81/66, G01R 3/18, опубл. 27.10.2005], по которому испытуемые ИС охлаждают от комнатной температуры до минус 65°С со скоростью не более 10°С в минуту, затем с той же скоростью нагревают до исходной температуры, при этом непрерывно при охлаждении и последующем нагревании измеряют влагочувствительный параметр и определяют точку росы в подкорпусном объеме газа. Рассчитывается давление газа в корпусе ИС при температуре точки росы и по номограмме определяется концентрация влаги в подкорпусном объеме газа. Недостатком способа является недостаточная точность определения концентрации влаги.

Изобретение направлено на повышение объективности оценки наличия влаги внутри корпусов ИС. Это достигается тем, что ИС, выдержавшие контроль электрических параметров и проверку внешнего вида перед испытанием, подвергаются воздействию не менее 16-ти непрерывно следующих друг за другом циклов по 3 ч: приведение приборов к исходному состоянию путем выведения влаги из внутренних элементов в подкорпусную атмосферу при Т=+125°С при нагреве корпуса не более 100°С/мин; активация поверхностной влаги с внутренних стенок корпусов при плюс 125°С в течение 1 часа; последующая конденсация влаги на внутренних элементах конструкции путем резкого снижения температуры до минус 55°С со скоростью не более 100°С/мин, выдержка при данной температуре в течение 0,5 ч; плавное повышение температуры с минус 55°С до минус 15°С в течение 0,5 ч для нагнетания влаги на кристалл; достижение самой низкой температуры на кристалле по сравнению с температурой остальных элементов конструкции изделия посредством нагревания крышки с помощью специального стенда от Т=-15°С до Т=+2°С в течение 30 мин с равномерной скоростью при подключении электрического режима; выдержка под электрическим режимом в течение 0,5 ч при поддержании температуры в камере, равной плюс 2°С, пока кристалл влажный; быстрый нагрев для испарения воды со стенок, возможно с взрывной силой для усиления переноса загрязняющего вещества со стенок на кристалл (не более 100°С/мин).Испытания должны проводиться согласно циклограмме, приведенной на рис. Затем необходимо провести контроль электрических параметров и проверку герметичности, а также вскрыть приборы и проверить наличие коррозионных разрушений.

Критерии приемки (отбраковки) по ОСТ 11 073. 013: схемы считают выдержавшими испытания, если после испытания внешний вид микросхем (без оценки стойкости маркировки) соответствует образцам внешнего вида или требованиям, изложенным в «Описании образцов внешнего вида», а электрические параметры и герметичность соответствуют требованиям, установленным в ТУ.

Кроме того, в связи с трудностями в обеспечении непрерывности циклирования, в методике введено допущение перерывов, что по факту является ужесточением, т.к. увеличивается время на прохождение коррозионных процессов.

Способ осуществляется следующим образом: выбрана партия ИС 1264ЕНЗАПИМ, отказавших при испытаниях в одном из циклов по содержанию влаги внутри корпуса со значениями более 6000 ppm (протокол №В41-11 от 12.04.2011). Микросхемы изготавливались без применения органических защитных покрытий кристалла и мест межсоединений.

В качестве стенда для изменения температур от Т=-15°С до Т=+2°С и поддержания температуры Т=+2°С использовался специальный стенд с регулировкой скорости подъема и поддержания температуры.

После воздействия температурных циклов, контроля электрических параметров и проверки герметичности приборы были разгерметизированы для контроля внешнего вида на наличие коррозионных разрушений по методу 405 - 1.1 ОСТ 11 073.013.

ИС 1264ЕРЗАПИМ из партии, забракованной по содержанию влаги в подкорпусном объеме масс-спектрометрическим методом (более 6000 ppm), испытания на коррозионную устойчивость выдержали.

Способ испытаний на коррозионную стойкость интегральных схем (ИС), в соответствии с которым перед испытанием ИС проводится проверка внешнего вида, электрических параметров и проверка герметичности, отличающийся тем, что ИС нагревают до температуры плюс 125°С со скоростью не более 100°С/мин, выдерживают при этой температуре 1 ч, резко охлаждают до минус 55°С со скоростью не более 100°С/мин, выдерживают при данной температуре 0,5 ч, плавно нагревают до плюс 2°С в течение 1 ч и выдерживают в течение 0,5 ч, подвергают воздействию не менее 16 непрерывно следующих друг за другом циклов по 3 ч.
СПОСОБ ИСПЫТАНИЯ НА КОРРОЗИОННУЮ СТОЙКОСТЬ ИНТЕГРАЛЬНЫХ СХЕМ
Источник поступления информации: Роспатент

Показаны записи 1-10 из 253.
10.01.2013
№216.012.1a17

Способ разбраковки полупроводниковых изделий

Изобретение относится к микроэлектронике, а именно к способам обеспечения качества и надежности полупроводниковых изделий (диодов, транзисторов и интегральных схем), и может быть использовано для разбраковки по критерию потенциальной надежности как в процессе производства, так и на входном...
Тип: Изобретение
Номер охранного документа: 0002472171
Дата охранного документа: 10.01.2013
20.02.2013
№216.012.2807

Устройство для измерения параметра низкочастотного шума γ

Изобретение относится к области радиоизмерений, а именно к измерению шумов полупроводниковых изделий, и может быть использовано для лабораторных и цеховых измерений параметра шума γ. Устройство для измерения параметра низкочастотного шума γ содержит два независимых канала усиления, к выходу...
Тип: Изобретение
Номер охранного документа: 0002475767
Дата охранного документа: 20.02.2013
10.06.2013
№216.012.49dd

Способ отбраковки полупроводниковых изделий пониженного уровня надежности

Изобретение относится к микроэлектронике, а именно к способам обеспечения надежности полупроводниковых изделий (ППИ) (транзисторов и интегральных схем), и может быть использовано для обеспечения повышенной надежности партий изделий как на этапе производства, так и на входном контроле на...
Тип: Изобретение
Номер охранного документа: 0002484489
Дата охранного документа: 10.06.2013
20.08.2013
№216.012.61bf

Способ сравнительной оценки надежности полупроводниковых изделий

Изобретение относится к микроэлектронике, а именно к способам обеспечения качества и надежности полупроводниковых изделий (ПИИ), и может быть использовано для сравнительной оценки надежности партий НИИ как на этапе производства, так и на входном контроле на предприятиях - изготовителях...
Тип: Изобретение
Номер охранного документа: 0002490655
Дата охранного документа: 20.08.2013
20.08.2013
№216.012.61c0

Способ отбраковки потенциально ненадежных транзисторов

Изобретение относится к микроэлектронике, а именно к способам обеспечения надежности транзисторов, и может быть использовано для разделения транзисторов по надежности в процессе производства, а также на входном контроле на предприятиях-изготовителях радиоэлектронной аппаратуры. Сущность:...
Тип: Изобретение
Номер охранного документа: 0002490656
Дата охранного документа: 20.08.2013
10.09.2013
№216.012.68df

Способ сравнительной оценки надежности партий интегральных схем

Изобретение относится к микроэлектронике, а именно к способам обеспечения качества и надежности интегральных схем (ИС), и может быть использовано для сравнительной оценки надежности партий ИС как на этапе производства, так и на входном контроле на предприятиях-изготовителях радиоэлектронной...
Тип: Изобретение
Номер охранного документа: 0002492494
Дата охранного документа: 10.09.2013
20.09.2013
№216.012.6d16

Способ многоальтернативной оптимизации моделей автоматизации структурного синтеза мехатронно-модульных роботов

Изобретение относится к машиностроению, а именно, к робототехнике, и может быть использовано при создании мехатронно-модульных роботов. Технический результат - ускорение процесса синтеза, повышение надежности работы мехатронно-модульных роботов. Предложен способ многоальтернативной оптимизации...
Тип: Изобретение
Номер охранного документа: 0002493577
Дата охранного документа: 20.09.2013
20.02.2014
№216.012.a352

Способ разделения транзисторов по надежности

Изобретение относится к микроэлектронике, а именно к обеспечению качества и надежности полупроводниковых изделий (ПЛИ), в частности транзисторов, и может быть использовано как на этапе производства, так и на этапе применения. Способ разделения транзисторов по надежности включает измерение...
Тип: Изобретение
Номер охранного документа: 0002507525
Дата охранного документа: 20.02.2014
10.04.2014
№216.012.b34d

Способ сравнительной оценки надежности партий полупроводниковых изделий

Изобретение относится к микроэлектронике, а именно к способам обеспечения качества и надежности полупроводниковых изделий ППИ (транзисторов, интегральных схем (ИС) и т.д.) и может быть использовано для сравнительной оценки надежности партий ППИ как в процессе производства, так и при входном...
Тип: Изобретение
Номер охранного документа: 0002511617
Дата охранного документа: 10.04.2014
10.04.2014
№216.012.b35d

Способ отбраковки полупроводниковых изделий пониженного уровня качества из партий изделий повышенной надежности

Изобретение относится к микроэлектронике, а именно к способам обеспечения надежности полупроводниковых изделий (ППИ) (транзисторов и интегральных схем), и может быть использовано для обеспечения повышенной надежности партий изделий как на этапе производства, так и на входном контроле на...
Тип: Изобретение
Номер охранного документа: 0002511633
Дата охранного документа: 10.04.2014
Показаны записи 1-10 из 292.
20.09.2013
№216.012.6d16

Способ многоальтернативной оптимизации моделей автоматизации структурного синтеза мехатронно-модульных роботов

Изобретение относится к машиностроению, а именно, к робототехнике, и может быть использовано при создании мехатронно-модульных роботов. Технический результат - ускорение процесса синтеза, повышение надежности работы мехатронно-модульных роботов. Предложен способ многоальтернативной оптимизации...
Тип: Изобретение
Номер охранного документа: 0002493577
Дата охранного документа: 20.09.2013
27.01.2014
№216.012.9be3

Способ электрохимического извлечения свинца из свинцово-кислотных отходов аккумуляторных батарей

Изобретение относится к способу извлечения свинца из отходов аккумуляторных батарей. Способ включает электролитическое осаждение свинца из щелочных растворов на асимметричном импульсном токе с варьированием периодической последовательности пакетов положительных n+ и отрицательных n- импульсов...
Тип: Изобретение
Номер охранного документа: 0002505613
Дата охранного документа: 27.01.2014
10.02.2014
№216.012.9ebe

Наноструктурное покрытие из гранулированного композита

Изобретение относится к наноэлектронике и наноэлектромеханике и может быть использовано в различных областях современной наноиндустрии, микроэлектронике, альтернативной энергетике и т.д. Наноструктурное покрытие из наногранулированного композита «металл-керамика», преимущественно (COFeB)(CaF),...
Тип: Изобретение
Номер охранного документа: 0002506346
Дата охранного документа: 10.02.2014
10.02.2014
№216.012.9ebf

Способ повышения износостойкости наноструктурного покрытия из гранулированного композита

Изобретение относится к наноэлектронике и наноэлектромеханике и может быть использовано в различных областях современной наноиндустрии, микроэлектроники, альтернативной энергетике и т.д. Способ повышения износостойкости наноструктурного покрытия из гранулированного композита «металл-керамика»,...
Тип: Изобретение
Номер охранного документа: 0002506347
Дата охранного документа: 10.02.2014
20.02.2014
№216.012.a2e2

Безредукторный ветроэлектроагрегат

Изобретение относится к области ветроэнергетики и может быть применено для выработки электроэнергии. Безредукторный ветроэлектроагрегат содержит башню, поворотное основание, снабженное ветроколесом с сегментными роторными элементами и установленной в подшипники втулкой, кронштейном со...
Тип: Изобретение
Номер охранного документа: 0002507413
Дата охранного документа: 20.02.2014
10.04.2014
№216.012.afa1

Конвекторное кольцо

Изобретение предназначено для отжига в колпаковой печи стопы рулонов холоднокатаной полосовой стали. Конвекторное кольцо содержит расположенные в параллельных плоскостях по окружности с равным шагом под углом к радиальному направлению ребра. Каждое из ребер одной плоскости соединено концевыми...
Тип: Изобретение
Номер охранного документа: 0002510676
Дата охранного документа: 10.04.2014
10.04.2014
№216.012.b34d

Способ сравнительной оценки надежности партий полупроводниковых изделий

Изобретение относится к микроэлектронике, а именно к способам обеспечения качества и надежности полупроводниковых изделий ППИ (транзисторов, интегральных схем (ИС) и т.д.) и может быть использовано для сравнительной оценки надежности партий ППИ как в процессе производства, так и при входном...
Тип: Изобретение
Номер охранного документа: 0002511617
Дата охранного документа: 10.04.2014
10.04.2014
№216.012.b369

Способ получения наноструктурного покрытия из гранулированного нанокомпозита

Изобретение относится к наноэлектронике и наноэлектромеханике и может быть использовано в различных областях современной наноиндустрии, микроэлектронике, альтернативной энергетике и т.д. В способе получения наноструктурного покрытия из гранулированного нанокомпозита «металл-керамика» получают...
Тип: Изобретение
Номер охранного документа: 0002511645
Дата охранного документа: 10.04.2014
10.04.2014
№216.012.b408

Способ подогрева криогенной жидкости

Изобретение относится к области теплотехники и может быть использовано для испарения сред, находящихся в жидком состоянии. Предложен способ подогрева криогенной жидкости, заключающийся в пропускании жидкости через теплообменные элементы с подведением к ним тепла. Корпус испарителя криогенной...
Тип: Изобретение
Номер охранного документа: 0002511805
Дата охранного документа: 10.04.2014
10.04.2014
№216.012.b4b0

Способ сжигания топлива

Изобретение относится к энергетическому, химическому и транспортному машиностроению и может быть использовано в камерах сгорания газотурбинных установок. Предложен способ сжигания топлива, заключающийся в предварительном разделении потока воздуха на коаксиальные кольцевые струи, закрутке...
Тип: Изобретение
Номер охранного документа: 0002511980
Дата охранного документа: 10.04.2014
+ добавить свой РИД