×
20.08.2014
216.012.ea03

СПОСОБ СБОРКИ ЧУВСТВИТЕЛЬНОГО ЭЛЕМЕНТА МИКРОМЕХАНИЧЕСКОГО ДАТЧИКА

Вид РИД

Изобретение

Юридическая информация Свернуть Развернуть
Краткое описание РИД Свернуть Развернуть
Аннотация: Изобретение относится к области приборостроения и может быть использовано при изготовлении чувствительных элементов, применяемых при изготовлении микромеханических акселерометров, микрогироскопов, интегральных датчиков давления. Задачей, на решение которой направлено изобретение, является упрощение и уменьшение технологического цикла сборки чувствительного элемента микромеханического датчика. В способе сборки чувствительного элемента микромеханического датчика совмещают стеклянную обкладку и кристалл из монокристаллического кремния, устанавливают и зажимают в специальном приспособлении, разогревают, выдерживают при заданной температуре и подают необходимое напряжение. При этом совмещают одновременно две стеклянные обкладки и кристалл из монокристаллического кремния, находящийся между ними, разогревают их до температуры 410°C, выдерживают 1,5 часа, подают напряжение на обе обкладки не меньше, чем на две минуты, отключают напряжение, меняют полярность напряжения, снова подают напряжение и повторяют цикл изменения полярности не менее трех раз. 1 ил.
Основные результаты: Способ сборки чувствительного элемента микромеханического датчика, заключающийся в совмещении стеклянной обкладки и кристалла из монокристаллического кремния, установке и зажатии в специальном приспособлении, разогреве, выдержке при заданной температуре и подаче напряжения, отличающийся тем, что совмещают одновременно две стеклянные обкладки и кристалл из монокристаллического кремния, находящийся между ними, и подают напряжение не менее 160 B на обе обкладки не меньше, чем на две минуты, отключают напряжение, проводят смену полярности напряжения, снова подают напряжение, повторяют цикл изменения полярности не менее трех раз.
Реферат Свернуть Развернуть

Изобретение относится к области приборостроения и может быть использовано при изготовлении чувствительных элементов, применяемых при изготовлении микромеханических акселерометров, микрогироскопов, интегральных датчиков давления.

Известен способ сборки микроакселерометров, заключающийся в последовательной установке каркасной катушки, разварки торсионов в корпусе датчика, установки на каркасной катушке пластины датчика преобразователя перемещений [1].

Недостатком данного способа является трудоемкость сборки и требование высокой квалификации сборщика.

Известен способ сборки чувствительных элементов, заключающийся в совмещении стеклянной обкладки и кристалла из монокристаллического кремния, установки и зажатии в специальном приспособлении, разогреве до температуры 400°C, выдержке при данной температуре в течение 1 часа и подаче на стеклянную обкладку и кремниевый кристалл напряжения 700 B [2].

Недостатком данного способа является то, что анодное соединение проводится только с одной стеклянной обкладкой. Для соединения со второй стеклянной обкладкой требуется дополнительная операция совмещения, установки в специальное приспособление, разогреве, выдержки и подачи напряжения.

Задача, на решение которой направлено изобретение - упрощение и уменьшение технологического цикла сборки чувствительного элемента микромеханического датчика.

Поставленная задача решается за счет того, что в способе сборки чувствительного элемента микромеханического датчика, заключающегося в совмещении стеклянной обкладки и кристалла из монокристаллического кремния, установки и зажатии в специальном приспособлении, разогреве, выдержке при заданной температуре и подаче напряжения, совмещают одновременно две стеклянные обкладки и кристалл из монокристаллического кремния, находящийся между ними, и подают напряжение не менее 160 B на обе обкладки не меньше, чем на две минуты, отключают напряжение, проводят смену полярности напряжения, снова подают напряжение, повторяют цикл изменения полярности не менее трех раз.

Отличительными признаками от известного является то, что проводится одновременно совмещение двух стеклянных обкладок с кристаллом из монокристаллического кремния, а также анодное соединение их. Причем подача напряжения осуществляется на стеклянные обкладки сверху и снизу, а также повторение циклов со сменой полярности. При этом анодное соединение проводят при напряжении не менее 160 B, что намного ниже, чем в прототипе.

На фиг.1 изображена схема для осуществления предлагаемого способа, где:

1 - стеклянные обкладки;

2 - кристалл из монокристаллического кремния;

3 - источник питания;

4 - источник нагрева;

5 - электропечь.

Способ осуществляется следующим образом. Вначале совмещают две стеклянные обкладки с кристаллом из монокристаллического кремния. Затем помещают собранную конструкцию в специальное приспособление. После этого зажимают под определенным усилием до создания оптического контакта между стеклянными обкладками и кристаллом из монокристаллического кремния. Проводят нагревание до температуры 410°C. Выдерживают при данной температуре 1,5 часа. Собирают схему согласно фиг.1. Подают напряжение 160 B на две минуты, наблюдая при этом в течение данного промежутка времени снижение тока в цепи с постоянной скоростью почти до нуля. Выключают питание. Меняют полярность. Снова включают питание на две минуты. Повторяют цикл изменения полярности не менее трех раз. Дают остыть вместе с печью. Достают из печи при температуре не выше плюс 80°C.

Таким образом, изготовление чувствительных элементов по предлагаемому способу позволяет сократить технологический цикл и одновременно соединять две стеклянные обкладки с кристаллом из монокристаллического кремния.

Источники информации

1. Акселерометр капиллярный АК5-15, ТУ 611.781.ТУ. 1984 г.

2. Патент США №6537938 (прототип).

Способ сборки чувствительного элемента микромеханического датчика, заключающийся в совмещении стеклянной обкладки и кристалла из монокристаллического кремния, установке и зажатии в специальном приспособлении, разогреве, выдержке при заданной температуре и подаче напряжения, отличающийся тем, что совмещают одновременно две стеклянные обкладки и кристалл из монокристаллического кремния, находящийся между ними, и подают напряжение не менее 160 B на обе обкладки не меньше, чем на две минуты, отключают напряжение, проводят смену полярности напряжения, снова подают напряжение, повторяют цикл изменения полярности не менее трех раз.
СПОСОБ СБОРКИ ЧУВСТВИТЕЛЬНОГО ЭЛЕМЕНТА МИКРОМЕХАНИЧЕСКОГО ДАТЧИКА
Источник поступления информации: Роспатент

Показаны записи 1-10 из 40.
10.02.2013
№216.012.24c2

Способ получения газопоглощающей структуры

Изобретение относится к вакуумной технике и представляет собой способ получения газопоглощающей структуры для поддержания вакуума в различных приборах, в том числе микроэлектромеханических системах. Газопоглощающая структура представляет собой слой активного металла либо сплава с развитой...
Тип: Изобретение
Номер охранного документа: 0002474912
Дата охранного документа: 10.02.2013
10.09.2013
№216.012.68db

Чувствительный элемент микромеханического акселерометра

Изобретение относится к измерительной технике и может быть использовано в микромеханических датчиках линейных ускорений. Чувствительный элемент, выполненный из монокристаллического кремния низкой проводимости, содержит центральную площадку, соединенную со стеклянной подложкой, на которых...
Тип: Изобретение
Номер охранного документа: 0002492490
Дата охранного документа: 10.09.2013
20.10.2013
№216.012.765f

Способ получения пористого анодного оксида титана

Изобретение относится к области гальванотехники и может быть использовано в области наноэлектроники. Способ включает формирование слоя пористого анодного оксида анодным окислением титанового образца в потенциостатическом режиме в электролите на неводной основе, при этом после формирования слоя...
Тип: Изобретение
Номер охранного документа: 0002495963
Дата охранного документа: 20.10.2013
27.10.2013
№216.012.7aef

Чувствительный элемент микромеханического компенсационного акселерометра

Изобретение относится к измерительной технике и может применяться в микромеханических компенсационных акселерометрах. Чувствительный элемент содержит инерционную массу, упругие элементы, катушку обратной связи, проводящие дорожки для электрической связи катушек обратной связи со схемой...
Тип: Изобретение
Номер охранного документа: 0002497133
Дата охранного документа: 27.10.2013
10.11.2013
№216.012.8010

Трехколлекторный биполярный магнитотранзистор

Изобретение относится к полупроводниковой электронике, к полупроводниковым приборам с биполярной структурой, обладающим чувствительностью к воздействию магнитного поля. Техническим результатом изобретения является повышение чувствительности к магнитному полю, направленному параллельно...
Тип: Изобретение
Номер охранного документа: 0002498457
Дата охранного документа: 10.11.2013
10.05.2014
№216.012.c1dd

Микромеханический акселерометр

Изобретение может применяться в микромеханических датчиках линейных ускорений. Сущность изобретения заключается в том, что микромеханический акселерометр содержит чувствительный элемент, выполненный из монокристаллического кремния низкой проводимости, внешнюю рамку с закрепленным на ней...
Тип: Изобретение
Номер охранного документа: 0002515378
Дата охранного документа: 10.05.2014
27.06.2014
№216.012.d606

Способ изготовления гибкой микропечатной платы

Изобретение относится к области приборостроения и радиоэлектроники и может быть использовано при изготовлении гибких микропечатных плат, применяемых при изготовлении вторичных преобразователей микромеханических акселерометров, микрогироскопов, интегральных датчиков давления и других изделий....
Тип: Изобретение
Номер охранного документа: 0002520568
Дата охранного документа: 27.06.2014
20.07.2014
№216.012.dff1

Устройство защиты выводов микросхемы от электростатических разрядов

Изобретение относится к вычислительной технике. Технический результат заключается в увеличении реактивного импеданса устройства защиты на высоких частотах. Устройство защиты выводов микросхемы от электростатических разрядов, включающее ключевые n-канальный и р-канальный транзисторы, управляющие...
Тип: Изобретение
Номер охранного документа: 0002523115
Дата охранного документа: 20.07.2014
20.07.2014
№216.012.e24c

Нанокомпозитная газопоглощающая структура и способ ее получения

Изобретение относится к вакуумной технике и представляет собой нанокомпозитную газопоглощающую структуру и способ ее получения, предназначенную для поддержания вакуума в различных приборах, в том числе микроэлектромеханических системах. Нанокомпозитная газопоглощающая структура представляет...
Тип: Изобретение
Номер охранного документа: 0002523718
Дата охранного документа: 20.07.2014
20.11.2014
№216.013.06a0

Способ контроля ширины элементов топологии

Изобретение относится к области вычислительной техники и может быть использовано для проверки топологии фотошаблонов, печатных плат, микросхем на наличие дефектов. Техническим результатом является повышение точности контроля ширины элементов и изоляционных промежутков. Способ содержит этапы, на...
Тип: Изобретение
Номер охранного документа: 0002533097
Дата охранного документа: 20.11.2014
Показаны записи 1-10 из 46.
10.02.2013
№216.012.24c2

Способ получения газопоглощающей структуры

Изобретение относится к вакуумной технике и представляет собой способ получения газопоглощающей структуры для поддержания вакуума в различных приборах, в том числе микроэлектромеханических системах. Газопоглощающая структура представляет собой слой активного металла либо сплава с развитой...
Тип: Изобретение
Номер охранного документа: 0002474912
Дата охранного документа: 10.02.2013
10.09.2013
№216.012.68db

Чувствительный элемент микромеханического акселерометра

Изобретение относится к измерительной технике и может быть использовано в микромеханических датчиках линейных ускорений. Чувствительный элемент, выполненный из монокристаллического кремния низкой проводимости, содержит центральную площадку, соединенную со стеклянной подложкой, на которых...
Тип: Изобретение
Номер охранного документа: 0002492490
Дата охранного документа: 10.09.2013
20.10.2013
№216.012.765f

Способ получения пористого анодного оксида титана

Изобретение относится к области гальванотехники и может быть использовано в области наноэлектроники. Способ включает формирование слоя пористого анодного оксида анодным окислением титанового образца в потенциостатическом режиме в электролите на неводной основе, при этом после формирования слоя...
Тип: Изобретение
Номер охранного документа: 0002495963
Дата охранного документа: 20.10.2013
27.10.2013
№216.012.7aef

Чувствительный элемент микромеханического компенсационного акселерометра

Изобретение относится к измерительной технике и может применяться в микромеханических компенсационных акселерометрах. Чувствительный элемент содержит инерционную массу, упругие элементы, катушку обратной связи, проводящие дорожки для электрической связи катушек обратной связи со схемой...
Тип: Изобретение
Номер охранного документа: 0002497133
Дата охранного документа: 27.10.2013
10.11.2013
№216.012.8010

Трехколлекторный биполярный магнитотранзистор

Изобретение относится к полупроводниковой электронике, к полупроводниковым приборам с биполярной структурой, обладающим чувствительностью к воздействию магнитного поля. Техническим результатом изобретения является повышение чувствительности к магнитному полю, направленному параллельно...
Тип: Изобретение
Номер охранного документа: 0002498457
Дата охранного документа: 10.11.2013
10.05.2014
№216.012.c1dd

Микромеханический акселерометр

Изобретение может применяться в микромеханических датчиках линейных ускорений. Сущность изобретения заключается в том, что микромеханический акселерометр содержит чувствительный элемент, выполненный из монокристаллического кремния низкой проводимости, внешнюю рамку с закрепленным на ней...
Тип: Изобретение
Номер охранного документа: 0002515378
Дата охранного документа: 10.05.2014
27.06.2014
№216.012.d606

Способ изготовления гибкой микропечатной платы

Изобретение относится к области приборостроения и радиоэлектроники и может быть использовано при изготовлении гибких микропечатных плат, применяемых при изготовлении вторичных преобразователей микромеханических акселерометров, микрогироскопов, интегральных датчиков давления и других изделий....
Тип: Изобретение
Номер охранного документа: 0002520568
Дата охранного документа: 27.06.2014
20.07.2014
№216.012.dff1

Устройство защиты выводов микросхемы от электростатических разрядов

Изобретение относится к вычислительной технике. Технический результат заключается в увеличении реактивного импеданса устройства защиты на высоких частотах. Устройство защиты выводов микросхемы от электростатических разрядов, включающее ключевые n-канальный и р-канальный транзисторы, управляющие...
Тип: Изобретение
Номер охранного документа: 0002523115
Дата охранного документа: 20.07.2014
20.07.2014
№216.012.e24c

Нанокомпозитная газопоглощающая структура и способ ее получения

Изобретение относится к вакуумной технике и представляет собой нанокомпозитную газопоглощающую структуру и способ ее получения, предназначенную для поддержания вакуума в различных приборах, в том числе микроэлектромеханических системах. Нанокомпозитная газопоглощающая структура представляет...
Тип: Изобретение
Номер охранного документа: 0002523718
Дата охранного документа: 20.07.2014
20.11.2014
№216.013.06a0

Способ контроля ширины элементов топологии

Изобретение относится к области вычислительной техники и может быть использовано для проверки топологии фотошаблонов, печатных плат, микросхем на наличие дефектов. Техническим результатом является повышение точности контроля ширины элементов и изоляционных промежутков. Способ содержит этапы, на...
Тип: Изобретение
Номер охранного документа: 0002533097
Дата охранного документа: 20.11.2014
+ добавить свой РИД