27.09.2013
216.012.7053

СКАНИРУЮЩИЙ ЗОНДОВЫЙ МИКРОСКОП

Вид РИД

Изобретение

Юридическая информация Свернуть Развернуть
№ охранного документа
0002494406
Дата охранного документа
27.09.2013
Краткое описание РИД Свернуть Развернуть
Аннотация: Изобретение относится к нанотехнологии и сканирующей зондовой микроскопии, а более конкретно к устройствам, позволяющим получать информацию о топографической структуре образца, локальной жесткости, трении, а также об оптических свойствах поверхности в режиме близкопольного оптического микроскопа. Сканирующий зондовый микроскоп включает платформу с блоком предварительного сближения, пьезосканер, на котором установлен кварцевый резонатор, расположенный с возможностью взаимодействия с зондом. Кварцевый резонатор содержит два плеча разной длины и расположен под углом, не равным 90° к поверхности образца, а зонд закреплен на длинном плече. Технический результат - повышение надежности устройства и долговечности зондов, расширение его функциональных возможностей. 9 ил.
Основные результаты: Сканирующий зондовый микроскоп, включающий платформу с блоком предварительного сближения, пьезосканер, на котором установлен кварцевый резонатор, расположенный с возможностью взаимодействия с зондом, отличающийся тем, что кварцевый резонатор содержит два плеча разной длины и расположен под углом, не равным 90° к поверхности образца, а зонд закреплен на длинном плече.
Реферат Свернуть Развернуть

Изобретение относится к нанотехнологии и сканирующей зондовой микроскопии, а более конкретно к устройствам, позволяющим получать информацию о топографической структуре образца, локальной жесткости, трении, а также об оптических свойствах поверхности в режиме близкопольного оптического микроскопа.

Известен сканирующий зондовый микроскоп (СЗМ) [1], в котором используют кварцевый резонатор в виде камертона с приклеенной к нему иглой либо оптическим волокном, закрепленным в держателе. Механическое возбуждение кварцевого резонатора происходит при помощи пьезопластины, а детектирование электромеханического отклика - по электрическим характеристикам, снимаемых с разъемов кварцевого резонатора. Рабочей резонансной частотой приведенного устройства является основная мода колебаний. Зонд в виде иглы или оптического волокна расположен по нормали к исследуемой поверхности. Это устройство выбрано в качестве прототипа предложенного решения.

Недостатком данного устройства является расположение зонда по нормали к поверхности образца, при этом рабочий конец зонда совершает колебания параллельно этой поверхности, а силы взаимодействия между зондом и образцом имеют очень узкий рабочий диапазон, при превышении которого происходит необратимая деформация зонда. Кроме этого недостатком данного устройства является ограничение доступа к рабочей области контакта зонд-образец для размещения и подвода других устройств.

Технический результат предложенного решения заключается в повышении надежности устройства и долговечности зондов, а также расширении его функциональных возможностей.

Указанный технический результат достигается тем, что в сканирующем зондовом микроскопе, включающем платформу с блоком предварительного сближения, пьезосканер, на котором установлен кварцевый резонатор с зондом, расположенный с возможностью взаимодействия с образцом, зонд расположен под углом, не равным 90°, к плоскости образца.

Возможны варианты, в которых кварцевый резонатор содержит два плеча в виде удлиненных элементов, а зонд закреплен на одном из них под углом к их продольной оси, или с возможностью изгиба, или представляет собой изогнутый элемент.

Возможен также вариант, в котором кварцевый резонатор содержит по крайней мере одно плечо в виде удлиненного элемента и расположен под углом, не равным 90°, к поверхности образца, а зонд закреплен на одном из них параллельно его продольной оси.

Возможен также вариант, в котором кварцевый резонатор содержит два плеча разной длины и расположен под углом, не равным 90°, к поверхности образца, а зонд закреплен на одном из них параллельно его продольной оси.

Существует вариант, в котором зонд выполнен в виде первого световода, а устройство снабжено вторым вспомогательным световодом, установленным на пьезосканере посредством установочного устройства.

Существует также вариант, в котором вспомогательный световод установлен на платформе посредством микроподвижки.

На фиг.1 изображен сканирующий зондовый микроскоп в общем виде.

На фиг.2, фиг.3, фиг.4 изображены различные варианты закрепления зондов на кварцевом резонаторе.

На фиг.5, фиг.6 представлены различные варианты выполнения кварцевых резонаторов.

На фиг.7, фиг.8 представлены различные варианты выполнения СЗМ со вспомогательными зондами.

На фиг.9 изображена оптическая схема соединения элементов СЗМ.

Сканирующий зондовый микроскоп в общем виде состоит из платформы 1, на которой закреплены XYZ пьезосканер 2, обеспечивающий сканирование в плоскости XY и точное перемещение зонда 3 по Z-направлению, а также устройства 4 грубого подвода по Z-направлению, выполненного, например, на основе шагового двигателя, сопряженного с винтовым толкателем осевого перемещения. Кроме этого в СЗМ входит держатель кварцевого резонатора 5, состыкованный с XYZ пьезосканером 2. К держателю кварцевого резонатора 5 подсоединен кварцевый резонатор 6, а также может быть присоединена пьезопластина 7. Платформа 1 установлена на основании 8, содержащем держатель 9 образца 10. Генератор 11, блок управления сканирования 12 и усилитель напряжения входного сигнала 13 подключены соответственно к возбуждающей пьезопластине 6, XYZ пьезосканеру 2 и кварцевому резонатору 6. Держатель кварцевого резонатора 5 может представлять собой монтажную плату, на которой сделаны дорожки для монтажа. На монтажной плате при помощи пайки монтируют кварцевый резонатор и возбуждающую пьезопластину. В этом случае монтажная плата, кварцевый резонатор и возбуждающая пьезопластина являются сменным блоком. Они составляют единое целое и при замене кварцевого резонатора монтажную плату вставляют в разъем и вынимают из него. Описанные модули на чертежах не показаны, т.к. подробно представлены в прототипе [1]. Зонд 3, который может представлять собой либо заостренное оптическое волокно, либо заостренную иглу, в том числе и металлическую, может крепиться к одному плечу кварцевого резонатора 6 и быть расположенным под углом γ к поверхности образца 10, изменяющимся в диапазоне от 30 до 90 град. Подробно все элементы сканирующего зондового микроскопа описаны в [2, 3].

На Фиг.2 зонд 14, представляющий собой прямое заостренное волокно или прямую заостренную иглу, закреплен на кварцевом резонаторе 15 с двумя равными плечами в двух точках 16 и 17, например, с помощью клея, обеспечивающим точечную фиксацию, причем одна точка фиксации находится на базе кварцевого резонатора, а другая на его плече, на дальнем от базы конце, причем прямая, соединяющая две точки фиксации 16 и 17, составляет угол β к направлению продольной оси кварцевого резонатора O1-O1. Наиболее предпочтительное значение этого угла может быть в диапазоне 0-10 град. В качестве клея можно использовать эпоксидную смолу.

На Фиг.3 зонд 18, представляющий собой изначально прямое гибкое заостренное волокно или иглу, закреплен на плече 19 кварцевого резонатора 15 в двух точках 20, 21, например, с помощью клея, обеспечивающего точечную фиксацию. Причем одна точка фиксации 20 находится на базе кварцевого резонатора 15, а другая 21 на его плече 19, на дальнем от базы конце. При этом в первой точке 20 на базе резонатора 15 зонд 18 фиксируется вплотную к резонатору, а во второй точке 21 зонд 18 фиксируется к резонатору с помощью дополнительного промежуточного элемента 22, обеспечивая изгиб зонда 18 и наклон его заостренного конца на угол γ к направлению продольной оси кварцевого резонатора O1-O1. Наиболее предпочтительное значение этого угла может быть в диапазоне 0-15 град.

На Фиг.4 зонд 23, представляющий собой волокно или иглу с изначально изогнутым заостренным кончиком, закреплен на плече 19 кварцевого резонатора 15 в двух точках 24, 25, например, с помощью клея, обеспечивающего точечную фиксацию. Причем одна точка фиксации 24 находится на базе кварцевого резонатора 15, а другая 25 на его плече, на дальнем от базы конце. При этом изначальный изгиб 26 кончика волокна или иглы приходится на незакрепленный конец зонда 23, обеспечивая наклон его заостренного конца на угол δ к направлению продольной оси кварцевого резонатора O1-O1. Наиболее предпочтительное значение этого угла может быть в диапазоне 0-15 град.

На Фиг.5 зонд 27, представляющий собой прямое заостренное волокно или прямую заостренную иглу, закреплен на кварцевом резонаторе 28 с одним плечом 29 в двух точках 30, например, с помощью клея. Одна точка находится на базе кварцевого резонатора, а другая на его плече 29, на дальнем от базы конце. Причем сам резонатор 28 закреплен на своем держателе 31 таким образом, что его зонд 27 наклонен на угол s по отношению к поверхности образца. Наиболее предпочтительное значение этого угла может быть в диапазоне 45-90 град.

На Фиг.6 зонд 27, представляющий собой прямое заостренное волокно или прямую заостренную иглу, закреплен на одном плече кварцевого резонатора 32 в двух точках 30, например, с помощью клея, при этом плечи 33, 34 имеют разную длину. Одна точка находится на базе кварцевого резонатора, а другая на его длинном плече 34, на дальнем от базы конце. Причем резонатор закреплен на своем держателе 31 таким образом, что зонд 27 наклонен на угол η по отношению к поверхности образца 10. Наиболее предпочтительное значение этого угла может быть в диапазоне 45-90 град.

На Фиг.7 зонд 35, представляющий собой прямое заостренное волокно -преимущественно световод, закреплен на одном плече кварцевого резонатора 32 с двумя не равными плечами 33, 34 в двух точках 30, например, с помощью клея, обеспечивающим точечную фиксацию, причем одна точка фиксации находится на боковом торце базы кварцевого резонатора, а другая на его более длинном плече, на дальнем от базы конце. Причем резонатор закреплен на своем держателе 36 таким образом, что его зонд 35 наклонен на угол η по отношению к поверхности образца 10. Наиболее предпочтительное значение этого угла может быть в диапазоне 45-90 град. Первый вспомогательный зонд 37, представляющий собой прямое заостренное волокно, закреплен на держателе 36 посредством установочного устройства 38. В качестве устройства 38 может быть использован кронштейн, на котором посредства клея (эпоксидной смолы) закреплен зонд 37. Точное его положение относительно зонда 35 может быть обеспечено фиксацией кончика зонда 37 в процессе полимеризации клея.

На Фиг.8 зонд 39, представляющий собой прямое заостренное волокно - световод или прямую заостренную иглу, закреплен на одном плече кварцевого резонатора 32 с двумя не равными плечами. Сам резонатор 32 закреплен на своем держателе 31 таким образом, что его продольная ось наклонена на угол η по отношению к поверхности образца 10. Наиболее предпочтительное значение этого угла может быть в диапазоне 30-60 град. Второй вспомогательный зонд 40, представляющий собой прямое заостренное волокно, закреплен на платформе сканирующей головки 41 посредством микроподвижки 42, обеспечивающей трехкоординатное перемещение второго зонда 40 относительно зонда 39. Причем только зонд 39 механически зафиксирован по отношению к трехкоординатному пьезосканеру 2, обеспечивая сканирование поверхности образца 10 при неподвижном втором зонде 40.

В одном из применений (Фиг.9) зонд 3 в виде оптического волокна сопряжен посредством трехкоординатной подвижки 43 с первым объективом 44 и лазером 45. Держатель образца 46 с образцом 10 установлен на двухкоординатном столе 47. Образец 10 оптически сопряжен посредством второго объектива 48 и полупрозрачного зеркала 49 с видеомодулем 50 и фотоумножителем 51. Элементы 48 и 49 могут быть элементами инвертированного оптического микроскопа Olympus 1X-71.

Сканирующий зондовый микроскоп работает следующим образом. Генератор 11 (Фиг.1) подает напряжение на пьезопластину 7 на частоте резонанса кварцевого резонатора 6, механические колебания через держатель 5 возбуждают механический резонанс на кварцевом резонаторе 6, который вырабатывает электрический отклик, подаваемый на усилитель-преобразователь 13. При этом прикрепленный к кварцевому резонатору 6 зонд 3 совершает колебательные движения, причем амплитуда колебаний рабочего конца зонда непосредственно возле поверхности исследуемого образца 10 составляет единицы нанометров. При приближении с помощью шагового двигателя 4 зонда 3 к образцу 10 возникают силы механического взаимодействия между зондом 3 и образцом 10, которые приводят к уменьшению амплитуды колебаний кончика зонда 3, и, соответственно, и амплитуды колебаний кварцевого резонатора 6 и амплитуды электрического сигнала, снимаемого с кварцевого резонатора 6. Система обратной связи поддерживает постоянный уровень амплитуды электрического сигнала, снимаемого с кварцевого резонатора 6, а следовательно, и амплитуды кончика зонда 3 и силы взаимодействия между зондом 3 и образцом 6, путем перемещения зонда 3 по направлению нормали к поверхности образца 10 с помощью блока управления 12 и Z обкладки трехкоординатного сканера 2. В случае, когда кончик зонда 3 направлен не по нормали к поверхности образца 10, колебания кончика зонда 3 не параллельны поверхности образца 10. При этом для той же амплитуды колебаний заметно уменьшается сила взаимодействия зонд-образец, что уменьшает вероятность повреждения зонда 3 и/или поверхности образца 10. Также при этом увеличивается рабочий диапазон используемых в обратной связи величин сил взаимодействия зонд-образец. При работе с двумя зондами (фиг.7, фиг.8) сигнал, отраженный от объекта 10 может поступать в видеомодуль 48 и фотоумножитель 49 непосредственно через световоды 36 и 40 (не показано). Подробно работу сканирующих зондовых микроскопов аналогичного применения см. в [1. 2. 3].

Расположение зонда под углом к поверхности образца, не равным 90 град. повышает надежность и долговечность зонда, а за счет возможности измерения более широкого круга образцов с развитыми поверхностями расширяет функциональные возможности.

Закрепление зонда на одном из плечей кварцевого резонатора под углом к его продольной оси позволяет устанавливать кварцевый резонатор по продольной оси трехкоординатного сканера в максимально жесткой конструкции, обеспечить жесткость крепления зонда к кварцевому резонатору, и при этом обеспечить существенный наклон кончика зонда к нормали к поверхности.

Использование достаточно гибкого зонда позволяет закрепить зонд на кварцевом резонаторе в основном параллельно его продольной оси с возможностью изгиба кончика зонда, обеспечить жесткость крепления зонда к кварцевому резонатору, и при этом обеспечить наклон кончика зонда к поверхности образца.

Использование изначально изогнутого зонда позволяет закрепить зонд на кварцевом резонаторе в основном параллельно его продольной оси с изгибом кончика зонда, обеспечить жесткость крепления зонда к кварцевому резонатору, и при этом обеспечить существенный наклон кончика зонда к поверхности образца.

Закрепление кварцевого резонатора под углом, не равным 90°, к поверхности образца, позволяет закрепить жесткий прямой зонд параллельно продольной оси кварцевого резонатора.

Закрепление зонда таким образом, чтобы кончик зонда образовывал наклон к поверхности образца, позволяет снабдить устройство вспомогательным зондом.

ЛИТЕРАТУРА

1. Патент RU 2358340, опубл. 10.06.2009.

2. Зондовая микроскопия для биологии и медицины. В.А.Быков и др., Сенсорные системы, т.12, №1, 1998 г., с.99-121.

3. В.Миронов. Основы сканирующей зондовой микроскопии. Техносфера, М., 2004 г., 143 с.

Сканирующий зондовый микроскоп, включающий платформу с блоком предварительного сближения, пьезосканер, на котором установлен кварцевый резонатор, расположенный с возможностью взаимодействия с зондом, отличающийся тем, что кварцевый резонатор содержит два плеча разной длины и расположен под углом, не равным 90° к поверхности образца, а зонд закреплен на длинном плече.
СКАНИРУЮЩИЙ ЗОНДОВЫЙ МИКРОСКОП
СКАНИРУЮЩИЙ ЗОНДОВЫЙ МИКРОСКОП
СКАНИРУЮЩИЙ ЗОНДОВЫЙ МИКРОСКОП
СКАНИРУЮЩИЙ ЗОНДОВЫЙ МИКРОСКОП
СКАНИРУЮЩИЙ ЗОНДОВЫЙ МИКРОСКОП
СКАНИРУЮЩИЙ ЗОНДОВЫЙ МИКРОСКОП
СКАНИРУЮЩИЙ ЗОНДОВЫЙ МИКРОСКОП
СКАНИРУЮЩИЙ ЗОНДОВЫЙ МИКРОСКОП
СКАНИРУЮЩИЙ ЗОНДОВЫЙ МИКРОСКОП
Источник поступления информации: Роспатент

Показаны записи 1-10 из 46.
10.01.2013
№216.012.19d6

Емкостной датчик для измерения линейных перемещений

Изобретение относится к области прецизионных измерений перемещений посредством измерения емкости и может быть использовано для определения линейных перемещений сканирующих устройств в сканирующих зондовых микроскопах (СЗМ). Сущность: датчик содержит измерительную емкость и опорную емкость,...
Тип: Изобретение
Номер охранного документа: 0002472106
Дата охранного документа: 10.01.2013
10.01.2013
№216.012.1a11

Сканирующий зондовый микроскоп для биологических применений

Изобретение относится к измерительной технике, а именно к устройствам измерения с помощью сканирующего зондового микроскопа (СЗМ) рельефа, линейных размеров и других характеристик объектов, преимущественно в биологии, с одновременным оптическим наблюдением объекта в проходящем через объект...
Тип: Изобретение
Номер охранного документа: 0002472165
Дата охранного документа: 10.01.2013
20.01.2013
№216.012.1c89

Способ получения замещенных 2,3,5,6-тетраоксабицикло-[2.2.1]гептанов

Настоящее изобретение относится к способу получения замещенных 2,3,5,6-тетраоксабицикло[2.2.1]гептанов формулы I, где R = адамантил, незамещенный или замещенный бензил, незамещенный или замещенный алкил С1-С6, при этом заместителями могут быть CN, COOMe, COOEt или СН=СН группа, R = низший алкил...
Тип: Изобретение
Номер охранного документа: 0002472799
Дата охранного документа: 20.01.2013
10.05.2013
№216.012.3e97

Способ изготовления коллоидного зондового датчика для атомно-силового микроскопа

Изобретение относится к области приборостроения, преимущественно к измерительной технике. Сущность изобретения заключается в способе изготовления коллоидного зондового датчика, в котором используется атомно-силовой микроскоп (АСМ), и его собственном работоспособном зондовом датчике. Сначала с...
Тип: Изобретение
Номер охранного документа: 0002481590
Дата охранного документа: 10.05.2013
27.06.2013
№216.012.5229

Формирователь малорасходящихся потоков излучения

Устройство относится к рентгеновской технике и может быть использовано в качестве формирователя первичного потока для рентгеновской дифрактометрии и топографии, приборов малоуглового рассеяния, рентгеновских рефлектометров различного назначения, рентгеновских дефектоскопов, систем и...
Тип: Изобретение
Номер охранного документа: 0002486626
Дата охранного документа: 27.06.2013
20.07.2013
№216.012.57f6

Сканирующий зондовый микроскоп, совмещенный с оптическим микроскопом

Устройство относится к сканирующим зондовым микроскопам (СЗМ) и предназначено для одновременной работы зондового и оптического микроскопов с визуализацией данных на экране компьютера. Сущность изобретения заключается в том, что оптический микроскоп содержит базовый элемент с крышкой, на котором...
Тип: Изобретение
Номер охранного документа: 0002488126
Дата охранного документа: 20.07.2013
27.08.2013
№216.012.6433

Способ получения наноразмерного амфотерицина в

Настоящее изобретение относится к области медицины, фармацевтике и нанотехнологиям и, конкретно, к способу получения наноразмерного, нанесенного на алюмосиликатные нанотрубки, амфотерицина В - малорастворимого полиенового макроциклического антибиотика, который широко используется для лечения...
Тип: Изобретение
Номер охранного документа: 0002491288
Дата охранного документа: 27.08.2013
27.09.2013
№216.012.6ee2

Способ получения атомно-тонких монокристаллических пленок

Изобретение относится к области нанотехнологии и может быть использовано для получения атомно-тонких монокристаллических пленок различных слоистых материалов. Технический результат - упрощение технологии изготовления атомно-тонких монокристаллических пленок. Достигается тем, что в способе...
Тип: Изобретение
Номер охранного документа: 0002494037
Дата охранного документа: 27.09.2013
10.11.2013
№216.012.7c68

Фармацевтическая композиция, обладающая противогрибковой активностью, и способ ее получения

Изобретение относится к области медицины, фармацевтики и нанотехнологий, конкретно к фармацевтической композиции на основе флуконазола - противогрибкового средства из группы производных триазола, получаемого химическим синтезом, и к способу ее получения. Предложенная фармацевтическая...
Тип: Изобретение
Номер охранного документа: 0002497521
Дата охранного документа: 10.11.2013
20.12.2013
№216.012.8e7d

Сумматор свч сигналов

Изобретение относится к технике сверхвысоких частот (СВЧ), в частности к устройствам сложения (деления) СВЧ сигналов, и может быть использовано для сложения (деления) СВЧ сигналов в фидерных трактах техники связи, радиолокационных устройств, в телевидении, в измерительной технике. Технический...
Тип: Изобретение
Номер охранного документа: 0002502160
Дата охранного документа: 20.12.2013
Показаны записи 1-9 из 9.
10.05.2013
№216.012.3e97

Способ изготовления коллоидного зондового датчика для атомно-силового микроскопа

Изобретение относится к области приборостроения, преимущественно к измерительной технике. Сущность изобретения заключается в способе изготовления коллоидного зондового датчика, в котором используется атомно-силовой микроскоп (АСМ), и его собственном работоспособном зондовом датчике. Сначала с...
Тип: Изобретение
Номер охранного документа: 0002481590
Дата охранного документа: 10.05.2013
20.07.2014
№216.012.de9e

Нанотехнологический комплекс

Изобретение относится к нанотехнологическому оборудованию и предназначено для замкнутого цикла производства и измерения новых изделий наноэлектроники. Нанотехнологический комплекс включает робот-раздатчик с возможностью осевого вращения, сопряженный с камерой загрузки образцов и модулем...
Тип: Изобретение
Номер охранного документа: 0002522776
Дата охранного документа: 20.07.2014
20.09.2014
№216.012.f5c1

Нанотехнологический комплекс на основе ионных и зондовых технологий

Использование: для замкнутого цикла производства новых изделий наноэлектроники. Сущность изобретения заключается в том, что в нанотехнологический комплекс на основе ионных и зондовых технологий, включающий распределительную камеру со средствами откачки, в которой расположен центральный робот...
Тип: Изобретение
Номер охранного документа: 0002528746
Дата охранного документа: 20.09.2014
20.11.2014
№216.013.068a

Устройство ориентации образца для нанотехнологического комплекса

Изобретение относится к области нанотехнологии и может быть использовано в автоматизированных транспортных системах передачи и позиционирования образца в вакууме и контролируемой газовой среде. Устройство содержит средство захвата образца и механизм его перемещения, носитель образца в виде...
Тип: Изобретение
Номер охранного документа: 0002533075
Дата охранного документа: 20.11.2014
20.11.2014
№216.013.0784

Многофункциональная сенсорная микроэлектромеханическая система

Многофункциональная сенсорная микроэлектромеханическая система (МЭМС) предназначена для использования в газоанализаторах, в медицине в качестве биосенсоров, в микроэлектронике и других высокотехнологичных областях для контроля технологических процессов. Многофункциональная сенсорная...
Тип: Изобретение
Номер охранного документа: 0002533325
Дата охранного документа: 20.11.2014
10.01.2015
№216.013.1b48

Сканирующий зондовый микроскоп с устройством для функционирования многозондового датчика

Изобретение относится к области сканирующей зондовой микроскопии. Микроскоп с устройством включает платформу (1), держатель образца (2) с образцом (3), установленные на сканирующем устройстве (4), сопряженном с платформой (1), блок сближения (5), систему регистрации (6), состоящую из источника...
Тип: Изобретение
Номер охранного документа: 0002538412
Дата охранного документа: 10.01.2015
20.08.2015
№216.013.7145

Способ введения целевых молекул в клетки

Изобретение относится к области биохимии. Предложен способ введения целевых молекул в клетки. Способ включает закрепление на культуральной подложке в питательной среде массива рабочих клеток, а также введение целевых молекул в массив рабочих клеток путем прокола клеточной мембраны. Целевые...
Тип: Изобретение
Номер охранного документа: 0002560567
Дата охранного документа: 20.08.2015
13.01.2017
№217.015.66db

Многозондовый датчик контурного типа для сканирующего зондового микроскопа

Изобретение относится к области сканирующей зондовой микроскопии и может использоваться в условиях ограниченного доступа к зондам, например, в вакууме или агрессивной среде. Многозондовый датчик контурного типа содержит основание, на котором по внешнему контуру первыми концами закреплены...
Тип: Изобретение
Номер охранного документа: 0002592048
Дата охранного документа: 20.07.2016
13.01.2017
№217.015.688f

Устройство манипулирования

Устройство манипулирования относится к области точной механики и может быть использовано для точного перемещения объектов, например, в зондовой микроскопии. Заявленное устройство манипулирования включает основание (1) с блоком направляющих, на котором установлена подвижная каретка (2),...
Тип: Изобретение
Номер охранного документа: 0002591871
Дата охранного документа: 20.07.2016

Похожие РИД в системе

+ добавить свой РИД