×
10.05.2013
216.012.3eec

КОНСТРУКЦИЯ И ТЕХНОЛОГИЯ ИЗГОТОВЛЕНИЯ ИНТЕГРАЛЬНОГО МИКРОМЕХАНИЧЕСКОГО РЕЛЕ С ПОДВИЖНЫМ ЭЛЕКТРОДОМ В ВИДЕ СТРУКТУРЫ С ПЬЕЗОЭЛЕКТРИЧЕСКИМ СЛОЕМ

Вид РИД

Изобретение

Юридическая информация Свернуть Развернуть
№ охранного документа
0002481675
Дата охранного документа
10.05.2013
Краткое описание РИД Свернуть Развернуть
Аннотация: Изобретение относится к области электронной техники и может быть использовано при изготовлении приборов микроэлектромеханических систем, в частности интегральных микромеханических реле и устройств на их основе: силовых переключателей, схем памяти, сенсорных датчиков, систем обработки информации и др. Способ изготовления интегрального микромеханического реле с подвижным электродом в виде структуры с пьезоэлектрическим слоем, состоящее из подложки, покрытой диэлектрическим слоем с нижним (неподвижным) электродом, и подвижного электрода, состоящего последовательно из нижнего токопроводящего слоя, диэлектрического слоя с высокими упругими свойствами, среднего токопроводящего слоя, пьезоэлектрического слоя, верхнего токопроводящего слоя, расположенного на поверхности вышеупомянутой подложки, осуществляется на поверхности кремниевых пластин. Создание интегрального микромеханического реле с подвижным электродом в виде структуры с пьезоэлектрическим слоем осуществляют в едином технологическом цикле при упрощенной технологии изготовления, совместимой с технологией производства интегральных схем, в которой формирование подвижного электрода возможно в виде консоли или в виде балки и включает операции: формирования на поверхности кремниевой подложки пленки SiN методом пиролиза SiN; напыление слоя TiN и формирование структуры «нижний электрод» методом проекционной фотолитографии и плазмохимического травления слоя TiN; осаждение слоя ФСС (фосфатно-силикатного стекла) методом химического осаждения из газовой фазы и формирование на его основе жертвенного слоя методом жидкостного химического травления; напыление первого слоя TiN; осаждение диэлектрического слоя SiN; напыление второго слоя TiN; осаждение пьезоэлектрического слоя ЦТС; напыление третьего слоя TiN; плазмохимическое травление слоев: третьего слоя TiN, слоя ЦТС, второго слоя TiN, слоя SiN, первого слоя TiN с формированием подвижного многослойного электрода и вскрытием жертвенного слоя ФСС, жидкостное химическое травление жертвенного слоя ФСС с образованием воздушного зазора между неподвижным и подвижным электродами. Технический результат: использование в качестве подвижного электрода микромеханического реле многослойной структуры с пьезоэлектрическим слоем на основе сегнетоэлектриков приводит к повышению надежности и к увеличению долговечности работы микромеханического реле. Использование микроэлектронной технологии для производства микромеханического реле позволяет минимизировать размеры устройства до 20-80 мкм и упростить технологию его производства. 2 з.п. ф-лы, 5 ил.
Реферат Свернуть Развернуть

Описание изобретения

Область техники

Изобретение относится к области электронной техники и может быть использовано при изготовлении приборов микроэлектромеханических систем, в частности интегральных микромеханических реле и устройств на их основе: силовых переключателей, схем памяти, сенсорных датчиков, систем обработки информации и др.

Уровень техники

Интегральное микромеханическое реле с подвижным электродом в виде структуры с пьезоэлектрическим слоем может изготавливаться в виде балки, состоящей из неподвижного электрода и подвижного электрода - балки, закрепленной на опорах с двух сторон, выполненной в виде структуры с пьезоэлектрическим слоем, или в виде консоли, состоящей из неподвижного электрода и подвижного электрода - консоли, закрепленного на опоре с одной стороны, выполненной в виде структуры с пьезоэлектрическим слоем. Реле в виде консоли обеспечивает работу устройства при более низких рабочих напряжения, чем реле в виде балки с теми же размерами подвижного электрода. Эффективность работы интегрального микромеханического реле определяется обратным пьезоэлектрическим эффектом, вызывающим перемещение подвижного электрода, что в свою очередь зависит от материала подвижного электрода, приложенного напряжения и расстояния между электродами. Также эффективность работы микромеханического реле определяется гибкостью и прочностью подвижного электрода, которое обеспечивает использование в структуре подвижного электрода диэлектрических слоев с высокими упругими свойствами.

Хорошо известны пьезоэлектрические свойства сегнетоэлектриков, а именно ЦТС-19 (на основе свинца, цирконата, титаната). Для обеспечения высокой подвижности электрода он должен быть изготовлен из материала с хорошо выраженным обратным пьезоэлектрическим эффектом, который может обеспечить пленки сегнетоэлектрика, а именно ЦТС-19 (на основе свинца, цирконата, титаната).

Одним из способов получения устройства с подвижным элементом является устройство, показанное в патенте РФ №2193804, в котором описаны конструкция, способ изготовления и характеристики полупроводникового термомеханического микроактюатора, который предназначен для использования в конструкциях широкого класса микроманипуляторов, в том числе и микрореле, состоящего из основания, выполненного в виде рамы, электрического нагревателя и исполнительного элемента из кремнийсодержащего материала, подвешенного в окне рамы с помощью как минимум одной подвижной пластины с возможностью перемещения в плоскости, перпендикулярной плоскости рамы, в результате теплового расширения подвижной пластины под действием электрического нагревателя. Недостатками этого устройства являются ненадежность и низкая скорость срабатывания.

Еще один способ получения пьезоэлектрического реле показан в патенте №RU2391736. Пьезокерамическое реле содержит основание, закрепленный на нем консольно-биморфный пластинчатый пьезоэлемент с контактами цепи управления на неподвижном конце пьезоэлемента и с контактом коммутационной цепи, установленным на свободном конце пьезоэлемента, взаимодействующим при подаче напряжения на контакты цепи управления пьезоэлемента с другим контактом коммутационной цепи. Причем упомянутое реле дополнительно содержит механизм регулировки зазора между упомянутыми электрическими контактами коммутационной цепи, выполненный в виде установленного в корпусе цилиндрического торцевого кулачка, имеющего возможность поворота вокруг оси и подпружиненного рычага, один конец которого закреплен в упомянутом корпусе механизма регулировки зазора, а второй конец рычага находится в кинематической связи с упомянутым торцевым кулачком и содержит электрический контакт коммутационной цепи, взаимодействующий с другим упомянутым электрическим контактом, установленным на подвижном конце пьезоэлемента. Рабочее напряжение данного устройства 18 В с частотой 0-240 Гц. Недостатками вышеупомянутого устройства являются его большие размеры (18×8×4 мм) и сложность сборки устройства.

Наиболее близким техническим решением к предложенному изобретению является патент US 5.093.600, кл. 310/332. В этом изобретении заявляется пьезоэлектрическое реле, содержащее основание (корпус), закрепленный на нем консольный пластинчатый биморфный пьезоэлемент с контактами цепи управления на неподвижном конце и с электрическим контактом коммутационной цепи, установленным на свободном конце пьезоэлемента, взаимодействующим при подаче напряжения на контакты цепи управления пьезоэлемента с другим электрическим контактом коммутационной цепи, установленным в основании реле. Недостатки этого реле состоят в том, что для надежной работы и обеспечения воспроизводимости параметров реле требуется с высокой точностью (единицы микрон) выдержать зазор между контактами коммутационной цепи, что существенно усложняет технологический процесс производства и получение воспроизводимых параметров реле.

Целью изобретения является создание способа изготовления интегрального микромеханического реле с подвижным электродом на основе пьезоэлектрических пленок, которое, при упрощенной технологии изготовления, совместимой с технологией производства интегральных схем, обладало бы высокой стабильностью переключений при продолжительном ресурсе службы.

Поставленная цель достигается тем, что способ изготовления интегрального микромеханического реле с подвижным электродом в виде структуры с пьезоэлектрическим слоем, состоящее из подложки, покрытой диэлектрическим слоем с нижним (неподвижным) электродом, и подвижного электрода, состоящего последовательно из нижнего токопроводящего слоя, диэлектрического слоя с высокими упругими свойствами, среднего токопроводящего слоя, пьезоэлектрического слоя, верхнего токопроводящего слоя, расположенного на поверхности вышеупомянутой подложки, осуществляется на поверхности кремниевых пластин, отличается созданием интегрального микромеханического реле с подвижным электродом в виде структуры с пьезоэлектрическим слоем в едином технологическом цикле при упрощенной технологии изготовления, совместимой с технологией производства интегральных схем, в которой формирование подвижного электрода возможно в виде консоли или в виде балки и включает операции: формирования на поверхности кремниевой подложки пленки Si3N4 методом пиролиза SiH4; напыление слоя TiN и формирование структуры «нижний электрод» методом проекционной фотолитографии и плазмохимического травления слоя TiN; осаждение слоя ФСС (фосфатно-силикатного стекла) методом химического осаждения из газовой фазы и формирование на его основе жертвенного слоя методом жидкостного химического травления; напыление первого слоя TiN; осаждение диэлектрического слоя Si3N4; напыление второго слоя TiN; осаждение пьезоэлектрического слоя ЦТС; напыление третьего слоя TiN; плазмохимическое травление слоев: третьего слоя TiN, слоя ЦТС, второго слоя TiN, слоя Si3N4, первого слоя TiN с формированием подвижного многослойного электрода и вскрытием жертвенного слоя ФСС, жидкостное химическое травление жертвенного слоя ФСС с образованием воздушного зазора между неподвижным и подвижным электродами. Указанным способом возможно создание интегрального микромеханического реле с подвижным электродом в виде балки и в виде консоли. Причем формирование подвижного электрода в виде консоли производится методом дополнительного плазмохимического травления части балки до получения подвижного электрода, закрепленного на одной опоре. Микромеханическое реле с пьезоэлементом, изготовленное по вышеупомянутой технологии, обладает рядом преимуществ: микронные размеры, относительная простота в изготовлении с использованием стандартных операций, использующихся в производстве интегральных микросхем, низкая потребляемая мощность, высокое быстродействие, высокая надежность.

В предлагаемой технологии создание интегрального микромеханического реле с подвижным электродом в виде структуры с пьезоэлектрическим слоем происходит в едином технологическом цикле изготовления интегрального элемента, с формированием на поверхности подложки диэлектрического слоя; токопроводящего слоя, образующего неподвижный электрод; и жертвенного слоя, с последующим нанесением на упомянутые слои последовательно с целью формирования подвижного электрода: нижнего токопроводящего слоя; диэлектрического слоя с высокими упругими свойствами; среднего токопроводящего слоя, слоя сегнетоэлектрика; верхнего токопроводящего слоя; с удалением на финальном этапе жертвенного слоя с боковым подтравом, для образования подвижного электрода, закрепленного с одной стороны (консоль), или с двух сторон (балка). При таком технологическом маршруте уменьшается разброс расстояний между подвижным и неподвижным электродами. Использование пьезоэлектрических слоев и диэлектрических слоев с высоким коэффициентом упругости обеспечивает стабильную работу микромеханического реле, позволяет избежать электростатического «залипания» подвижного электрода с неподвижным.

Литература

1. Вардан В., Виной К., Джозе К. ВЧ МЭМС и их применение. М.: Техносфера, 2004.

2. Technical paper "Microengineering Space Systems" for The First Canadian Workshop on "MEMS Technology for Aerospace Applications". 2001 - P.49.

3. Majumder S., McGruer N.E., Adms G.G., Zavracky P.M., Morrison R.H., Krim J. Study of contacts in an electrostatically actuated microswitch // Sen-sors and Actuators - 2001 - №A93. - P.19-26.

4. Распопов В.Я. Микромеханические приборы. Учебное пособие - Тул. гос. университет. - Тула. 2002.

5. M.A.Michalicek. Introduction to micromechanical systems. URL: http://mems.colorado.edu.

Раскрытие изобретения

Задачей, на решение которой направлено настоящее изобретение, является получение технического результата, заключающегося в получении интегрального микромеханического реле с подвижным электродом в виде структуры с пьезоэлектрическим слоем, упрощении технического процесса его производства и получении воспроизводимых параметров пьезоэлектрического реле. Интегральное микромеханическое реле представляет собой устройство, состоящее из неподвижного и подвижного электрода, который, в свою очередь, состоит из токопроводящих слоев, слоев сегнетоэлектрика, диэлектрических слоев с высокими упругими свойствами, что позволяет использовать для переключения микрореле обратный пьезоэлектрический эффект и избежать «залипания» подвижного электрода после срабатывания реле.

Поставленная задача решается в конструкции микромеханического реле с подвижным электродом в виде структуры с пьезоэлектрическим слоем, включающего подложку, покрытую диэлектрическим слоем, и нижний токопроводящий слой, играющий роль неподвижного электрода, и подвижный электрод, состоящий последовательно из: нижнего токопроводящего слоя; диэлектрического слоя с высокими упругими свойствами; среднего токопроводящего слоя, пьезоэлектрического слоя; верхнего токопроводящего слоя; расположенный на поверхности вышеупомянутой подложки и контактной площадки. Между неподвижным электродом и нижним токопроводящем слоем подвижного электрода имеется зазор, обеспечивающий прерывание тока при отключении реле.

Таким образом, отличительным признаком изобретения является то, что формирование микромеханического реле производится в едином технологическом цикле по микроэлектронной технологии. В процессе формирования на поверхности подложки располагается диэлектрический слой и неподвижный электрод и, на вышеупомянутом диэлектрическом слое, в свою очередь, располагается подвижный электрод, состоящий последовательно из нижнего токопроводящего слоя, диэлектрического слоя с высокими упругими свойствами, среднего токопроводящего слоя, пьезоэлектрического слоя, верхнего токопроводящего слоя. Между неподвижным электродом и подвижным электродом имеется воздушный зазор, образующийся после ЖХТ травления жертвенного слоя, обеспечивающий прерывание тока при отключенном реле. Указанная совокупность отличительных признаков позволяет достичь технического результата, заключающегося в получении интегрального микромеханического реле с подвижным электродом в виде структуры с пьезоэлектрическим слоем, изготовленного по микроэлектронной технологии, а именно, в создании в едином технологическом цикле неподвижного и подвижного электродов методом последовательного осаждения токопроводящих, диэлектрических и пьезоэлектрических слоев на кремниевую подложку с применением методов ЖХТ травления, в том числе ЖХТ травления жертвенного слоя для образования воздушного зазора между неподвижным и подвижным электродами.

Краткое описание чертежей.

Изобретение иллюстрируется следующими чертежами:

Фиг.1 Формирование диэлектрического слоя на подложке.

Фиг.2 Формирование неподвижного электрода на диэлектрическом слое.

Фиг.3 Нанесение жертвенного слоя.

Фиг.4а Формирование многослойного подвижного электрода в виде балки.

Фиг.4б Формирование многослойного подвижного электрода в виде консоли.

Фиг.5а Жидкостное травление жертвенного слоя и формирование реле в виде балки.

Фиг.5б Жидкостное травление жертвенного слоя и формирование реле в виде консоли.

Обозначение слоев: 1 - подложка (Si); 2 - диэлектрический слой (Si3N4); 3 - нижний электрод токоведущий слой (TiN); 4 - первый токоведущий слой подвижного электрода (TiN); 5 - диэлектрический слой с высокими упругими свойствами (Si3N4); 6 - второй токоведущий слой подвижного электрода (TiN); 7- пьезоэлектрический слой (ЦТС); 8 - третий токоведущий слой подвижного электрода (TiN); 9 - жертвенный слой (ФСС).

Пример осуществления изобретения

Разработана технология изготовления интегрального микромеханического реле с подвижным электродом в виде структуры с пьезоэлектрическим слоем на поверхности кремниевых пластин диаметром 100 мм, включая следующие операции для получения микрореле в виде балки: формирование на поверхности кремниевой подложки (1) пленки Si3N4 (2) толщиной 0,25 мкм методом пиролиза SiH4; напыление слоя TiN толщиной 0,15 мкм и формирование структуры «нижний электрод» (3) при проведении проекционной фотолитографии и плазмохимического травления слоя TiN; осаждение слоя ФСС (фосфатно-силикатного стекла) толщиной 0,5 мкм методом химического осаждения из газовой фазы и формирование на его основе жертвенного слоя (9) методом жидкостного химического травления; напыление первого слоя TiN (4) толщиной 0,25 мкм; осаждение диэлектрического слоя с высокими упругими свойствами Si3N4 (5) толщиной 0,7 мкм; напыление второго слоя TiN (6) толщиной 0,25 мкм; осаждение пьезоэлектрического слоя ЦТС (7) толщиной 0,7 мкм; напыление третьего слоя TiN (8) толщиной 0,25 мкм; плазмохимическое травление слоев: третьего слоя TiN, слоя ЦТС, второго слоя TiN, слоя Si3N4, первого слоя TiN с формированием подвижного многослойного электрода и вскрытием жертвенного слоя ФСС, жидкостное химическое травление жертвенного слоя ФСС с образованием воздушного зазора (11) между неподвижным и подвижным электродами; для получения микрореле в виде консоли производится плазмохимическое травление части балки до получения подвижного электрода, закрепленного на одной опоре.

Полученные по описанной технологии интегральные микромеханические реле имеют микронные размеры 20-80 мкм, рабочее напряжение U=10 В при частоте 0-1000 Гц, обеспечивают высокую стабильностью переключений при продолжительном ресурсе службы.


КОНСТРУКЦИЯ И ТЕХНОЛОГИЯ ИЗГОТОВЛЕНИЯ ИНТЕГРАЛЬНОГО МИКРОМЕХАНИЧЕСКОГО РЕЛЕ С ПОДВИЖНЫМ ЭЛЕКТРОДОМ В ВИДЕ СТРУКТУРЫ С ПЬЕЗОЭЛЕКТРИЧЕСКИМ СЛОЕМ
КОНСТРУКЦИЯ И ТЕХНОЛОГИЯ ИЗГОТОВЛЕНИЯ ИНТЕГРАЛЬНОГО МИКРОМЕХАНИЧЕСКОГО РЕЛЕ С ПОДВИЖНЫМ ЭЛЕКТРОДОМ В ВИДЕ СТРУКТУРЫ С ПЬЕЗОЭЛЕКТРИЧЕСКИМ СЛОЕМ
КОНСТРУКЦИЯ И ТЕХНОЛОГИЯ ИЗГОТОВЛЕНИЯ ИНТЕГРАЛЬНОГО МИКРОМЕХАНИЧЕСКОГО РЕЛЕ С ПОДВИЖНЫМ ЭЛЕКТРОДОМ В ВИДЕ СТРУКТУРЫ С ПЬЕЗОЭЛЕКТРИЧЕСКИМ СЛОЕМ
КОНСТРУКЦИЯ И ТЕХНОЛОГИЯ ИЗГОТОВЛЕНИЯ ИНТЕГРАЛЬНОГО МИКРОМЕХАНИЧЕСКОГО РЕЛЕ С ПОДВИЖНЫМ ЭЛЕКТРОДОМ В ВИДЕ СТРУКТУРЫ С ПЬЕЗОЭЛЕКТРИЧЕСКИМ СЛОЕМ
КОНСТРУКЦИЯ И ТЕХНОЛОГИЯ ИЗГОТОВЛЕНИЯ ИНТЕГРАЛЬНОГО МИКРОМЕХАНИЧЕСКОГО РЕЛЕ С ПОДВИЖНЫМ ЭЛЕКТРОДОМ В ВИДЕ СТРУКТУРЫ С ПЬЕЗОЭЛЕКТРИЧЕСКИМ СЛОЕМ
КОНСТРУКЦИЯ И ТЕХНОЛОГИЯ ИЗГОТОВЛЕНИЯ ИНТЕГРАЛЬНОГО МИКРОМЕХАНИЧЕСКОГО РЕЛЕ С ПОДВИЖНЫМ ЭЛЕКТРОДОМ В ВИДЕ СТРУКТУРЫ С ПЬЕЗОЭЛЕКТРИЧЕСКИМ СЛОЕМ
КОНСТРУКЦИЯ И ТЕХНОЛОГИЯ ИЗГОТОВЛЕНИЯ ИНТЕГРАЛЬНОГО МИКРОМЕХАНИЧЕСКОГО РЕЛЕ С ПОДВИЖНЫМ ЭЛЕКТРОДОМ В ВИДЕ СТРУКТУРЫ С ПЬЕЗОЭЛЕКТРИЧЕСКИМ СЛОЕМ
Источник поступления информации: Роспатент

Показаны записи 1-10 из 14.
10.01.2013
№216.012.1a69

Пьезоэлектрический прибор и способ его изготовления

Изобретение относится к пьезоэлектронике. Сущность: прибор состоит из пьезокерамических пластин, включающих участки поляризованной и неполяризованной керамики. Поляризованные участки с нанесенными на них электродами образуют биморф. Неполяризованный участок является элементом консольного...
Тип: Изобретение
Номер охранного документа: 0002472253
Дата охранного документа: 10.01.2013
27.02.2013
№216.012.2c7e

Способ изготовления штампа для наноимпринт литографии

Изобретение относится к микроэлектронике, к способам изготовления штампов для наноимпринт литографии с субмикронными и нанометровыми проектными нормами для использования при изготовлении полупроводниковых устройств. Сущность изобретения: для уменьшения неровности края воспроизводимого...
Тип: Изобретение
Номер охранного документа: 0002476917
Дата охранного документа: 27.02.2013
27.06.2013
№216.012.522f

Способ изготовления усовершенствованной многоуровневой медной металлизации с применением диэлектриков с очень низкой диэлектрической постоянной (ultra low-k)

Изобретение относится к микроэлектронике. Проблемы медной металлизации при уменьшении нормы проектирования: высокая дефектность структуры медных проводников и электромиграция по границе меди с окружающими диэлектриками; быстрое повышение удельного сопротивления при уменьшении ширины...
Тип: Изобретение
Номер охранного документа: 0002486632
Дата охранного документа: 27.06.2013
10.02.2015
№216.013.231b

Способ изготовления монолитных многослойных пьезокерамических элементов-столбиков

Изобретение относится к пьезоэлектронике, к технологии изготовления монолитных многослойных пьезокерамических элементов для электромеханических преобразователей и актюаторов. Сущность изобретения: способ включает операции приготовления шликера на основе порошка пьезокерамического материала и...
Тип: Изобретение
Номер охранного документа: 0002540440
Дата охранного документа: 10.02.2015
20.05.2016
№216.015.40c2

Способ изготовления электромеханического элемента памяти с подвижными электродами

Изобретение относится к микросистемной технике, а именно к способу изготовления энергонезависимых электромеханических элементов памяти с подвижными электродами. Согласно способу наносят на подложку в виде кремниевой монокристаллической пластины изолирующий диэлектрический слой и легированный...
Тип: Изобретение
Номер охранного документа: 0002584267
Дата охранного документа: 20.05.2016
25.08.2017
№217.015.cf16

Антифибролитическое средство

Изобретение относится к области фармакологии и пульмонологии и раскрывает применение сердечного гликозида уабаина в качестве средства, обладающего антифибротическим действием. Изобретение позволяет расширить ассортимент лекарственных средств для лечения идиопатического фиброза легких, снижение...
Тип: Изобретение
Номер охранного документа: 0002621163
Дата охранного документа: 31.05.2017
25.08.2017
№217.015.d076

Антифибролитическое средство

Изобретение относится к фармацевтической промышленности, а именно к средству для снижения TGF-β-индуцированной дифференцировки миофибробластов. Применение дигитоксина для снижения TGF-β-индуцированной дифференцировки миофибробластов. Дигитоксин эффективно снижает TGF-β-индуцированную...
Тип: Изобретение
Номер охранного документа: 0002621299
Дата охранного документа: 01.06.2017
25.08.2017
№217.015.d0a8

Способ получения 1-алкил-2-алкилкарбамоилглицеринов

Изобретение относится к способу получения 1-алкил-2-алкилкарбамоилглицеринов общей формулы I, где R - углеводородный остаток С16-С18, R - метил, этил, которые могут быть использованы для медикаментозной терапии артериальной гипертензии. Способ заключается в том, что подвергают взаимодействию...
Тип: Изобретение
Номер охранного документа: 0002621347
Дата охранного документа: 02.06.2017
11.03.2019
№219.016.d792

Способ изготовления самосовмещенной встроенной медной металлизации интегральных схем

Использование: в технологии получения многоуровневой разводки интегральных схем. Сущность изобретения: в способе изготовления самосовмещенной встроенной медной металлизации интегральных схем на подложку наносят диэлектрическую пленку и формируют в диэлектрической пленке канавки различной формы,...
Тип: Изобретение
Номер охранного документа: 0002230391
Дата охранного документа: 10.06.2004
11.03.2019
№219.016.dc33

Способ изготовления многоуровневой металлизации интегральных микросхем с пористым диэлектрическим слоем в зазорах между проводниками

Изобретение относится к микроэлектронике. Сущность изобретения: способ изготовления многоуровневых межсоединений интегральных микросхем с пористым диэлектрическим слоем в зазорах между проводниками содержит формирование первого проводящего и первого диэлектрического слоев, формирование...
Тип: Изобретение
Номер охранного документа: 0002459313
Дата охранного документа: 20.08.2012
Показаны записи 1-10 из 13.
10.01.2013
№216.012.1a69

Пьезоэлектрический прибор и способ его изготовления

Изобретение относится к пьезоэлектронике. Сущность: прибор состоит из пьезокерамических пластин, включающих участки поляризованной и неполяризованной керамики. Поляризованные участки с нанесенными на них электродами образуют биморф. Неполяризованный участок является элементом консольного...
Тип: Изобретение
Номер охранного документа: 0002472253
Дата охранного документа: 10.01.2013
27.02.2013
№216.012.2c7e

Способ изготовления штампа для наноимпринт литографии

Изобретение относится к микроэлектронике, к способам изготовления штампов для наноимпринт литографии с субмикронными и нанометровыми проектными нормами для использования при изготовлении полупроводниковых устройств. Сущность изобретения: для уменьшения неровности края воспроизводимого...
Тип: Изобретение
Номер охранного документа: 0002476917
Дата охранного документа: 27.02.2013
27.06.2013
№216.012.522f

Способ изготовления усовершенствованной многоуровневой медной металлизации с применением диэлектриков с очень низкой диэлектрической постоянной (ultra low-k)

Изобретение относится к микроэлектронике. Проблемы медной металлизации при уменьшении нормы проектирования: высокая дефектность структуры медных проводников и электромиграция по границе меди с окружающими диэлектриками; быстрое повышение удельного сопротивления при уменьшении ширины...
Тип: Изобретение
Номер охранного документа: 0002486632
Дата охранного документа: 27.06.2013
10.02.2015
№216.013.231b

Способ изготовления монолитных многослойных пьезокерамических элементов-столбиков

Изобретение относится к пьезоэлектронике, к технологии изготовления монолитных многослойных пьезокерамических элементов для электромеханических преобразователей и актюаторов. Сущность изобретения: способ включает операции приготовления шликера на основе порошка пьезокерамического материала и...
Тип: Изобретение
Номер охранного документа: 0002540440
Дата охранного документа: 10.02.2015
20.05.2016
№216.015.40c2

Способ изготовления электромеханического элемента памяти с подвижными электродами

Изобретение относится к микросистемной технике, а именно к способу изготовления энергонезависимых электромеханических элементов памяти с подвижными электродами. Согласно способу наносят на подложку в виде кремниевой монокристаллической пластины изолирующий диэлектрический слой и легированный...
Тип: Изобретение
Номер охранного документа: 0002584267
Дата охранного документа: 20.05.2016
25.08.2017
№217.015.cf16

Антифибролитическое средство

Изобретение относится к области фармакологии и пульмонологии и раскрывает применение сердечного гликозида уабаина в качестве средства, обладающего антифибротическим действием. Изобретение позволяет расширить ассортимент лекарственных средств для лечения идиопатического фиброза легких, снижение...
Тип: Изобретение
Номер охранного документа: 0002621163
Дата охранного документа: 31.05.2017
25.08.2017
№217.015.d076

Антифибролитическое средство

Изобретение относится к фармацевтической промышленности, а именно к средству для снижения TGF-β-индуцированной дифференцировки миофибробластов. Применение дигитоксина для снижения TGF-β-индуцированной дифференцировки миофибробластов. Дигитоксин эффективно снижает TGF-β-индуцированную...
Тип: Изобретение
Номер охранного документа: 0002621299
Дата охранного документа: 01.06.2017
25.08.2017
№217.015.d0a8

Способ получения 1-алкил-2-алкилкарбамоилглицеринов

Изобретение относится к способу получения 1-алкил-2-алкилкарбамоилглицеринов общей формулы I, где R - углеводородный остаток С16-С18, R - метил, этил, которые могут быть использованы для медикаментозной терапии артериальной гипертензии. Способ заключается в том, что подвергают взаимодействию...
Тип: Изобретение
Номер охранного документа: 0002621347
Дата охранного документа: 02.06.2017
29.05.2018
№218.016.5692

Способ повышения плотности тока и деградационной стойкости автоэмиссионных катодов на кремниевых пластинах

Изобретение относится к области электронной техники и может быть использовано при изготовлении изделий светоиндикаторной техники и эмиссионной электроники на основе автоэлектронной эмиссии матрицы многоострийных углеродных эмиттеров на пластинах монокристаллического кремния. Изготовление...
Тип: Изобретение
Номер охранного документа: 0002654522
Дата охранного документа: 21.05.2018
13.10.2018
№218.016.91b8

Радиолокационная станция охраны объектов "сова"

Изобретение относится к области радиолокации, в частности к радиолокационным средствам автоматического обнаружения, распознавания и сопровождения различных типов подвижных объектов. Достигаемый технический результат - обеспечение возможности автоматического обнаружения и сопровождения не только...
Тип: Изобретение
Номер охранного документа: 0002669383
Дата охранного документа: 11.10.2018
+ добавить свой РИД