×
06.12.2019
219.017.ea36

Результат интеллектуальной деятельности: Способ комбинированного упрочнения режущего инструмента

Вид РИД

Изобретение

Аннотация: Изобретение относится к ионно-плазменной технологии и может быть использовано для упрочнения режущего инструмента. Способ комбинированного упрочнения режущего инструмента включает заполнение газовой плазмой рабочей вакуумной камеры с установленным внутри нее режущим инструментом, нагрев и выдержку режущего инструмента в азотной плазме и синтез на его поверхности из плазмы износостойкого покрытия. Сначала режущий инструмент нагревают и затачивают посредством бомбардировки пучком быстрых атомов аргона в аргоновой плазме, затем в рабочую вакуумную камеру подают азот и нагрев и выдержку режущего инструмента проводят в азотной плазме при температуре эффективной термодиффузии азота 500°С, поддерживаемой посредством бомбардировки пучком быстрых молекул азота. Затем в рабочую вакуумную камеру подают смесь аргона и азота и с помощью магнетронного распылительного устройства в плазме титана, азота и аргона синтезируют на поверхности режущего инструмента износостойкое покрытие из нитрида титана при бомбардировке его в процессе синтеза импульсными пучками быстрых атомов аргона и быстрых молекул азота. Обеспечивается расширение эксплуатационных возможностей использования комбинированного упрочнения режущего инструмента для микроинструмента и инструмента для чистовой обработки, увеличение срока службы инструмента за счет его упрочнения и снижение шероховатости обрабатываемой им поверхности изделия за счет его заточки. 1 ил.

Изобретение относится к ионно-плазменной технологии и может быть использовано для упрочнения поверхности изделий машиностроения, в частности, режущего инструмента.

Известен способ химико-термической обработки изделий в тлеющем разряде, включающий зажигание тлеющего разряда между вакуумной камерой (анодом) и размещенным внутри камеры изделием (катодом) в среде химически активного газа (азота, метана и др.), нагрев изделия ионной бомбардировкой и выдержку изделия в активной газовой плазме при рабочей температуре в течение необходимого времени (Бабат-Захряпин А.А., Кузнецов Г.Д. Химико-термическая обработка в тлеющем разряде. М.: Атомиздат, 1975, с. 176).

Недостатком способа является сильная зависимость тока разряда от давления и сорта газа, а также интенсивный нагрев острых кромок изделий ускоренными ионами, приводящий, в частности, к перегреву и отпуску режущих кромок инструмента.

Известен способ обработки изделий, включающий заполнение плазмой вакуумно-дугового разряда рабочей камеры с установленными внутри нее изделиями, и подачу на изделия отрицательного потенциала [Дороднов A.M., Петросов В.А. О физических принципах и типах вакуумных технологических плазменных устройств. - Журнал технической физики, 1981, т. 51, N 3, с. 504-524]. При давлении менее 0,01 Па камера заполнена металлической плазмой, и при отрицательном потенциале изделий относительно камеры до 1 кВ и выше скорость распыления поверхности изделий ионами металла, например, титана превышает скорость конденсации металла, происходит ионная очистка поверхности и нагрев изделий до необходимой температуры. После подачи в камеру активного газа (например, азота) и снижения отрицательного потенциала изделий до 100 В при давлении газа ~ 0,5 Па происходит конденсация с ионной бомбардировкой (КИБ) и синтез на поверхности изделия покрытия (например, из нитрида титана) толщиной 3-5 мкм. Тонкие износостойкие покрытия повышают срок службы изделий в несколько раз. Однако при нагреве до температуры синтеза ~ 450°С массивных изделий, доза ионного облучения значительно превышает дозу, необходимую для очистки поверхности от загрязнений. В результате происходит травление поверхности ионами и снижение класса чистоты ее обработки, перегрев, отпуск и затупление их острых кромок, например, режущих кромок инструмента. Кроме того, тонкое покрытие из нитрида титана с микротвердостью ~ 2500 HV даже на поверхности изделия из быстрорежущей стали с микротвердостью ~ 900 HV подвержено хрупкому разрушению при упругих и пластических деформациях основы под действием сил, возникающих при эксплуатации изделия. Чтобы противостоять хрупкому разрушению, нужно значительно повысить твердость поверхностного слоя изделия с толщиной, на порядок превышающей толщину покрытия.

Недостатками способа являются снижение класса чистоты обработки поверхности изделий в результате травления ионами, перегрев и затупление острых кромок изделий, а также хрупкое разрушение твердого покрытия при повышенных нагрузках.

Наиболее близким по технической сущности к изобретению и выбранным в качестве прототипа является способ комбинированного упрочнения изделий, включающий заполнение газовой плазмой рабочей вакуумной камеры с установленным внутри нее режущим инструментом, нагрев и выдержку режущего инструмента в азотной плазме, и синтез на его поверхности из плазмы износостойкого покрытия из нитрида титана [Григорьев С.Н., Метель А.С., Федоров СВ. Модификация структуры и свойств быстрорежущей стали путем комбинированной вакуумно-плазменной обработки // Металловедение и термическая обработка металлов. 2012. №1 (679). С. 9-14].

В известном способе режущий инструмент, устанавливают в рабочей вакуумной камере и погружают в азотную плазму, получаемую поглощением с помощью специального экрана ионов и атомов титана пропускаемой через экран плазмы вакуумно-дугового разряда с титановым катодом при давлении газа ~ 0,5 Па. На режущий инструмент подают отрицательное напряжение, нагревают его бомбардировкой ускоряемыми из плазмы ионами азота, и выдерживают его в течение 0,5-1 часа при температуре эффективной термодиффузии азота 500°С. После упрочнения поверхности режущего инструмента азотированием убирают

поглощающий экран, а в результате погружают режущий инструмент в плазму титана и азота, и синтезируют на режущем инструменте износостойкие покрытия из нитрида титана. Чтобы повысить качество покрытий, их бомбардируют в процессе синтеза ионами, ускоряемыми из плазмы подаваемым на изделия напряжением ~ 100 В. При азотировании режущего инструмента из быстрорежущей стали упрочняется поверхностный слой толщиной 50-100 мкм, а микротвердость его поверхности повышается от ~ 900 до ~ 1350 HV. Это предотвращает хрупкое разрушение покрытия из нитрида титана толщиной 3-5 мкм с микротвердостью ~ 2500 HV при повышенных нагрузках.

Однако, при азотировании скорость распыления ионами режущих кромок инструмента в 100-1000 раз выше, чем на остальной его поверхности. Радиус режущей кромки в результате распыления заметно повышается. Дополнительно он увеличивается на величину, равную толщине износостойкого покрытия после его осаждения. В результате рассматриваемой комбинированной упрочняющей обработки режущий инструмент, особенно инструмент для чистовой обработки, может оказаться тупым и непригодным для использования.

Недостатком известного способа, в том числе технической проблемой является затупление режущего инструмента после его комбинированного упрочнения.

Задачей предложенного решения является разработка способа комбинированного упрочнения режущего инструмента азотированием и осаждением износостойкого покрытия, приводящего к заточке инструмента.

Технический результат - расширение эксплуатационных возможностей использования способа комбинированного упрочнения режущего инструмента для микроинструмента и инструмента для чистовой обработки, увеличение срока службы инструмента за счет его упрочнения и снижение шероховатости обрабатываемой им поверхности изделия за счет его заточки.

Поставленный технический результат достигается тем, что в способе комбинированного упрочнения режущего инструмента, включающем заполнение газовой плазмой рабочей вакуумной камеры с установленным внутри нее режущим инструментом, нагрев и выдержку режущего инструмента в азотной плазме, и синтез на его поверхности из плазмы износостойкого

покрытия, отличающийся тем, что сначала режущий инструмент нагревают и затачивают посредством бомбардировки пучком быстрых атомов аргона в аргоновой плазме, затем в рабочую вакуумную камеру подают азот и нагрев и выдержку режущего инструмента проводят в азотной плазме при температуре эффективной термодиффузии азота 500°С, поддерживаемой посредством бомбардировки пучком быстрых молекул азота, затем в рабочую вакуумную камеру подают смесь аргона и азота и с помощью магнетронного распылительного устройства в плазме титана, азота и аргона синтезируют на поверхности режущего инструмента износостойкое покрытие из нитрида титана при бомбардировке его в процессе синтеза импульсными пучками быстрых атомов аргона и быстрых молекул азота.

Способ поясняется чертежом.

На Фиг. 1 изображена схема устройства для реализации способа. Оно содержит рабочую вакуумную камеру 1 с установленным внутри нее режущим инструментом 2, мишень 3 магнетронного распылительного устройства и плоскую сетку 4 на боковой стенке рабочей вакуумной камеры 1, анод 5 внутри нее, криволинейную сетку 6, закрепленную на установленном наверху камеры вводе напряжения (на Фиг. 1 не показан), источник питания разряда 7 и пирометр 8. На схеме обозначены также плазма 9, слой объемного заряда 10, быстрые нейтральные атомы 11, ионы 12 и молекулы газа 13.

Способ комбинированного упрочнения режущего инструмента 2 заключается в заполнении газовой плазмой 9 рабочей вакуумной камеры 1 с установленным внутри нее режущим инструментом 2, нагреве и выдержке режущего инструмента 2 в азотной плазме 9, и синтез на его поверхности из плазмы износостойкого покрытия, отличающийся тем, что сначала режущий инструмент 2 нагревают и затачивают посредством бомбардировки пучком быстрых атомов аргона 11 в аргоновой плазме 9, затем в рабочую вакуумную камеру 1 подают азот и нагрев и выдержку режущего инструмента 2 проводят в азотной плазме 9 при температуре эффективной термодиффузии азота 500°С, поддерживаемой посредством бомбардировки пучком быстрых молекул азота 11, затем в рабочую вакуумную камеру 1 подают смесь аргона и азота и с помощью магнетронного распылительного устройства в плазме 9 титана, азота и

аргона синтезируют на поверхности режущего инструмента 2 износостойкое покрытие из нитрида титана при бомбардировке его в процессе синтеза импульсными пучками быстрых атомов аргона 11 и быстрых молекул азота 11.

Способ комбинированного упрочнения режущего инструмента реализуется следующим образом. В рабочей вакуумной камере 1 с анодом 5 внутри нее и мишенью 3 магнетронного распылительного устройства на ее боковой поверхности устанавливают вертикально на изолированном от рабочей вакуумной камеры 1 вращающемся держателе на расстоянии ~ 6 см от мишени 3 упрочняемый инструмент 2, например, развертку из быстрорежущей стали Р6М5. Рабочую вакуумную камеру 1 герметизируют, через плоскую сетку 4 на ее боковой поверхности откачивают воздух до давления 0,001 Па и затем напускают в нее рабочий газ, например, аргон до давления ~ 0,5 Па. Подачей на анод 5 напряжения до 1 кВ от источника питания 7 поджигают тлеющий разряд с током 0,5-5 А и напряжением 300-600 В, а в результате заполняют рабочую вакуумную камеру 1 достаточно однородной аргоновой плазмой 9. Подают высокое напряжение отрицательной полярности на криволинейную сетку 6, закрепленную на установленном на рабочей вакуумной камере 1 вводе напряжения (на Фиг. 1 не показан), а в результате бомбардируют развертку 2 быстрыми атомами аргона 11, образующимися при столкновениях с перезарядкой ускоренных ионов 12 с молекулами газа 13 в слое объемного заряда 10 у поверхности сетки 6. Режущие кромки развертки распыляются пучком с такой же скоростью, как и остальная ее поверхность. Поэтому радиус режущей кромки в течение часа снижается от 7 до 3 мкм. После нагрева и заточки развертки 2 в рабочую вакуумную камеру 1 вместо аргона подают азот и выдерживают развертку 2 в течение часа в азотной плазме 9 при температуре эффективной термодиффузии азота ~ 500°С, поддерживаемой бомбардировкой пучком быстрых молекул азота 11 и контролируемой пирометром 8. В результате микротвердость поверхности повышается от ~ 900 до ~ 1350 HV, а радиус режущей кромки снижается от 3 до 1 мкм. Затем в камеру подают смесь аргона с азотом (15%), а на криволинейную сетку 6 подают импульсы напряжения длительностью 50 мкс с амплитудой 3 кВ, следующие с частотой 50 Гц. Включив магнетронную распылительную систему, создают плазму 9 титана,

аргона и азота и синтезируют на развертке 2 покрытие из нитрида титана толщиной 3 мкм, бомбардируя его во время синтеза импульсными пучками быстрых атомов аргона и быстрых молекул азота. Бомбардировка импульсными пучками не снижает скорость осаждения синтезируемого покрытия в результате распыления быстрыми атомами, а лишь улучшает адгезию и другие свойства покрытия. Благодаря заточке развертки 2 быстрыми атомами аргона и быстрыми молекулами азота радиус ее режущей кромки после упрочнения азотированием и осаждением твердого покрытия из нитрида титана толщиной 3 мкм составляет 4 мкм, что меньше среднего радиуса режущих кромок развертки ~ 7 мкм до ее упрочнения. Таким образом, способ комбинированного упрочнения режущего инструмента путем азотирования и последующего осаждения твердого покрытия при нагреве инструмента пучками быстрых атомов аргона и быстрых молекул азота обеспечивает его заточку.

По сравнению с прототипом предлагаемый способ позволяет упрочнять режущий инструмент без затупления его режущих кромок и даже затачивать инструмент в процессе его упрочнения. Это в свою очередь увеличивает срок его службы и снижает шероховатость обрабатываемой им поверхности изделия.

Изложенное позволяет сделать вывод о том, что поставленная задача - разработка способа комбинированного упрочнения режущего инструмента азотированием и осаждением износостойкого покрытия, приводящего к заточке инструмента - решена, а технический результат - расширение возможностей использования комбинированного упрочнения режущего инструмента для микроинструмента и инструмента для чистовой обработки, увеличение срока службы инструмента за счет его упрочнения и снижение шероховатости обрабатываемой им поверхности изделия за счет его заточки - достигнут.

Анализ заявленного технического решения на соответствие условиям патентоспособности показал, что указанные в формуле признаки являются существенными и взаимосвязаны между собой с образованием устойчивой совокупности неизвестной на дату приоритета из уровня техники необходимых признаков, достаточной для получения требуемого синергетического (сверхсуммарного) технического результата.

Таким образом, вышеизложенные сведения свидетельствуют о выполнении при использовании заявленного технического решения следующей совокупности условий:

- способ, воплощающий заявленное техническое решение, при его осуществлении предназначен для упрочнения и заточки режущего инструмента;

- для заявленного способа в том виде, как он охарактеризован в нижеизложенной формуле, подтверждена возможность его осуществления с помощью вышеописанных в заявке или известных из уровня техники на дату приоритета средств и методов;

- способ, воплощающий заявленное техническое решение, при его осуществлении способен обеспечить достижение усматриваемого заявителем технического результата.

Следовательно, заявленный способ соответствует требованиям условий патентоспособности «новизна», «изобретательский уровень» и «промышленная применимость» по действующему законодательству.

Способ комбинированного упрочнения режущего инструмента, включающий заполнение газовой плазмой рабочей вакуумной камеры с установленным внутри нее режущим инструментом, нагрев и выдержку режущего инструмента в азотной плазме и синтез на его поверхности из плазмы износостойкого покрытия, отличающийся тем, что сначала режущий инструмент нагревают и затачивают посредством бомбардировки пучком быстрых атомов аргона в аргоновой плазме, затем в рабочую вакуумную камеру подают азот и нагрев и выдержку режущего инструмента проводят в азотной плазме при температуре эффективной термодиффузии азота 500°С, поддерживаемой посредством бомбардировки пучком быстрых молекул азота, затем в рабочую вакуумную камеру подают смесь аргона и азота и с помощью магнетронного распылительного устройства в плазме титана, азота и аргона синтезируют на поверхности режущего инструмента износостойкое покрытие из нитрида титана при бомбардировке его в процессе синтеза импульсными пучками быстрых атомов аргона и быстрых молекул азота.
Способ комбинированного упрочнения режущего инструмента
Способ комбинированного упрочнения режущего инструмента
Источник поступления информации: Роспатент

Showing 61-70 of 96 items.
16.01.2020
№220.017.f578

Устройство для получения изделий из высокотемпературных полимеров методом селективного лазерного спекания

Изобретение относится к получению изделий из порошка высокотемпературных полимеров методом селективного лазерного спекания. Устройство содержит лазерно-оптический узел, отделенную от него ZnSe-стеклом внутреннюю герметичную камеру с установленными в ней пирометром и системой нагрева нанесенного...
Тип: Изобретение
Номер охранного документа: 0002710823
Дата охранного документа: 14.01.2020
16.01.2020
№220.017.f5ff

Устройство для получения изделий из высокотемпературных полимеров методом селективного лазерного спекания

Изобретение относится к получению изделий из порошка высокотемпературных полимеров методом селективного лазерного спекания. Устройство содержит лазерно-оптический узел, отделенную от него ZnSe-стеклом внутреннюю герметичную камеру с пирометром и системой нагрева порошка, рабочий стол,...
Тип: Изобретение
Номер охранного документа: 0002710822
Дата охранного документа: 14.01.2020
27.01.2020
№220.017.fab9

Способ повышения износостойкости режущих пластин из оксидно-карбидной керамики при фрезеровании

Изобретение относится к области машиностроения, в частности к обработке металлов резанием, и может быть использовано при изготовлении режущего инструмента из оксидно-карбидной керамики. Способ включает выполняемую после операции шлифования импульсную лазерную модификацию контактных участков...
Тип: Изобретение
Номер охранного документа: 0002712154
Дата охранного документа: 24.01.2020
31.01.2020
№220.017.fb5a

Способ определения предельно допустимого износа режущей пластины из недиэлектрического материала по главной задней поверхности.

Изобретение относится к области обработки резанием деталей из недиэлектрических материалов и может быть использовано для диагностирования состояния режущего инструмента, оснащенного сменными режущими пластинами из недиэлектрического материала по главной задней поверхности. Способ включает в...
Тип: Изобретение
Номер охранного документа: 0002712328
Дата охранного документа: 28.01.2020
17.02.2020
№220.018.038d

Способ достижения соосности двух конических внутренних поверхностей ступицы

Изобретение относится к области машиностроения, в частности к способу достижения соосности отверстий. Способ достижения соосности двух конических внутренних поверхностей ступицы включает расточку первой конической поверхности (2) и цилиндрического участка (19) без перестановки ступицы (1)....
Тип: Изобретение
Номер охранного документа: 0002714408
Дата охранного документа: 14.02.2020
29.02.2020
№220.018.0778

Приспособление для устранения отклонений от круглости заготовок труб и трубной арматуры

Изобретение относится к области обработки трубных заготовок и может быть использовано для устранения отклонения торцов заготовок от круглости. Приспособление выполнено в виде центратора с возможностью размещения внутри трубной заготовки и силового воздействия на ее стенки. При этом центратор...
Тип: Изобретение
Номер охранного документа: 0002715399
Дата охранного документа: 27.02.2020
09.03.2020
№220.018.0a9e

Источник быстрых нейтральных молекул

Изобретение относится к вакуумно-плазменной технике, а именно к источникам быстрых нейтральных молекул, преимущественно к источникам потоков большого поперечного сечения быстрых нейтральных молекул для травления и нагрева изделий в рабочей вакуумной камере, в частности, перед нанесением на них...
Тип: Изобретение
Номер охранного документа: 0002716133
Дата охранного документа: 06.03.2020
24.06.2020
№220.018.29ab

Способ формообразования тонкополотной поковки

Изобретение относится к обработке металлов давлением и может быть использовано при изготовлении изделий из алюминиевого сплава с элементом в виде тонкого полотна в форме прямоугольной трапеции, имеющего переменную толщину. Нагретую цилиндрическую заготовку устанавливают в нагретый штамп,...
Тип: Изобретение
Номер охранного документа: 0002724235
Дата охранного документа: 22.06.2020
24.06.2020
№220.018.2a03

Штамп для канального углового прессования

Изобретение относится к области обработки металлов давлением и может быть использовано для формирования в металле заготовки субмикрокристаллической структуры. Штамп для прессования заготовки содержит бандаж, пуансон и матрицу по меньшей мере с тремя пересекающимися приемным, промежуточным и...
Тип: Изобретение
Номер охранного документа: 0002724231
Дата охранного документа: 22.06.2020
24.06.2020
№220.018.2a2d

Способ регулировки вылета расточного инструмента

Способ включает установку в револьверной головке станка державки, установку в отверстии державки хвостовика расточного инструмента с регулировочным резьбовым соединением с приводом, регулировку вылета, которую осуществляют до заданной величины от торца револьверной головки станка за счет...
Тип: Изобретение
Номер охранного документа: 0002724234
Дата охранного документа: 22.06.2020
Showing 61-70 of 76 items.
15.10.2019
№219.017.d5e7

Устройство для синтеза покрытий

Изобретение относится к машиностроению, в частности к устройствам для синтеза покрытий на изделиях в рабочей вакуумной камере. Устройство для синтеза покрытий содержит рабочую вакуумную камеру, установленное внутри последней с образованием зоны вращения изделий устройство планетарного вращения...
Тип: Изобретение
Номер охранного документа: 0002702752
Дата охранного документа: 11.10.2019
14.11.2019
№219.017.e1bd

Способ формирования на титановых сплавах приповерхностного упрочненного слоя

Изобретение относится к области машиностроении, в частности к получению износо-, ударо-, тепло-, трещино- и коррозионностойких покрытий, а также к химико-термической обработке поверхности, и может быть использовано для повышения надежности и долговечности широкого ассортимента деталей машин из...
Тип: Изобретение
Номер охранного документа: 0002705817
Дата охранного документа: 12.11.2019
08.12.2019
№219.017.ead3

Способ изготовления изделия из сплава х65нвфт

Изобретение относится к области машиностроения и может быть использовано в металлообрабатывающей промышленности. Для обеспечения заданных механических свойств осуществляют гомогенизирующий отжиг отливки при температуре 1210±10°С для выравнивания химического состава по объему слитка (устранению...
Тип: Изобретение
Номер охранного документа: 0002708194
Дата охранного документа: 04.12.2019
27.01.2020
№220.017.fab9

Способ повышения износостойкости режущих пластин из оксидно-карбидной керамики при фрезеровании

Изобретение относится к области машиностроения, в частности к обработке металлов резанием, и может быть использовано при изготовлении режущего инструмента из оксидно-карбидной керамики. Способ включает выполняемую после операции шлифования импульсную лазерную модификацию контактных участков...
Тип: Изобретение
Номер охранного документа: 0002712154
Дата охранного документа: 24.01.2020
31.01.2020
№220.017.fb5a

Способ определения предельно допустимого износа режущей пластины из недиэлектрического материала по главной задней поверхности.

Изобретение относится к области обработки резанием деталей из недиэлектрических материалов и может быть использовано для диагностирования состояния режущего инструмента, оснащенного сменными режущими пластинами из недиэлектрического материала по главной задней поверхности. Способ включает в...
Тип: Изобретение
Номер охранного документа: 0002712328
Дата охранного документа: 28.01.2020
09.03.2020
№220.018.0a9e

Источник быстрых нейтральных молекул

Изобретение относится к вакуумно-плазменной технике, а именно к источникам быстрых нейтральных молекул, преимущественно к источникам потоков большого поперечного сечения быстрых нейтральных молекул для травления и нагрева изделий в рабочей вакуумной камере, в частности, перед нанесением на них...
Тип: Изобретение
Номер охранного документа: 0002716133
Дата охранного документа: 06.03.2020
04.07.2020
№220.018.2e79

Цельная концевая керамическая фреза

Изобретение относится к области обработки металлов фрезерованием и предназначено для формообразования плоских участков, пазов и уступов на деталях из труднообрабатываемых материалов, в том числе из жаропрочных сталей на станках с ЧПУ. Цельная концевая керамическая фреза с тороидальным режущим...
Тип: Изобретение
Номер охранного документа: 0002725533
Дата охранного документа: 02.07.2020
11.07.2020
№220.018.31e6

Устройство для обработки изделий быстрыми атомами

Изобретение относится к машиностроению, в частности к устройствам для обработки поверхности изделий быстрыми атомами с целью получения изделий с повышенными механическими и электрофизическими характеристиками поверхности за счет имплантации в нее легирующих элементов и формирования в ней...
Тип: Изобретение
Номер охранного документа: 0002726187
Дата охранного документа: 09.07.2020
12.07.2020
№220.018.3213

Магнетронное распылительное устройство

Изобретение относится к ионно-плазменной технологии и может быть использовано для осаждения покрытий на изделия в вакууме. Магнетронное распылительное устройство содержит плоскую круглую мишень, являющуюся катодом тлеющего разряда, магнитную систему, один из полюсов которой прилегает к центру...
Тип: Изобретение
Номер охранного документа: 0002726223
Дата охранного документа: 10.07.2020
12.04.2023
№223.018.46e6

Устройство для обработки диэлектрических изделий быстрыми атомами

Изобретение относится к области обработки диэлектрических изделий ускоренными ионами или быстрыми атомами и предназначено для травления канавок с высоким аспектным отношением и получения изделий с повышенными механическими и электрофизическими характеристиками поверхности за счет имплантации в...
Тип: Изобретение
Номер охранного документа: 0002752877
Дата охранного документа: 11.08.2021
+ добавить свой РИД