×
10.04.2019
219.017.02da

ДОЗАТОР ГОМОГЕННОЙ ПАРОГАЗОВОЙ СМЕСИ

Вид РИД

Изобретение

Юридическая информация Свернуть Развернуть
№ охранного документа
0002314499
Дата охранного документа
10.01.2008
Краткое описание РИД Свернуть Развернуть
Аннотация: Изобретение относится к средствам для образования паровой и парогазовой смеси, используемой при высокотемпературной обработке изделий в производстве полупроводниковых приборов и интегральных схем. Изобретение направлено на повышение надежности и качества дозатора, что обеспечивается за счет того, что дозатор гомогенной парогазовой смеси содержит резервуар с реагентом, нагреватель, размещенный во внутренней трубке, камеру испарения с патрубками, образованную двумя расположенными одна в другой трубками, образующими щелевой переменного сечения капиллярный зазор, а на внешней поверхности внутренней трубки нанесены по всей ее длине капиллярные каналы с острошероховатой внутренней поверхностью. При этом согласно изобретению трубки, образующие камеру испарения, коаксиально расположены одна в другой и образуют щелевой переменного сечения капиллярный зазор вдоль трубок за счет неровности поверхностей соприкасающихся между собой стенок трубок, а в капиллярном зазоре, по всей длине внешней поверхности внутренней трубки, нанесены капиллярные каналы с острошероховатой внутренней поверхностью, произвольной длины и направления, образующие капиллярный лабиринт. 1 ил.
Реферат Свернуть Развернуть

Изобретение относится к средствам для образования паровой или парогазовой смеси, используемой при высокотемпературной обработке изделий в производстве полупроводниковых приборов и интегральных схем.

Известен "Дозатор гомогенной парогазовой смеси" (АС 473903 "Дозатор гомогенной парогазовой смеси", авторы И.П.Канорушкин, Ю.И.Прохоров и А.А.Осипов, М. кл. G01f 11/28, опубл. 14.06.1975 г.), содержащий резервуар с реагентом, нагреватель, размещенный во внутренней трубке, камеру испарения с патрубками, образованную двумя эксцентрично расположенными одна в другой трубками, образующими щелевой переменного сечения капиллярный зазор вдоль трубок. Такая конструкция позволяет образовывать однородный состав парогазовой смеси при проведении процессов любой длительности по времени.

Недостатком этого дозатора является низкая надежность в работе, т.к. стенки трубок в капиллярном зазоре не имеют достаточного количества активных центров парообразования и кипение носит "взрывной" характер, что приводит к поломке внутренней трубки.

Наиболее близким к предлагаемому техническому решению является "Дозатор гомогенной парогазовой смеси" (заявка №2001132917/28, приоритет от 06.12.2001, "Дозатор гомогенной парогазовой смеси", авторы Скоробогатов М.А., Долгов А.Н., Гурский Ю.Н., MHK 7 G01F 11/28, публикация РЖ "Изобретения", №27, 2003 г.), содержащий резервуар с реагентом, нагреватель, размещенный во внутренней трубке, камеру испарения с патрубками, образованную двумя эксцентрично расположенными одна в другой трубками, образующими щелевой переменного сечения капиллярный зазор вдоль трубок, причем в капиллярном зазоре, в нижней части поверхности внутренней трубки, нанесены по всей ее длине капиллярные каналы с острошероховатой внутренней поверхностью.

Такая конструкция устранила "взрывной" характер кипения, где за счет равномерного "пузырчатого" кипения на острошероховатой поверхности капиллярных каналов исключена поломка дозатора и за счет этого повысилась его надежность в работе при проведении процессов любой длительности по времени.

Недостатком этого дозатора является длительный переходной процесс в получении необходимого объема испаряемого реагента, подаваемого в рабочую зону, зависящий от инерционности заполнения реагентом объема щелевого переменного сечения капиллярного зазора по всей длине вдоль трубок, что влияет на воспроизводимость электрофизических параметров обрабатываемых изделий при краткосрочных во времени высокотемпературных процессах.

Задачей, на решение которой направлено данное изобретение, является достижение технического результата, заключающегося в значительном уменьшении времени получения необходимого объема пара, подаваемого в рабочую зону, за счет исключения переходного процесса в предлагаемой конструкции.

Поставленная задача решается в дозаторе гомогенной парогазовой смеси, содержащем резервуар с реагентом, нагреватель, размещенный во внутренней трубке, камеру испарения с патрубками, образованную двумя расположенными одна в другой трубками, образующими щелевой переменного сечения капиллярный зазор вдоль нижней части трубок, где в капиллярном зазоре, в нижней части внешней поверхности внутренней трубки нанесены по всей ее длине капиллярные каналы с острошероховатой внутренней поверхностью, причем камера испарения образована двумя кооксиально расположенными одна в другой трубками, образующими щелевой переменного сечения капиллярный зазор вдоль трубок, за счет неровности поверхностей соприкасающихся между собой стенок трубок, а в капиллярном зазоре по всей длине внешней поверхности внутренней трубки нанесены капиллярные каналы с острошероховатой внутренней поверхностью, произвольной длины и направления, образующие капиллярный лабиринт.

Таким образом, отличительным признаком изобретения является то, что камера испарения образована двумя кооксиально расположенными одна в другой трубками, образующими щелевой переменного сечения капиллярный зазор вдоль трубок, за счет неровности поверхностей соприкасающихся между собой стенок трубок, а в капиллярном зазоре по всей длине внешней поверхности внутренней трубки нанесены капиллярные каналы с острошероховатой внутренней поверхностью произвольной длины и направления, образующие капиллярный лабиринт.

Указанные признаки позволяют достичь технического результата, заключающегося в значительном уменьшении времени получения необходимого объема пара, подаваемого в рабочую зону при его включении и выключении, за счет исключения переходного процесса, так как в предлагаемой конструкции нет застойных объемов с реагентом.

На чертеже изображен предложенный дозатор, который состоит из резервуара с реагентом 1, нагревателя 2, размещенного во внутренней трубке 3, камеры испарения 4 с патрубками 6.

Камера испарения 4 образована внутренней поверхностью внешней трубки 5 и внешней поверхностью внутренней трубки 3, кооксиально расположенными одна в другой, образующими вдоль стенок трубок щелевой капиллярный зазор переменного сечения, за счет неровности поверхностей соприкосновения между собой обеих трубок. По всей длине внешней поверхности внутренней трубки 3, для создания активных центров парообразования и усиления эффекта капиллярных сил при заполнении камеры испарения реагентом, нанесены капиллярные каналы 7 с острошероховатой внутренней поверхностью произвольной длины и направления, образующие капиллярный лабиринт.

Дозатор работает следующим образом.

Реагент из резервуара поступает в капиллярный зазор камеры испарения, где сразу за счет капиллярных сил растекается тонким слоем в капиллярном зазоре между внутренней и внешней трубками, одновременно встречая на своем пути горячую острошероховатую внутреннюю поверхность капиллярных каналов, быстро их заполняет и испаряется на большом количестве активных центров парообразования.

Образовавшийся пар, в пространстве, между закрытым концом дозатора со стороны патрубков и реагентом, поступающим из патрубка в капиллярный зазор камеры испарения, оттесняет порции поступающего реагента, разной формы и объема в капиллярный лабиринт вдоль трубок.

В капиллярном лабиринте, за счет нарастающего объема пара, порции реагента, перемещаясь, перемешиваются, прогреваются и распадаются на более мелкие части и испаряются на большом количестве активных центров парообразования, образуя необходимый объем пара, прогретого до высокой температуры.

При этом обеспечивается равномерное "пузырчатое" кипение с температурой кипения выше, чем в открытом объеме.

Предложенный дозатор можно использовать как эффективный смеситель газов и реагентов в различных областях науки и техники.

Дозаторгомогеннойпарогазовойсмеси,содержащийрезервуарсреагентом,нагреватель,размещенныйвовнутреннейтрубке,камеруиспаренияспатрубками,образованнуюдвумярасположеннымиоднавдругойтрубками,образующимищелевойпеременногосечениякапиллярныйзазор,анавнешнейповерхностивнутреннейтрубкинанесеныповсейеедлинекапиллярныеканалысострошероховатойвнутреннейповерхностью,отличающийсятем,чтотрубки,образующиекамеруиспарения,коаксиальнорасположеныоднавдругойиобразуютщелевойпеременногосечениякапиллярныйзазорвдольтрубокзасчетнеровностиповерхностейсоприкасающихсямеждусобойстеноктрубок,авкапиллярномзазоре,повсейдлиневнешнейповерхностивнутреннейтрубки,нанесеныкапиллярныеканалысострошероховатойвнутреннейповерхностью,произвольнойдлиныинаправления,образующиекапиллярныйлабиринт.
Источник поступления информации: Роспатент

Showing 1-2 of 2 items.
11.03.2019
№219.016.d68b

Лодочка для удержания кремниевых пластин при изготовлении полупроводниковых приборов

Лодочка для удержания кремниевых пластин при изготовлении полупроводниковых приборов относится к устройствам, предназначенным для удержания кремниевых пластин во время термообработки. Лодочка состоит из четырех параллельных кварцевых стержней с нарезанными в них пазами, соединенных между собой...
Тип: Изобретение
Номер охранного документа: 0002280916
Дата охранного документа: 27.07.2006
19.04.2019
№219.017.2d26

Способ фотолитического селективного травления двуокиси кремния

Использование: в микроэлектронике, а именно в способах фотолитического травления поверхности пластин в процессе изготовления сверхбольших интегральных схем. Сущность изобретения: способ фотолитического травления двуокиси кремния включает травление поверхности SiO в гексафториде серы при...
Тип: Изобретение
Номер охранного документа: 0002257641
Дата охранного документа: 27.07.2005
Showing 1-2 of 2 items.
11.03.2019
№219.016.d68b

Лодочка для удержания кремниевых пластин при изготовлении полупроводниковых приборов

Лодочка для удержания кремниевых пластин при изготовлении полупроводниковых приборов относится к устройствам, предназначенным для удержания кремниевых пластин во время термообработки. Лодочка состоит из четырех параллельных кварцевых стержней с нарезанными в них пазами, соединенных между собой...
Тип: Изобретение
Номер охранного документа: 0002280916
Дата охранного документа: 27.07.2006
19.04.2019
№219.017.2b9f

Структура биполярного транзистора с эмиттером субмикронных размеров и способ ее изготовления

Использование: в микроэлектронике. Сущность изобретения: структура биполярного транзистора с эмиттером субмикронных размеров содержит кремниевую подложку первого типа проводимости со скрытым слоем второго типа проводимости, размещенный на подложке эпитаксиальный слой второго типа проводимости,...
Тип: Изобретение
Номер охранного документа: 0002279733
Дата охранного документа: 10.07.2006
+ добавить свой РИД