Правообладатель РИД: Галигерова Алина Сергеевна

Изобретение относится к машиностроению и может быть использовано в туннельной и электронной микроскопии, прецизионной литографии, микрохирургии и биологических исследованиях. Манипулятор для субмикронных перемещений содержит установленное на основании 1 выходное звено в виде передвижной...