Правообладатель РИД: Умрихин Николай Михайлович

Изобретение относится к средствам получения мягкого рентгеновского излучения. В изобретении предусмотрена импульсная подача рабочего газа, представляющего собой неон; формирование потоков плазмы рабочего газа путем ионизации потоков рабочего газа; ускорение потоков плазмы рабочего газа;...