Правообладатель РИД: Константинов Виктор Олегович

Изобретение относится к области получения наноразмерных композитных структур на основе кремния и может быть использовано в опто- и наноэлектронике. Способ формирования нанокластеров германия в плёнке GeO[SiO] с использованием электронно-пучкового отжига включает предварительное получение тонкой...

Изобретение относится к области получения наноразмерных композитных структур на основе кремния и может быть использовано в опто- и наноэлектронике. Способа формирования нанокластеров германия в плёнке GeO[SiO] с использованием электронно-пучкового отжига включает предварительное получение...

Изобретение относится к способу ввода пучка электронов в среду с повышенным давлением, при котором подачу газа осуществляют через систему напуска в сопловой блок, состоящий из двух кольцевых сопел (внутреннего и внешнего, по оси внутреннего кольцевого сопла имеется отверстие для прохождения...