Правообладатель РИД: Федеральное государственное бюджетное образовательное учреждение высшего образования "Алтайский государственный университет"

Изобретение относится к области физики наноразмерных структур, а именно способу получения тонких металлических пленок, в частности, системы Ni-Al. На стеклянную подложку в вакууме при остаточном давлении не ниже 10 Торр наносят не менее шести металлических слоев толщиной 30-60 нм в...