Правообладатель РИД: Козин Сергей Алексеевич

Изобретение относится к измерительной технике и может быть использовано при изготовлении чувствительных элементов датчиков давлений. Изобретение направлено на повышение технологичности способа, повышение выхода годных кристаллов, повышение метрологических характеристик кристаллов. Сущность...

Тонкопленочный датчик давления предназначен для работы в условиях воздействия повышенных виброускорений. Датчик содержит цилиндрический корпус (1), упругий элемент (2) в виде выполненной за одно целое с цилиндрическим опорным основанием (3) жесткозащемленной мембраны (4). На мембране (4)...

Изобретение относится к приборостроению и может применяться при изготовлении кремниевых микромеханических датчиков, таких как датчики давления и акселерометры. Сущность изобретения: в способе изготовления глубокопрофилированных кремниевых структур на кремниевой пластине создают защитный слой,...