Правообладатель РИД: Общество с Ограниченной Ответственностью "Мембраны-НЦ"

Изобретение относится к способу нанесения палладиевого покрытия на подложку и может быть использовано при изготовлении водородопроницаемых палладийсодержащих мембран. Подложку помещают в реактор, который откачивают до 1·10 Па. Подложку нагревают до необходимой температуры и доставляют пары...