Правообладатель РИД: Открытое акционерное общество "Научно-производственное предприятие "Пульсар" (ОАО "НПП "Пульсар")

Изобретение относится к электронной полупроводниковой технике и направлено на создание базового процесса изготовления мощных кремниевых СВЧ LDMOS структур и транзисторов на более доступном и менее дорогостоящем технологическом оборудовании, способных работать в диапазоне частот до 3,0-3,6 ГГц...