Правообладатель РИД: Федеральное государственное бюджетное образовательное учреждение высшего професионального образования "Национальный исследовательский Томский политехнический университет"

Изобретение относится к области измерительной техники и интегральной электроники, а именно к интегральным измерительным элементам величины угловой скорости. Гироскоп содержит диэлектрическую подложку и две инерционные массы, которые связаны с внутренней рамой через упругие балки. Внутренняя...