Правообладатель РИД: Тимошенков Сергей Петрович

Изобретение относится к инерциальным приборам и может быть использовано в системах управления подвижных объектов различного назначения, а также индикаторах движения объектов. Микромеханический гироскоп содержит внутреннюю и наружную рамки и две пары взаимно перпендикулярных крестообразных...

Изобретение относится к измерительной технике и может быть использовано для измерения нелинейности выходной характеристики акселерометров. Способ заключается в установке эталонного акселерометра на вибростенде вместе с тестируемым и измерении разности выходных сигналов акселерометров, которая...

Изобретение относится к измерительной технике и может применяться в микромеханических датчиках линейных ускорений. Устройство содержит основание, инерционную массу, упругие элементы. Сформированы две группы раздельных электрически неподвижных емкостных гребенчатых преобразователей. Гребенки...

Предложенное изобретение относится к вакуумной технике и представляет собой газопоглощающий материал в виде нанокомпозитной газопоглощающей структуры для поддержания вакуума в различных приборах, в том числе и в микроэлектромеханических системах. Нанокомпозитная газопоглощающая структура...

Изобретение относится к области электронной техники и может быть использовано при изготовлении изделий светоиндикаторной техники и эмиссионной электроники на основе автоэлектронной эмиссии матрицы многоострийных углеродных эмиттеров на пластинах монокристаллического кремния. Изготовление...

Изобретение относится к полупроводниковой технике, а именно к области изготовления гетероэпитаксиальных слоев монокристаллического кремния различного типа проводимости и высокоомных слоев в производстве СВЧ-приборов, фото- и тензочувствительных элементов, различных интегральных схем с...

Настоящее изобретение относится к приборостроению, а именно к технологии производства пластичных электронных устройств и межсоединений, которые обладают способностью компенсировать большие деформации (растяжение и сжатие), сохраняя при этом функциональное состояние, и способу получения таких...

Изобретение относится к способу получения тонких пленок, в частности к получению аморфных пленок халькогенидных стеклообразных полупроводников с эффектом фазовой памяти, и может быть использовано в качестве рабочего слоя в приборах записи информации. Осуществляют нанесение слоя халькогенидного...

Изобретение относится к области измерительной техники, а именно к устройствам для построения электронной системы преобразователя линейных ускорений. Электронная система компенсационного акселерометра содержит дифференциальный емкостный преобразователь, двухфазный генератор переменного тока,...

Изобретение относится к области формирования эпитаксиальных слоев кремния на изоляторе. Способ предназначен для изготовления эпитаксиальных слоев монокристаллического кремния n- и p-типа проводимости на диэлектрических подложках из материала с параметрами кристаллической решетки, близкими к...