×
29.06.2019
219.017.9c3f

Результат интеллектуальной деятельности: СПОСОБ ОПРЕДЕЛЕНИЯ НЕЛИНЕЙНОСТИ ВЫХОДНОЙ ХАРАКТЕРИСТИКИ АКСЕЛЕРОМЕТРА

Вид РИД

Изобретение

Аннотация: Изобретение относится к измерительной технике и может быть использовано для измерения нелинейности выходной характеристики акселерометров. Способ заключается в установке эталонного акселерометра на вибростенде вместе с тестируемым и измерении разности выходных сигналов акселерометров, которая минимизируется при помощи регулирования амплитуды сигнала тестируемого акселерометра, фильтруется. Нелинейность выходной характеристики тестируемого акселерометра определяется отношением среднеквадратичного значения напряжения фильтрованного сигнала к среднеквадратичному значению напряжения сигнала эталонного акселерометра. Изобретение позволяет расширить диапазон измерения нелинейности на вибростенде. 1 ил.

Изобретение относится к измерительной технике и может быть использовано для измерения нелинейности выходной характеристики акселерометров.

Известен способ [1], который применяется для измерения нелинейности характеристик акселерометров в поле силы тяжести, что ограничивает возможности измерения диапазоном ±1g, предназначений для измерения нелинейности выходной характеристики компенсационных акселерометров (нелинейности акселерометров), и не может быть применен для ее измерения у акселерометров прямого преобразования.

Наиболее близким по технической сущности является известный способ [2], который также применяется для измерения нелинейности характеристик акселерометров в поле силы тяжести, что ограничивает возможности измерения диапазоном ±1g. При этом использование центирфуги во много раз повышает стоимость измерения и вносит погрешности при измерениях акселерометров прямого преобразования, связанные со смещением центра масс чувствительного элемента акселерометра при воздействии на него центростремительного ускорения.

Измерение нелинейности связано с измерением коэффициентов гармоник сигнала, поэтому применение вибростендов для калибровки акселерометров не позволяет измерять малые (<1%) нелинейности, поскольку в вибростенде преобразование тока в ускорение вносит свою нелинейность.

Задача предлагаемого способа - расширение диапазона измерения нелинейности на вибростенде.

Данная задача решается тем, что на вибростенде вместе с тестируемым устанавливается эталонный акселерометр с низкой нелинейностью выходной характеристики. Разность выходных сигналов акселерометров, минимизированная при помощи регулирования амплитуды сигнала тестируемого акселерометра фильтруется, при этом нелинейность выходной характеристики тестируемого акселерометра определяется отношением среднеквадратичного значения напряжения фильтрованного сигнала к среднеквадратичному значению напряжения сигнала эталонного акселерометра.

Изобретение иллюстрируется чертежом

На чертеже приведена блок-схема устройства, предназначенного для реализации предложенного способа, где

1 - генератор гармонических сигналов;

2 - вибростенд;

3 - эталонный акселерометр;

4 - тестируемый акселерометр;

5, 7 - входы разностного устройства;

6 - разностное устройство;

8, 11 - среднеквадратичный вольтметр;

9 - выход разностного устройства;

10 - фильтр низкой частоты.

Устройство для реализации предлагаемого способа, структурная схема которого представлена на чертеже, включает в себя генератор гармонического сигнала 1, выход которого подключен ко входу вибростенда 2. На вибростенде 2 механически закрепляются эталонный акселерометр 3 и тестируемый акселерометр 4. Выходной сигнал с тестируемого акселерометра 4 подается на вход 5 разностного устройства 6. Выходной сигнал с эталонного акселерометра 3 подается на вход 7 разностного устройства 6 и на вход среднеквадратичного вольтметра 8. Сигнал с выхода 9 разностного устройства 6 фильтруется фильтром низких частот 10 и поступает на вход среднеквадратичного вольтметра 11.

Предлагаемый способ измерения нелинейности акселерометров реализуется за счет использования вибростенда и эталонного акселерометра, закрепленного на вибростенде вместе с тестируемым. Выходная характеристика акселерометра - это зависимость выходного напряжения от приложенного к оси чувствительности акселерометра ускорения. В предлагаемом способе прилагаемое ускорение задается при помощи вибростенда и регулируется частотой и(или) амплитудой тока генератора синусоидального сигнала. Поскольку преобразование выходного тока генератора в ускорение вибростенда носит нелинейный характер, то присутствие неосновных гармоник в спектре выходного сигнала тестируемого акселерометра нельзя считать следствием его нелинейности, а следует считать следствием суммирования нелинейностей вибростенда и тестируемого акселерометра. Для того чтобы измерить нелинейность, вносимую вибростендом, используется эталонный акселерометр с пренебрежимо малым коэффициентом нелинейности выходной характеристики. Вычитание из выходного сигнала тестируемого акселерометра выходного сигнала эталонного дает представление о нелинейности характеристики тестируемого акселерометра. Выходные сигналы акселерометров нормируются минимизацией разностного сигнала путем регулирования амплитуды выходного сигнала тестируемого акселерометра. Полученный таким образом разностный сигнал фильтруется для исключения из его спектра малозначимых гармонических составляющих, в том числе шумов и помех. Спектр отфильтрованного сигнала составляют гармоники, обусловленные нелинейностью тестируемого акселерометра, которая равна среднеквадратичному значению напряжения фильтрованного сигнала. Нелинейность акселерометра определяется отношением среднеквадратичного значения напряжения фильтрованного сигнала к среднеквадратичному значению напряжения сигнала эталонного акселерометра.

Для проверки данного способа был собран макет устройства (чертеж). В качестве генератора гармонических сигналов 1 был взят генератор многофункциональный Tektronix AFG3021, вибростенд 2 типа 4809 фирмы Bruel&Kjear, эталонный акселерометр 3 - акселерометр AT1112 ОАО «ТЕМП-АВИА», тестируемый акселерометр 4 - разрабатываемые в МИЭТ микроэлектромеханические акселерометры АМЭМ; разностное устройство 6 и фильтр низких частот 10 разработаны на операционных усилителях ОР7727 Analog Devices; в качестве среднеквадратчиных вольтметров 8,11 были взяты мультиметры 34401А фирмы Agilent.

На генераторе 1 установили частоту 70 Гц. Изменяя амплитуду сигнала, добились, чтобы вольтметр 8 показал напряжение, соответствующее ускорению 1g (при этом фактическая амплитуда выходного сигнала акселерометра 3 больше, чем показывает вольтметр 8 в 21/2 раза). Отношение показаний вольтметра 11 к показаниям вольтметра 8 дало численное значение нелинейностей выходной характеристики тестируемых акселерометров.

Для испытаний были выбраны акселерометры АМЭМ, рассчитанные на диапазон ускорений ±1g, поскольку измерения коэффициента нелинейности также были проведены и на делительной головке путем съема выходной характеристики и математическим подсчетом ее нелинейности. Показания, которые были получены с применением предложенного способа, были сопоставимы со значением нелинейности выходной характеристики, полученной при помощи делительной головки.

Источники информации

1. Авторское свидетельство СССР №1028164. Способ определения нелинейности характеристики компенсационного акселерометра.

2. Авторское свидетельство СССР №934807. Способ определения нелинейности маятникового акселерометра на центрифуге (прототип).

Способ определения нелинейности выходной характеристики акселерометра, включающий размещение тестируемого акселерометра вместе с эталонным акселерометром на вибростенде, отличающийся тем, что разность выходных сигналов акселерометров, минимизированная при помощи регулирования амплитуды сигнала тестируемого акселерометра, фильтруется, при этом нелинейность выходной характеристики тестируемого акселерометра определяется отношением среднеквадратичного значения напряжения фильтрованного сигнала к среднеквадратичному значению напряжения сигнала эталонного акселерометра.
Источник поступления информации: Роспатент

Показаны записи 1-10 из 36.
10.02.2013
№216.012.24c2

Способ получения газопоглощающей структуры

Изобретение относится к вакуумной технике и представляет собой способ получения газопоглощающей структуры для поддержания вакуума в различных приборах, в том числе микроэлектромеханических системах. Газопоглощающая структура представляет собой слой активного металла либо сплава с развитой...
Тип: Изобретение
Номер охранного документа: 0002474912
Дата охранного документа: 10.02.2013
27.07.2013
№216.012.5a7c

Способ измерения амплитудно-частотных характеристик подвижных элементов микромеханических устройств

Изобретение относится к микромеханике и предназначено для измерения амплитудно-частотных характеристик подвижных элементов микромеханических устройств. Способ включает формирование на неподвижных обкладках конденсатора гармонических сигналов с постоянной составляющей, из которых формируется...
Тип: Изобретение
Номер охранного документа: 0002488785
Дата охранного документа: 27.07.2013
10.09.2013
№216.012.68db

Чувствительный элемент микромеханического акселерометра

Изобретение относится к измерительной технике и может быть использовано в микромеханических датчиках линейных ускорений. Чувствительный элемент, выполненный из монокристаллического кремния низкой проводимости, содержит центральную площадку, соединенную со стеклянной подложкой, на которых...
Тип: Изобретение
Номер охранного документа: 0002492490
Дата охранного документа: 10.09.2013
27.10.2013
№216.012.7aef

Чувствительный элемент микромеханического компенсационного акселерометра

Изобретение относится к измерительной технике и может применяться в микромеханических компенсационных акселерометрах. Чувствительный элемент содержит инерционную массу, упругие элементы, катушку обратной связи, проводящие дорожки для электрической связи катушек обратной связи со схемой...
Тип: Изобретение
Номер охранного документа: 0002497133
Дата охранного документа: 27.10.2013
10.03.2014
№216.012.aa39

Устройство измерения резонансных частот и добротности подвижных элементов микромеханических устройств

Изобретение относится к области измерительной техники и может быть использовано для контроля качества микромеханических элементов. Устройство измерения резонансных частот и добротности подвижных элементов микромеханических устройств включает в себя генератор, регулятор амплитуды, усилитель...
Тип: Изобретение
Номер охранного документа: 0002509292
Дата охранного документа: 10.03.2014
10.04.2014
№216.012.b1f7

Наноструктурный ик-приемник (болометр) с большой поверхностью поглощения

Изобретение относится к области создания детекторов инфракрасного излучения и касается болометрического ИК-детектора. Детектор состоит из мембраны площадью S с термочувствительным элементом (ТЧЭ) и поглотителем электромагнитной энергии (ПЭЭ), прикрепленной к подложке с помощью токопроводящих...
Тип: Изобретение
Номер охранного документа: 0002511275
Дата охранного документа: 10.04.2014
10.05.2014
№216.012.c1dd

Микромеханический акселерометр

Изобретение может применяться в микромеханических датчиках линейных ускорений. Сущность изобретения заключается в том, что микромеханический акселерометр содержит чувствительный элемент, выполненный из монокристаллического кремния низкой проводимости, внешнюю рамку с закрепленным на ней...
Тип: Изобретение
Номер охранного документа: 0002515378
Дата охранного документа: 10.05.2014
10.05.2014
№216.012.c204

Приемник ик-излучения болометрического типа

Изобретение относится к области создания детекторов инфракрасного излучения и касается болометрического ИК-детектора. Детектор состоит из мембраны площадью S с термочувствительным элементом (ТЧЭ) и поглотителем электромагнитной энергии (ПЭЭ), прикрепленной к подложке с помощью токопроводящих...
Тип: Изобретение
Номер охранного документа: 0002515417
Дата охранного документа: 10.05.2014
27.06.2014
№216.012.d606

Способ изготовления гибкой микропечатной платы

Изобретение относится к области приборостроения и радиоэлектроники и может быть использовано при изготовлении гибких микропечатных плат, применяемых при изготовлении вторичных преобразователей микромеханических акселерометров, микрогироскопов, интегральных датчиков давления и других изделий....
Тип: Изобретение
Номер охранного документа: 0002520568
Дата охранного документа: 27.06.2014
20.07.2014
№216.012.e24c

Нанокомпозитная газопоглощающая структура и способ ее получения

Изобретение относится к вакуумной технике и представляет собой нанокомпозитную газопоглощающую структуру и способ ее получения, предназначенную для поддержания вакуума в различных приборах, в том числе микроэлектромеханических системах. Нанокомпозитная газопоглощающая структура представляет...
Тип: Изобретение
Номер охранного документа: 0002523718
Дата охранного документа: 20.07.2014
+ добавить свой РИД