×
10.08.2016
216.015.5551

Результат интеллектуальной деятельности: КОМБИНИРОВАННЫЙ ЭЛЕКТРОННО-ОПТИЧЕСКИЙ ПРЕОБРАЗОВАТЕЛЬ

Вид РИД

Изобретение

Аннотация: Изобретение относится к области оптического приборостроения и касается электронно-оптического преобразователя. Преобразователь включает в себя корпус с вакуумно-плотными входным и выходным окнами, фотокатод на основе алмазной пленки, ускоряющие электроды, волоконно-оптическую пластину, люминесцентный экран и геттер. На входном окне расположен тонкий слой прозрачного в УФ области спектра соединения сурьмы с цезием. За входным окном расположена прозрачная для ультрафиолетового диапазона пластина с нанесенным на нее со стороны, обращенной к люминесцентному экрану, фотокатодом на основе слаболегированной акцепторами поликристаллической алмазной пленки. Технический результат заключается в обеспечении возможности управления квантовой эффективностью и положением «красной границы» фоточувствительности. 2 ил.
Основные результаты: Комбинированный электронно-оптический преобразователь, содержащий корпус с вакуумно-плотными входным и выходным окнами, фотокатод на основе алмазной пленки, ускоряющие электроды, волоконно-оптическую пластину и геттер, отличающийся тем, что на входном окне расположен тонкий слой прозрачного в УФ области спектра соединения сурьмы с цезием, за ним расположена пластина, прозрачная для ультрафиолетового диапазона, с нанесенным на нее со стороны, обращенной к люминесцентному экрану, фотокатодом на основе слаболегированной акцепторами поликристаллической алмазной пленки.

Изобретение выполняет функцию устройства, предназначенного для преобразования изображений невидимой части спектра (например, инфракрасного либо ультрафиолетового) в видимый диапазон. Конструктивно, ЭОП представляет собой оптический прибор, выполненный в металлокерамическом корпусе, с входным оптическим окном из материала, прозрачного в оптическом диапазоне, и оптическим трактом в составе последовательно расположенных фотокатода, электродов ускоряющего промежутка; микроканальной пластины (МКП); люминесцентного экрана, выходного оптического окна [1-3].

Работа устройства основана на совершении ряда последовательных преобразований изображения объекта в потоках фотонов невидимой части спектра в изображение в потоке электронов, умножении интенсивности изображения в потоках электронов и последующем его пропорциональном преобразовании в оптическое изображение видимой части спектра и последующем выводе излучения через выходное окно, прозрачное для видимой части спектра.

Наиболее близкой конструкцией - прототипом - к заявляемому изобретению является электронно-оптический преобразователь поколения 2+, включающий металлокерамический корпус, вакуумно-плотное входное окно (из MgF2, кварц, сапфир и др.), с расположенным на нем УФ фотокатодом (на основе TeCs, щелочных металлов и др.), микроканальную пластину, катодолюминесцентный экран, расположенный на волоконно-оптической пластине (ВОП), электроды ускоряющего промежутка, геттер, электрические контакты, гальванически связанные с фотокатодом, МКП, экраном и геттером [4]. ВОП одновременно является вакуумно-плотным выходным оптическим окном, выводящим излучение через вторую свою плоскость, и позволяет откачивать внутренний объем корпуса устройства до остаточного атмосферного давления в 10-8-10-9 мм рт.ст.

ЭОП прототип чувствителен в УФ диапазоне, однако его квантовая эффективность невысока (~10%), а спектральная область чувствительности жестко фиксирована и составляет 0,19-0,27 мкм.

Задачей изобретения является обеспечение возможности регулирования квантовой эффективности в диапазоне 12-25% и «красной» (длинноволновой) границы области чувствительности в диапазоне 0,27-0,45 мкм.

Для реализации изобретения предлагается электронно-оптический преобразователь, чувствительный к оптическому диапазону вакуумного ультрафиолета (0,12-0,27 мкм) и ультрафиолетовой области (0,20-0,45 мкм), конструкция которого состоит из металлокерамического корпуса, входного оптического окна, катодолюминесцентного экрана, расположенного на волоконно-оптической пластине, геттера и электродов, отличающийся тем, что на входном окне вместо фотокатода расположен тонкий слой прозрачного в УФ области спектра соединения сурьмы с цезием, а вместо микроканальной пластины расположена прозрачная для ультрафиолетового диапазона пластина с нанесенным на нее со стороны, обращенной к люминесцентному экрану, фотокатодом на основе слаболегированной акцепторами поликристаллической алмазной пленки.

На Фиг. 1 представлено изображение заявляемой конструкции ВУФ и УФ ЭОП, предназначенной для регистрации изображений в ВУФ и УФ областях спектра, где: 1 - корпус устройства; 2 - входное окно (окно для ввода оптического излучения); 3 - наноразмерной толщины пленка соединения сурьмы с цезием; 4 - прозрачная для ВУФ либо УФ пластина с расположенным на ее стороне, обращенной к люминесцентному экрану, фотокатодом 5, выполненным на основе поликристаллической алмазной пленки, слаболегированной акцепторами; 6 - люминесцентный экран из слоя люминофора субмикронной толщины и прозрачного для света слоя наноразмерной толщины, расположенный на ВОП 7, которая является одновременно вакуумно-плотным выходным окном для вывода оптического излучения; 8 - электроды ускоряющего промежутка; 9 - электрические контакты, гальванически связанные с перечисленными активными элементами, 10 - геттер.

В предлагаемом устройстве, представленном на Фиг. 1, изображение в первичном потоке фотонов невидимого ВУФ либо УФ диапазона пропорционально преобразуется фотокатодом на основе алмазной пленки в изображение в потоке электронов, последнее затем пропорционально преобразуется люминесцентным экраном в изображение в фотонах видимого диапазона, выводимого посредством ВОП сквозь выходное окно корпуса ЭОП. Наноразмерной толщины слой из соединения цезия с сурьмой является источником атомов цезия, генерируемых потоком первичных фотонов. Изменением исходного соотношения атомов сурьмы и цезия в пленке можно регулировать темп эмиссии в объем корпуса атомов цезия, а значит, степень активации атомами цезия, адсорбирующимися из объема на поверхность фотокатода из алмазной пленки, изменяя тем самым энергию барьера для выхода «средних» (доминирующего числа) фотоэлектронов. Помимо задания начального уровня работы выхода посредством выбора исходного соотношения между атомами сурьмы и цезия, можно несколько ее изменять, меняя относительно поверхности фотокатода потенциал на ускоряющих электродах. Это особенно эффективно в фотокатодах острийных конструкций.

Действительно, энергия сродства алмазных пленок составляет ~3,0-3,5 эВ, что существенно ниже энергии сродства полупроводниковых материалов (~4 эВ), используемых в качестве фотокатодов, но больше энергии сродства для Cs (~1,5 эВ). С учетом экспоненциальной зависимости вероятности выхода фотоэлектронов из фотокатода в вакуум, цезирование поверхности алмазной пленки способно увеличить вероятность выхода фотоэлектронов в ~10 раз [~ехр (2)]. Значит, следует ожидать увеличение квантовой эффективности фотокатода из алмазной пленки с поверхностью, активированной цезием, по сравнению с фотокатодом на алмазной пленке, не подвергнутой такой активации. Электрическое смещение (положительное) электродов на ускоряющем промежутке относительно поверхности фотокатода позволит, за счет суперпозии поля барьера и внешнего поля, а также сил зеркального изображения, «обострить» потенциальный барьер, что понизит энергию перевала, а значит, приведет к смещению длинноволновой («красной») границы чувствительности в длинноволновую область УФ спектра.

Таким образом:

- расположение на внутренней поверхности входного окна пленки из соединения сурьмы и цезия и вариация элементного состава соединения позволит управляемо уменьшать работу выхода фотоэлектронов, а значит, управляемо увеличивать квантовый выход фотокатода (теоретически, для алмаза ~ в 10 раз) и параллельно смещать «красную» границу чувствительности в длинноволновую область УФ диапазона;

- использование в качестве фотокатода алмазной пленки с наноструктурированной поверхностью (с массивами наноразмерных острий, например) позволит управляемо смещать «красную» границу чувствительности в длинноволновую область УФ диапазона, т.е. расширять ВУФ диапазон в сторону УФ диапазона.

Прототип изобретения не позволяет это сделать.

Работа заявляемого устройства (Фиг. 1) происходит следующим образом. Изображение в потоках ВУФ либо УФ фотонов, проходя пленку из соединения сурьмы и цезия и частично теряя сравнительно малую часть энергии на эмиссию атомов цезия из объема пленки во внутренний объем корпуса и проходя через прозрачную для излучения пластину, поглощается фотокатодом и пропорционально преобразуется в изображение в фотоэлектронах. Поток фотоэлектронов, имеющих энергию, большую энергии запрещенной зоны алмаза, при приложении к электродам ускоряющего промежутка соответствующего напряжения, положительного относительно поверхности фотокатода, покидает фотокатод, устремляясь к люминесцентному экрану, смещенному положительно как относительно фотокатода, так и относительно ускоряющих электродов. Взаимодействие изображения в потоках ускоренных фотоэлектронов с активным веществом (люминофором) экрана по механизму катодолюминесценции способствует преобразованию энергии фотоэлектронов в поток фотонов. Изображение в потоке вторичных фотонов (уже видимой части спектра) посредством ВОП выводится через выходное окно корпуса ЭОП.

Примеры измерений

Была исследована область спектральной чувствительности фотокатода на основе поликристаллической алмазной пленки, слаболегированной акцепторами. Измерения выполнены с использованием монохроматора МДР206, дейтериевого источника (ДДС30) и галогеновой лампы (КГ-70), стандартного калибровочного фотодиода и вакуумной камеры, с входным окном на основе кварца. Спектральное разрешение составляло 10 нм. Область чувствительности фотокатода составила 0,19-0,27 мкм (снизу ограничена нижней границей прозрачности кварцевого окна). Величина квантовой эффективности, определенная с использованием калибровочного фотодиода, с коррекцией потерь на ввод излучения в объем дала величину ~12%.

С использованием той же техники, в стандартной схеме измерений, был изучен спектральный диапазон чувствительности и измерена квантовая эффективность УФ ЭОП заявляемой конструкции, содержащего фотокатод на основе поликристаллической алмазной пленки и наноразмерной толщины пленку из соединения сурьмы и цезия фиксированного состава, расположенную на тыльной стороне входного окна. Установлено, область чувствительности УФ ЭОП составляет 0,19-0,45 мкм (т.е. «красная» граница смещена в длинноволновую область УФ диапазона, а квантовая эффективность увеличилась при этом до ~25%. На Фиг. 2 представлены экспериментальные результаты измерений спектральной фоточувствительности УФ ЭОП заявляемой конструкции.

Таким образом, экспериментальные исследования подтверждают теоретические ожидания возможности управления квантовой эффективностью и положением «красной» границы фоточувствительности в заявляемой конструкции.

Источники информации

1. Козелкин В.В., Усольцев И.Ф. Основы инфракрасной техники, 3 изд., М., 1985; Зайдель И.Н.

2. Куклев С.В., Соколов Д.С., Зайдель И.Н. Электронно-оптические преобразователи. М.: НИИ ЭПР, 2004, 188 с.

3. Саликов В.А. Приборы ночного видения // Специальная техника, №2, 2000, с. 40-48.

4. Электронно-оптический преобразователь. Серия ЭПМ 70-Г. (МЭЛЗ ЭВП) - прототип.

Комбинированный электронно-оптический преобразователь, содержащий корпус с вакуумно-плотными входным и выходным окнами, фотокатод на основе алмазной пленки, ускоряющие электроды, волоконно-оптическую пластину и геттер, отличающийся тем, что на входном окне расположен тонкий слой прозрачного в УФ области спектра соединения сурьмы с цезием, за ним расположена пластина, прозрачная для ультрафиолетового диапазона, с нанесенным на нее со стороны, обращенной к люминесцентному экрану, фотокатодом на основе слаболегированной акцепторами поликристаллической алмазной пленки.
КОМБИНИРОВАННЫЙ ЭЛЕКТРОННО-ОПТИЧЕСКИЙ ПРЕОБРАЗОВАТЕЛЬ
КОМБИНИРОВАННЫЙ ЭЛЕКТРОННО-ОПТИЧЕСКИЙ ПРЕОБРАЗОВАТЕЛЬ
КОМБИНИРОВАННЫЙ ЭЛЕКТРОННО-ОПТИЧЕСКИЙ ПРЕОБРАЗОВАТЕЛЬ
Источник поступления информации: Роспатент

Показаны записи 11-20 из 50.
10.04.2014
№216.012.b1af

Адаптивный датчик на основе чувствительного полевого прибора

Изобретение относится к сенсорам физико-химических или биохимических воздействий, в частности к области инфракрасной техники, а именно к преобразователям теплового излучения в электрический сигнал. В адаптивном датчике на основе чувствительного полевого прибора, содержащем структуру...
Тип: Изобретение
Номер охранного документа: 0002511203
Дата охранного документа: 10.04.2014
20.05.2014
№216.012.c44e

Многофункциональный автономный асинхронный генератор

Изобретение относится к области электротехники и может быть использовано при производстве асинхронных генераторов автономных электростанций. Технический результат - расширение области применения многофункциональных автономных асинхронных генераторов, позволяющее изменять мощность генератора и...
Тип: Изобретение
Номер охранного документа: 0002516013
Дата охранного документа: 20.05.2014
20.06.2014
№216.012.d340

Магнитоуправляемый коммутатор

Изобретение относится к области электротехники, в частности к магнитоуправляемым коммутирующим устройствам - коммутаторам тока, используемым в широком диапазоне коммутируемых нагрузок и мощностей. Устройство содержит токопроводящие элементы и магнитное вещество, мостовую перемычку,...
Тип: Изобретение
Номер охранного документа: 0002519851
Дата охранного документа: 20.06.2014
20.07.2014
№216.012.de8e

Анемометрический датчик

Изобретение относится к области микросенсоров, а именно к микроэлектромеханическим системам (МЭМС) для измерения потоков жидкостей и газов - МЭМС-термоанемометрам. Анемометрический датчик содержит чувствительный элемент, выполненный в виде двух и более открытых контролируемому потоку упругих...
Тип: Изобретение
Номер охранного документа: 0002522760
Дата охранного документа: 20.07.2014
10.08.2014
№216.012.e650

Фотокатодный узел вакуумного фотоэлектронного прибора с полупрозрачным фотокатодом и способ его изготовления

Изобретение относится к области создания вакуумных фотоэлектронных приборов, а точнее к конструкции фотокатодного узла таких приборов, в частности, конструкции фотоэлектронных приборов (ФЭП), электронно-оптических преобразователей (ЭОП). Фотокатодный узел вакуумного фотоэлектронного прибора...
Тип: Изобретение
Номер охранного документа: 0002524753
Дата охранного документа: 10.08.2014
10.11.2014
№216.013.0506

Переключатель и коммутатор

Изобретение касается переключателя или коммутатора, содержащего хотя бы один такой переключатель, который содержит бистабильный элемент в МЭМС-исполнении, средства переключения и коммутационный узел. В качестве коммутационного узла использован МДП-транзистор, подвижным затвором которого...
Тип: Изобретение
Номер охранного документа: 0002532684
Дата охранного документа: 10.11.2014
20.11.2014
№216.013.084f

Способ определения местоположения или обнаружения объекта

Изобретение относится к оптическому приборостроению. Способ определения местоположения или обнаружения объекта, с использованием активно-импульсного прибора, включающего в себя приемный электронно-оптический преобразователь (ЭОП) и лазерный излучатель, генерирующий короткие импульсы подсветки...
Тип: Изобретение
Номер охранного документа: 0002533528
Дата охранного документа: 20.11.2014
20.12.2014
№216.013.107f

Вибродатчик

Изобретение относится к измерительной технике, представляет собой вибродатчик в микроэлектромеханическом исполнении и может использоваться для регистрации вибрации, в том числе с субмикронной амплитудой, и измерения параметров вибрации. Датчик включает упругий элемент с магниторезистивными...
Тип: Изобретение
Номер охранного документа: 0002535646
Дата охранного документа: 20.12.2014
20.12.2014
№216.013.1083

Анемометр

Предложенное изобретение относится к микромеханическим системам для измерения потоков жидкостей и газов и определения направления данных потоков. Заявленный анемометр, предназначенный для измерения указанных величин, содержит цилиндр, датчики, расположенные на его поверхности, и блок съема и...
Тип: Изобретение
Номер охранного документа: 0002535650
Дата охранного документа: 20.12.2014
20.02.2015
№216.013.2a7d

Фотокатод

Изобретение относится к области электронной техники. В фотокатоде, выполненном из высокочистого полупроводника, область, регистрирующая оптическое излучение, выполнена в виде полупроводниковой мембраны с омическим контактом к несущей ее подложке и расположенной над отверстием в ней, на...
Тип: Изобретение
Номер охранного документа: 0002542334
Дата охранного документа: 20.02.2015
Показаны записи 11-20 из 51.
10.08.2014
№216.012.e650

Фотокатодный узел вакуумного фотоэлектронного прибора с полупрозрачным фотокатодом и способ его изготовления

Изобретение относится к области создания вакуумных фотоэлектронных приборов, а точнее к конструкции фотокатодного узла таких приборов, в частности, конструкции фотоэлектронных приборов (ФЭП), электронно-оптических преобразователей (ЭОП). Фотокатодный узел вакуумного фотоэлектронного прибора...
Тип: Изобретение
Номер охранного документа: 0002524753
Дата охранного документа: 10.08.2014
10.11.2014
№216.013.0506

Переключатель и коммутатор

Изобретение касается переключателя или коммутатора, содержащего хотя бы один такой переключатель, который содержит бистабильный элемент в МЭМС-исполнении, средства переключения и коммутационный узел. В качестве коммутационного узла использован МДП-транзистор, подвижным затвором которого...
Тип: Изобретение
Номер охранного документа: 0002532684
Дата охранного документа: 10.11.2014
20.11.2014
№216.013.084f

Способ определения местоположения или обнаружения объекта

Изобретение относится к оптическому приборостроению. Способ определения местоположения или обнаружения объекта, с использованием активно-импульсного прибора, включающего в себя приемный электронно-оптический преобразователь (ЭОП) и лазерный излучатель, генерирующий короткие импульсы подсветки...
Тип: Изобретение
Номер охранного документа: 0002533528
Дата охранного документа: 20.11.2014
20.12.2014
№216.013.107f

Вибродатчик

Изобретение относится к измерительной технике, представляет собой вибродатчик в микроэлектромеханическом исполнении и может использоваться для регистрации вибрации, в том числе с субмикронной амплитудой, и измерения параметров вибрации. Датчик включает упругий элемент с магниторезистивными...
Тип: Изобретение
Номер охранного документа: 0002535646
Дата охранного документа: 20.12.2014
20.12.2014
№216.013.1083

Анемометр

Предложенное изобретение относится к микромеханическим системам для измерения потоков жидкостей и газов и определения направления данных потоков. Заявленный анемометр, предназначенный для измерения указанных величин, содержит цилиндр, датчики, расположенные на его поверхности, и блок съема и...
Тип: Изобретение
Номер охранного документа: 0002535650
Дата охранного документа: 20.12.2014
20.02.2015
№216.013.2a7d

Фотокатод

Изобретение относится к области электронной техники. В фотокатоде, выполненном из высокочистого полупроводника, область, регистрирующая оптическое излучение, выполнена в виде полупроводниковой мембраны с омическим контактом к несущей ее подложке и расположенной над отверстием в ней, на...
Тип: Изобретение
Номер охранного документа: 0002542334
Дата охранного документа: 20.02.2015
10.04.2015
№216.013.3f8d

Датчик давления

Изобретение относится к измерительной технике и предназначено для использования в приборах измерения давления жидкостей и газов. Техническим результатом изобретения является упрощение конструкции и технологии изготовления датчика давления. Датчик давления содержит измерительный блок, упругую...
Тип: Изобретение
Номер охранного документа: 0002547757
Дата охранного документа: 10.04.2015
10.10.2015
№216.013.81bd

Линейный микроакселерометр с оптической системой

Изобретение относится к области измерительной техники и касается линейного микроакселерометра с оптической системой. Микроакселерометр включает в себя корпус, две инерционные массы на упругих подвесах, два датчика положения, два компенсационных преобразователя. Датчики положения выполнены в...
Тип: Изобретение
Номер охранного документа: 0002564810
Дата охранного документа: 10.10.2015
10.12.2015
№216.013.9599

Фотокатод

Использование конструкции согласно изобретению - это фотокатодные узлы вакуумных высокочувствительных, термо- и радиационно-стойких приемников излучений и приемников изображений для спектрального диапазона 0,19-1,0 мкм. Предложен фотокатод из высокочистого полупроводника, при этом...
Тип: Изобретение
Номер охранного документа: 0002569917
Дата охранного документа: 10.12.2015
10.01.2016
№216.013.9f33

Фотоэлектронный умножитель для уф диапазона

Изобретение относится к области электронной техники. Технический результат - расширение в длинноволновую область диапазона спектральной чувствительности к электромагнитному излучению, повышение токовой чувствительности и квантовой эффективности. Фотоэлектронный умножитель представляет собой...
Тип: Изобретение
Номер охранного документа: 0002572392
Дата охранного документа: 10.01.2016
+ добавить свой РИД