×
10.11.2015
216.013.8c87

Результат интеллектуальной деятельности: СПОСОБ ИЗГОТОВЛЕНИЯ КОМПОЗИТНЫХ КЕРАМИЧЕСКИХ ИЗДЕЛИЙ

Вид РИД

Изобретение

Аннотация: Изобретение относится к инструментальной промышленности, в частности к обработке металлов резанием, и может быть использовано при изготовлении режущих керамических пластин. В способе изготовления композитных изделий, включающем подготовку исходной шихты, содержащей смесь порошка оксида алюминия, нитевидных кристаллов карбида кремния и парафина в следующем соотношении компонентов, вес.%: оксид алюминия 55-65, нитевидные кристаллы карбида кремния 25-35, парафин 8-12, формование экструзией плоской заготовки с ориентацией в ней нитевидных армирующих кристаллов в направлении экструзии, отгонку связующего и прессование изделия, плоскую заготовку разрезают на n≥2 элементов по форме изделия с разнонаправленной ориентацией нитевидных армирующих кристаллов, которые послойно собирают в брикет так, чтобы в соседних слоях ориентация нитевидных армирующих кристаллов не совпадала. Отгонку связующего проводят нагреванием в печи до температуры 100°C со скоростью, не превышающей 5 град/мин, а горячее прессование изделия осуществляют при температуре 1500-1700С и давлении 500-600 МПа. Техническим результатом изобретения является повышение трещиностойкости. 1 ил., 1 пр.
Основные результаты: Способ изготовления композитных керамических изделий, включающий подготовку исходной шихты, содержащей порошковую матрицу, нитевидные армирующие кристаллы карбида кремния и вязкое связующее, формование экструзией из исходной шихты плоской заготовки с ориентацией в ней нитевидных армирующих кристаллов в направлении экструзии, вырезание из заготовки n ≥2 элементов по форме изделия, которые послойно, с разнонаправленной в соседних слоях ориентацией нитевидных армирующих кристаллов, собирают в брикет, отгонку связующего и горячее прессование изделия, отличающийся тем, что в исходной шихте в качестве порошковой матрицы и связующего используют, соответственно, оксид алюминия и парафин в следующем соотношении компонентов, вес.%: оксид алюминия 55-65, парафин 8-12, нитевидные кристаллы карбида кремния 25-35, парафин отгоняют из брикета нагреванием в печи до температуры 100°C со скоростью, не превышающей 5 град/мин, а горячее прессование осуществляют при температуре 1500-1700°C и давлении 500-600 МПа.

Изобретение относится к машиностроению, преимущественно к инструментальной промышленности, и может быть использовано при изготовлении композитных изделий, предпочтительно режущих керамических пластин.

Известен способ получения композиционного материала, армированного нитевидными структурами, включающий образование дисперсных частиц путем смешения в струе паров металла с реакционным газом и перемешивание частиц с веществом матрицы. Формирование армирующей фазы, представляющей собой переплетенные нитевидные структуры, осуществляют при истечении сверхзвуковой струи плазмы паров испаряемого вещества из электродугового генератора паров при значении характерного числа Рейнольдса ReL ≤1 в разреженную атмосферу реакционного газа, заполняющего технологический объем вакуумной камеры. Полученную волоконную основу обрабатывают в плазме тлеющего разряда с целью придания жесткости волоконной структуре (Патент РФ №2049151, С23С 14/32, 1992 г.).

Способ позволяет получать композиционные материалы с полимерной (эпоксидной) матрицей, армированные нитевидными структурами в поле низкотемпературной плазмы, образованной наложением электрического или высокочастотного поля.

Недостатком способа является сложность осуществления и низкая производительность для промышленных масштабов. Способ не предназначен для получения инструментальных материалов с керамической матрицей, армированной нитевидными кристаллами.

Известен способ получения керамического материала на основе диоксида циркония, армированного дискретными волокнами оксида алюминия, включающий формование прессовки из плазмохимического порошка, представляющего собой смесь порошков диоксида циркония и оксида алюминия, и термообработку. Армирующие волокна получают в процессе термообработок, которые осуществляют в две стадии. На первой стадии в процессе отжига прессовки в засыпке при температуре 1000-1200°C в течение 8-12 часов синтезируют центры кристаллизации Al2O3 путем направленной кристаллизации оксида алюминия из пересыщенного твердого раствора. На второй стадии прессовку извлекают из засыпки и проводят ее спекание в вакууме при температуре 1500-1700°C с изотермической выдержкой 1-7 часов для окончательного формирования армирующих волокон (Патент РФ №2289555, С04В 35/81, 2005 г.).

Известный способ направлен на получение композиционных керамических материалов на основе диоксида циркония, армированных дискретными керамическими волокнами оксида алюминия. Композиционные керамические материалы за счет армирования дискретными волокнами оксида алюминия имеют повышенные механические свойства, а именно высокую вязкость разрушения.

Недостатком способа является невозможность получения нитевидных кристаллов (усов) карбида кремния в процессе кристаллизации керамической матрицы. Известно, что усы карбида кремния имеют более высокий предел прочности по сравнению с волокнами оксида алюминия. Хаотичность расположения центров кристаллизации Al2O3 в керамической матрице предполагает получение хаотически армированного материала, обладающего вследствие этого неоднородностью свойств и низкой трещиностойкостью.

Наиболее близким к заявленному - прототипом - является способ изготовления композитных керамических изделий, включающий подготовку исходной шихты, содержащей порошковую матрицу, нитевидные армирующие кристаллы карбида кремния и вязкое связующее, формование экструзией плоской заготовки с ориентацией в ней нитевидных армирующих кристаллов в направлении экструзии, вырезание из заготовки n ≥2 элементов по форме изделия, которые послойно, с разнонаправленной в соседних слоях ориентацией нитевидных армирующих кристаллов, собирают в брикет, отгонку связующего и горячее прессование изделия (Патент US №5589115 А, опубл. 31.12.1996).

Известный способ направлен на получение композитных керамических материалов, направленно армированных нитевидными армирующими кристаллами. Композитная керамика за счет разнонаправленного армирования нитевидными армирующими кристаллами имеет повышенные механические свойства в плоскостях, пересекающихся армирующими кристалами.

Недостатком способа является низкая трещиностойкость композитных керамических изделий в плоскости, совпадающей с направлением армирования.

Изобретение направлено на решение задачи создания способа изготовления композитных керамических изделий, обеспечивающего организацию их армирования нитевидными армирующими кристаллами в трех взаимнопересекающихся направлениях.

Технический результат - повышение трещиностойкости.

Поставленная задача решается, а заявленный технический результат достигается тем, что в способе изготовления композитных керамических изделий, включающем подготовку исходной шихты, содержащей порошковую матрицу, нитевидные армирующие кристаллы карбида кремния и вязкое связующее, формование экструзией из исходной шихты плоской заготовки с ориентацией в ней нитевидных армирующих кристаллов в направлении экструзии, вырезание из заготовки n ≥2 элементов по форме изделия, которые послойно, с разнонаправленной в соседних слоях ориентацией нитевидных армирующих кристаллов, собирают в брикет, отгонку связующего и горячее прессование изделия, в исходной шихте в качестве порошковой матрицы и связующего используют, соответственно, оксид алюминия и парафин в следующем соотношении компонентов, вес. %: оксид алюминия 55-65, парафин 8-12, нитевидные кристаллы карбида кремния 25-35, парафин отгоняют из брикета нагреванием в печи до температуры 100°C со скоростью, не превышающей 5 град/мин, а горячее прессование осуществляют при температуре 1500-1700°C и давлении 500-600 МПа.

Сущность способа изготовления композитных изделий поясняется графическими материалами, где на фиг. 1 изображена структура композитного изделия.

Изобретение основано на следующем.

Как и в прототипе на начальной стадии осуществляют подготовку исходной шихты, содержащей порошковую матрицу (в нашем случае - порошок Al2O3), нитевидные армирующие кристаллы (в обоих случаях - нитевидные кристаллы SiC) и вязкое связующее (в нашем случае - парафин). В процессе формования шихту выдавливают мундштучным прессованием через плоскощелевую матрицу (по сути экструдируют) с получением плоской заготовки с ориентацией в ней нитевидных армирующих кристаллов в направлении экструзии.

Далее, с тем, чтобы получить структуру ориентированных в трех взаимно пересекающихся направлениях нитевидных армирующих кристаллов, плоскую заготовку разрезают на n ≥2 элементов 1 по форме изделия с разнонаправленной ориентацией нитевидных армирующих кристаллов 2, которые послойно собирают в брикет 3 так, чтобы в соседних элементах ориентация нитевидных армирующих кристаллов не совпадала (на фиг. 1 представлен вариант с направлением ориентации нитевидных армирующих кристаллов в соседних элементах под углом α=90°). Если изделие в плане квадратное, то целесообразно применять α=90° при n ≥2, если круглое, то целесообразно применять α=120° при n ≥3 - как показывает практика, это оптимальные параметры для изделий указанной формы. Если изделие в плане имеет более сложную форму, возможно установить оптимальные значения n и α опытным путем.

Далее брикет помещают в печь и нагревают, осуществляя отгонку связующего. Если связующее - парафин, то нагрев следует осуществлять до температуры 100°C со скоростью, не превышающей 5 град/мин. При более высоких параметрах (установлено опытным путем) отгонка связующего сопровождается дезориентацией нитевидных армирующих кристаллов в брикете.

После отгонки связующего, брикет прессуют в изделие. При этом замечено, что для заявленного состава, вес. %: оксид алюминия 55-65, парафин 8-12, нитевидные кристаллы карбида кремния 25-35, горизонтально ориентированные нитевидные армирующие кристаллы в процессе прессования брикета в 70% от общего количества «клюют» или, другими словами, поворачиваются (на фиг. 1 не показано) в вертикальной плоскости на угол до 40° (редко - больше). Это явление и способствует повышению трещиностойкости в смысле заявленного технического результата. При выходе состава вес. % за указанные параметры эффект поворота горизонтально ориентированных нитевидных армирующих кристаллов в процессе прессования брикета в вертикальной плоскости либо принимает хаотичный характер, либо ничтожно мал, или не наблюдается вовсе.

Пример осуществления способа изготовления композитных изделий

Порошок оксида алюминия, нитевидные кристаллы карбида кремния и парафин смешивают в пластиковой емкости шаровой мельницы. При этом используют шары из Al2O3. Корпус мельницы во время проведения операции смешивания имеет температуру, близкую к температуре плавления парафина (~50°C). При этом процесс смешивания компонентов протекает в жидкой среде более интенсивно, чем в газовой. Поскольку смешивание порошков производят одновременно с их пластификацией, это сокращает общее время приготовления шихты. Количество парафина составляет 8-12%, оксида алюминия - 55-65%, нитевидных кристаллов карбида кремния - 25-35%, от массы шихты.

Шихта, увлажненная парафином, представляет собой пастообразную смесь, которую выдавливают мундштучным прессованием через плоскощелевую матрицу с получением плоской заготовки. Размеры поперечного сечения заготовки составляют 12×2 мм, длина заготовки ограничена только объемом засыпки шихты в пресс-форму для мундштучного прессования. В процессе выдавливания шихты через матрицу нитевидные кристаллы карбида кремния ориентируются в направления действующей силы. Парафин является пластификатором в операции мундштучного прессования, облегчает выдавливание шихты и ориентацию нитевидных кристаллов карбида в направлении выдавливания.

Полученную плоскую заготовку разрезают на 6 элементов 1 по форме изделия с разнонаправленной ориентацией нитевидных армирующих кристаллов 2, которые послойно собирают в брикет 3 так, чтобы в соседних элементах ориентация нитевидных армирующих кристаллов составляла угол α=90° (фиг. 1). Высота брикета составляет 12 мм. Собранный брикет компактируют в пресс-форме при комнатной температуре и незначительном давлении (-10 МПа) для получения требуемой плотности.

Далее полученные брикеты помещают в печь в засыпке порошка оксида алюминия и нагревают для отгонки связующего. Нагрев осуществляют до температуры 100°C со скоростью, не превышающей 5 град/мин. При более высоких параметрах отгонка связующего сопровождается дезориентацией нитевидных армирующих кристаллов в брикете и его короблением.

После отгонки связующего, брикеты устанавливают в многоместную графитовую пресс-форму и прессуют в изделия методом горячего прессования при температуре 1500-1700°C и давлении 500-600 МПа. Спекание изделия осуществляется в процессе прессования. Время выдержки под давлением составляет 15-20 мин. Анализ изделия показал, что нитевидные армирующие кристаллы в процессе прессования брикета в 70% от общего количества «клюнули» в вертикальной плоскости на угол до 40°. При этом плотность изделия составила 98,5-99,5%, коэффициент трещиностойкости полученных изделий составил 8-9 МПа/м0,5, а вязкость разрушения на 20-30% превысила вязкость разрушения керамики с хаотичным расположением нитевидных кристаллов карбида кремния (данные получены в лаборатории на традиционном оборудовании).

Таким образом, заявленная совокупность существенных признаков, изложенная в формуле изобретения, позволяет обеспечить возможность изготовления композитных керамических материалов, направленно армированных нитевидными армирующими кристаллами, а также, благодаря описанным взаимосвязанным действиям при изготовлении режущих керамических пластин, обеспечить существенное повышение трещиностойкости (на 20-30%) пластин из инструментальной керамики, что в итоге повышает надежность их эксплуатации.

Полученные данные показывают, что заявленный способ с использованием исходной шихты в составе порошка оксида алюминия, нитевидных кристаллов карбида кремния и парафина в следующем соотношении компонентов, вес. %: оксид алюминия 55-65, нитевидные кристаллы карбида кремния 25-35, парафин 8-12 оптимален, с учетом проявляемых изделием физико-механических свойств, для инструментального производства.

Анализ заявленного изобретения на соответствие условиям патентоспособности показал, что указанные в независимом пункте формулы признаки являются существенными и взаимосвязаны между собой с образованием устойчивой совокупности неизвестной на дату приоритета из уровня техники необходимых признаков, достаточной для получения требуемого технического результата - обеспечение изготовления композитных керамических материалов с повышенной трещиностойкостью.

Таким образом, вышеизложенные сведения свидетельствуют о выполнении при использовании заявленного технического решения следующей совокупности условий:

- объект, воплощающий заявленное техническое решение, при его осуществлении предназначен для изготовления композитных изделий, предпочтительно режущих керамических пластин, и может быть использован в инструментальной промышленности в технологических процессах изготовления металлорежущего инструмента.

- для заявленного объекта в том виде, как он охарактеризован в независимом пункте нижеизложенной формулы, подтверждена возможность его осуществления с помощью вышеописанных в материалах заявки известных из уровня техники на дату приоритета средств и методов;

- объект, воплощающий заявленное техническое решение, при его осуществлении способен обеспечить достижение усматриваемого заявителем технического результата.

Следовательно, заявленный объект соответствует требованиям (условиям) патентоспособности «новизна», «изобретательский уровень» и «промышленная применимость» по действующему законодательству.

Способ изготовления композитных керамических изделий, включающий подготовку исходной шихты, содержащей порошковую матрицу, нитевидные армирующие кристаллы карбида кремния и вязкое связующее, формование экструзией из исходной шихты плоской заготовки с ориентацией в ней нитевидных армирующих кристаллов в направлении экструзии, вырезание из заготовки n ≥2 элементов по форме изделия, которые послойно, с разнонаправленной в соседних слоях ориентацией нитевидных армирующих кристаллов, собирают в брикет, отгонку связующего и горячее прессование изделия, отличающийся тем, что в исходной шихте в качестве порошковой матрицы и связующего используют, соответственно, оксид алюминия и парафин в следующем соотношении компонентов, вес.%: оксид алюминия 55-65, парафин 8-12, нитевидные кристаллы карбида кремния 25-35, парафин отгоняют из брикета нагреванием в печи до температуры 100°C со скоростью, не превышающей 5 град/мин, а горячее прессование осуществляют при температуре 1500-1700°C и давлении 500-600 МПа.
СПОСОБ ИЗГОТОВЛЕНИЯ КОМПОЗИТНЫХ КЕРАМИЧЕСКИХ ИЗДЕЛИЙ
Источник поступления информации: Роспатент

Показаны записи 101-110 из 111.
29.12.2017
№217.015.f4f1

Технологическая линия для изготовления композитной арматуры

Изобретение относится к области машиностроения, в частности к технологическим линиям для непрерывного изготовления арматурных элементов из полимерных композиционных материалов для армирования обычных и предварительно напряженных строительных конструкций. Технологическая линия для изготовления...
Тип: Изобретение
Номер охранного документа: 0002637226
Дата охранного документа: 01.12.2017
29.12.2017
№217.015.f8af

Способ управления трением в парах трения

Изобретение относится к управлению трением в парах трения и может найти широкое применение в различных отраслях, таких как станкостроение, транспортное машиностроение, приборостроение и других. Способ регулирования трения в элементах пары трения включает предварительное нанесение на элементы...
Тип: Изобретение
Номер охранного документа: 0002639745
Дата охранного документа: 22.12.2017
29.12.2017
№217.015.fd17

Способ вырезной электроэрозионной обработки изделия

Изобретение относится к электрофизическим и электрохимическим методам обработки, в частности к электроэрозионной обработке на автоматизированных вырезных станках с ЧПУ. Способ включает подачу рабочего напряжения на проволочный электрод-инструмент и обрабатываемое изделие, прокачку рабочей...
Тип: Изобретение
Номер охранного документа: 0002638607
Дата охранного документа: 14.12.2017
19.01.2018
№218.015.ff35

Способ выбора инструментального материала

Способ выбора инструментального материала заключается в поочередном силовом воздействии индентора из предназначенного для обработки материала на поверхность образцов инструментальных материалов при их взаимном перемещении. При этом силу воздействия монотонно увеличивают до момента появления на...
Тип: Изобретение
Номер охранного документа: 0002629577
Дата охранного документа: 30.08.2017
19.01.2018
№218.015.ff3b

Способ электроэрозионной обработки детали из токопроводящей керамики на автоматизированных вырезных станках с чпу

Изобретение относится к электрофизическим и электрохимическим методам обработки. Способ включает электроэрозионную обработку заготовки детали проволочным электродом-инструментом, при которой контролируют вибрации на приспособлении для крепления заготовки, причем из сигнала вибраций выделяют...
Тип: Изобретение
Номер охранного документа: 0002629578
Дата охранного документа: 30.08.2017
19.01.2018
№218.016.0004

Способ управления электроэрозионной обработкой детали на автоматизированном вырезном станке с системой чпу

Изобретение относится к электроэрозионной обработке на автоматизированном вырезном станке с системой ЧПУ. В способе контролируют механические вибрации на приспособлении для крепления заготовки при ее обработке проволочным электродом-инструментом, причем из сигнала вибрации выделяют эффективные...
Тип: Изобретение
Номер охранного документа: 0002629575
Дата охранного документа: 30.08.2017
20.01.2018
№218.016.1597

Устройство для защиты косинусного конденсатора погружного электродвигателя с повышенным коэффициентом мощности от внешнего внутрипластового давления

Изобретение относится к электротехнике и может быть использовано в нефтедобывающей промышленности при создании погружных электродвигателей с повышенным коэффициентом мощности, имеющих в конструкции косинусный конденсатор, который подвергается давлению, передаваемому от скважинной жидкости....
Тип: Изобретение
Номер охранного документа: 0002634923
Дата охранного документа: 08.11.2017
08.03.2019
№219.016.d573

Бесшаботный молот

Изобретение относится к обработке металлов давлением и может быть использовано в кузнечных цехах. Бесшаботный молот содержит вертикальную станину, в которой подвижно установлены верхняя и нижняя бабы. В верхней рабочей зоне станины расположена система средств пневмосвязи с каналами и...
Тип: Изобретение
Номер охранного документа: 0002438824
Дата охранного документа: 10.01.2012
19.04.2019
№219.017.33be

Смазочно-охлаждающая жидкость для механической обработки металлов

Использование: в области механической обработки металлов резанием, шлифованием и давлением конструкционных сталей, а также очистки цеховых, складских помещений и мытья рук цеховых рабочих, обслуживающего персонала. Сущность: жидкость содержит в мас.%: гидроокись натрия 4,14-4,16, гидроокись...
Тип: Изобретение
Номер охранного документа: 0002440407
Дата охранного документа: 20.01.2012
13.06.2019
№219.017.826f

Способ формирования переменного ключа для блочного шифрования и передачи шифрованных данных

Изобретение относится к вычислительной технике, а именно к криптографической защите данных в компьютерных сетях. Техническим результатом является повышение криптографической стойкости системы передачи данных. Технический результат достигается тем, что в приемнике и передатчике вводят одинаковые...
Тип: Изобретение
Номер охранного документа: 0002459367
Дата охранного документа: 20.08.2012
Показаны записи 101-110 из 139.
29.12.2017
№217.015.f8af

Способ управления трением в парах трения

Изобретение относится к управлению трением в парах трения и может найти широкое применение в различных отраслях, таких как станкостроение, транспортное машиностроение, приборостроение и других. Способ регулирования трения в элементах пары трения включает предварительное нанесение на элементы...
Тип: Изобретение
Номер охранного документа: 0002639745
Дата охранного документа: 22.12.2017
29.12.2017
№217.015.fd17

Способ вырезной электроэрозионной обработки изделия

Изобретение относится к электрофизическим и электрохимическим методам обработки, в частности к электроэрозионной обработке на автоматизированных вырезных станках с ЧПУ. Способ включает подачу рабочего напряжения на проволочный электрод-инструмент и обрабатываемое изделие, прокачку рабочей...
Тип: Изобретение
Номер охранного документа: 0002638607
Дата охранного документа: 14.12.2017
19.01.2018
№218.015.ff35

Способ выбора инструментального материала

Способ выбора инструментального материала заключается в поочередном силовом воздействии индентора из предназначенного для обработки материала на поверхность образцов инструментальных материалов при их взаимном перемещении. При этом силу воздействия монотонно увеличивают до момента появления на...
Тип: Изобретение
Номер охранного документа: 0002629577
Дата охранного документа: 30.08.2017
19.01.2018
№218.015.ff3b

Способ электроэрозионной обработки детали из токопроводящей керамики на автоматизированных вырезных станках с чпу

Изобретение относится к электрофизическим и электрохимическим методам обработки. Способ включает электроэрозионную обработку заготовки детали проволочным электродом-инструментом, при которой контролируют вибрации на приспособлении для крепления заготовки, причем из сигнала вибраций выделяют...
Тип: Изобретение
Номер охранного документа: 0002629578
Дата охранного документа: 30.08.2017
19.01.2018
№218.016.0004

Способ управления электроэрозионной обработкой детали на автоматизированном вырезном станке с системой чпу

Изобретение относится к электроэрозионной обработке на автоматизированном вырезном станке с системой ЧПУ. В способе контролируют механические вибрации на приспособлении для крепления заготовки при ее обработке проволочным электродом-инструментом, причем из сигнала вибрации выделяют эффективные...
Тип: Изобретение
Номер охранного документа: 0002629575
Дата охранного документа: 30.08.2017
20.01.2018
№218.016.1597

Устройство для защиты косинусного конденсатора погружного электродвигателя с повышенным коэффициентом мощности от внешнего внутрипластового давления

Изобретение относится к электротехнике и может быть использовано в нефтедобывающей промышленности при создании погружных электродвигателей с повышенным коэффициентом мощности, имеющих в конструкции косинусный конденсатор, который подвергается давлению, передаваемому от скважинной жидкости....
Тип: Изобретение
Номер охранного документа: 0002634923
Дата охранного документа: 08.11.2017
10.05.2018
№218.016.441f

Устройство для синтеза и осаждения металлических покрытий на токопроводящих изделиях

Изобретение относится к машиностроению, в частности к устройствам для синтеза и осаждения металлических покрытий на токопроводящих изделиях в вакуумной камере. Устройство для синтеза и осаждения металлических покрытий на токопроводящих изделиях содержит рабочую камеру с каналом вакуумной...
Тип: Изобретение
Номер охранного документа: 0002649904
Дата охранного документа: 05.04.2018
09.06.2018
№218.016.5e1b

Устройство для осаждения покрытий

Изобретение относится к машиностроению, в частности к устройствам для осаждения износостойких покрытий на изделиях в вакуумной камере. Устройство для осаждения покрытий на изделиях 3 содержит рабочую вакуумную камеру 1, мишени 4-7 планарных магнетронов на стенках камеры, источники питания 8-11...
Тип: Изобретение
Номер охранного документа: 0002656480
Дата охранного документа: 05.06.2018
20.06.2018
№218.016.63e4

Устройство для синтеза покрытий

Изобретение относится к устройству для синтеза покрытий на изделиях. Устройство содержит рабочую вакуумную камеру, размещенный на дне камеры тигель со слитком испаряемого металла внутри него, держатель подложки, источник напряжения смещения и источник питания разряда. Источник напряжения...
Тип: Изобретение
Номер охранного документа: 0002657896
Дата охранного документа: 18.06.2018
25.06.2018
№218.016.657e

Устройство для синтеза покрытий на диэлектрических изделиях

Изобретение относится к устройству для синтеза покрытий на диэлектрических изделиях. Устройство содержит рабочую камеру, устройство планетарного вращения изделий, установленное внутри камеры с образованием зоны вращения изделий, мишени планарных магнетронов на стенках камеры, источники их...
Тип: Изобретение
Номер охранного документа: 0002658623
Дата охранного документа: 22.06.2018
+ добавить свой РИД