×
10.04.2015
216.013.3c96

СПОСОБ СРАВНИТЕЛЬНЫХ ИСПЫТАНИЙ ПО НАДЕЖНОСТИ ПАРТИЙ ИНТЕГРАЛЬНЫХ СХЕМ

Вид РИД

Изобретение

Юридическая информация Свернуть Развернуть
Краткое описание РИД Свернуть Развернуть
Аннотация: Изобретение относится к микроэлектронике, а именно к способам обеспечения качества и надежности полупроводниковых интегральных схем (ИС). Сущность: из партий ИС методом случайной выборки отбирают одинаковое количество изделий (не менее 10 от каждой партии) и измеряют значение информативного параметра. Затем на каждую ИС всех выборок подают пять ЭСР одной и пять ЭСР другой полярности потенциалом, максимально допустимым по ТУ. Воздействию ЭСР должны подвергаться следующие выводы ИС: питание - общая точка, вход - питание, выход - питание, вход - выход. Затем измеряют значение информативного параметра. Далее все ИС хранят в нормальных условиях в течение 72 часов. Измеряют значение информативного параметра. Проводят термический отжиг всех ИС при температуре Т=100°С. Измеряют значение информативного параметра. Далее находят значения величин Δ, Δ, Δ для каждой ИС. По значениям Δ, Δ, Δ судят о сравнительной надежности партий ИС. 2 табл.
Основные результаты: Способ сравнительных испытаний на надежность партий интегральных схем, в соответствии с которым на произвольных одинаковых выборках из партий, составляющих не менее 10 интегральных схем, проводят измерение среднеквадратичного значения напряжения низкочастотного шума до и после воздействия пятью электростатическими разрядами (ЭСР) обеих полярностей потенциалом, предельно допустимым по ТУ, на выводы «питание - общая точка», «вход - питание», «выход - питание», после хранения в нормальных условиях в течение 72 часов и после температурного отжига в течение 2 часов при температуре 100°С, отличающийся тем, что после измерений для каждой ИС находят значения величин Δ=Х-Х, Δ=Х-Х, Δ=Х-Х, где Х - среднеквадратичное значение напряжения низкочастотного шума до воздействия ЭСР, Х - среднеквадратичное значение напряжения низкочастотного шума после воздействия ЭСР, Х - среднеквадратичное значение напряжения низкочастотного шума после хранения в течение 72 часов, Х - среднеквадратичное значение напряжения низкочастотного шума после термического отжига при температуре Т=100°С, по соотношению общего количества отрицательных значений Δ, Δ, Δ для выборок судят о сравнительной надежности партий ИС.
Реферат Свернуть Развернуть

Изобретение относится к микроэлектронике, а именно к способам обеспечения качества и надежности полупроводниковых интегральных схем (ИС), и может быть использовано для сравнительной оценки надежности партий ИС как в процессе производства, так и при входном контроле на предприятии-изготовителе радиоэлектронной аппаратуры.

Известен способ сравнительной оценки надежности партий полупроводниковых изделий (ППИ) [1], в соответствии с которым на ППИ осуществляется механическое воздействие и воздействие ЭСР при значениях, максимально допустимых по ТУ, а сравнение партий ППИ по надежности осуществляют, сравнивая минимальные, средние и максимальные значения информативного параметра до и после испытаний.

За основу взят способ сравнительной оценки надежности партий ИС [2], в соответствии с которым на произвольных выборках ИС из партий проводят измерение значений динамических параметров до и после воздействия различных по полярности напряжения пяти электростатических разрядов (ЭСР), предельно допустимых по техническим условиям (ТУ), и температурного отжига при допустимой максимальной температуре кристалла, а ЭСР подают на каждую из пар выводов ИС: вход - общая точка, выход - общая точка, питание - общая точка, вход-выход, количество циклов воздействия ЭСР и температурного отжига составляет не менее трех, по количеству отказавших ИС делают вывод о сравнительной надежности партий ИС.

Недостаток способа - трудоемкость испытаний. Изобретение направлено на устранение данного недостатка.

Предложенный способ сравнительных испытаний на надежность партий ИС основывается на измерении информативного параметра Х в исходном состоянии, после воздействия на ИС пяти импульсов ЭСР обеих полярностей потенциалом, предельно допустимым по ТУ, после хранения в течение 72 часов при нормальных условиях (атмосферном давлении, температуре Т=22±5°С), после термического отжига при температуре Тотж=100°С в течение 2 часов и сравнении трех величин: Δ1начЭСР, Δ2=XЭСР-Xxp, Δ3хротж, где Хнач - значение информативного параметра в начале измерений (в исходном состоянии), ХЭСР - значение информативного параметра после воздействия ЭСР, Ххр - значение информативного параметра после хранения в течение 72 часов, Хотж - значение информативного параметра после термического отжига при температуре Т=100°С.

Способ осуществляется следующим образом: от партий ИС (количество партий неограниченно, ИС должны быть однотипными) методом случайной выборки отбирают одинаковое количество изделий (не менее 10 от каждой партии) и измеряют значение информативного параметра. Затем на каждую ИС всех выборок подают пять ЭСР одной и пять ЭСР другой полярности потенциалом, максимально допустимым по ТУ. Воздействию ЭСР должны подвергаться следующие выводы ИС: питание - общая точка, вход - питание, выход - питание, вход-выход. Затем измеряют значение информативного параметра. Далее все ИС хранят в нормальных условиях в течение 72 часов. Измеряют значение информативного параметра. Проводят термический отжиг всех ИС при температуре Т=100°С. Измеряют значение информативного параметра. Далее для каждой ИС находят значения величин Δ1, Δ2, Δ3. По значениям Δ1, Δ2, Δ3 судят о сравнительной надежности партий ИС.

Способ был опробован на выборках из двух партий ИС типа К155ЛЕ1 (четыре логических элемента 2ИЛИ-НЕ, выполненные по ТТЛ технологии с окисной изоляцией карманов). Из каждой партии ИС методом случайной выборки было отобрано по 10 ИС. В качестве информативного параметра было выбрано среднеквадратичное значение напряжения низкочастотного шума (НЧШ) . На каждой ИС было измерено значение шумового напряжения по выводам питание - общая точка (выводы 14-7). Измерение НЧШ проводилось при токе 7,5 мА, с полосой частот 200 Гц, при центральной частоте 1000 Гц. Затем ИС подвергались воздействию ЭСР потенциалом 200 В. Воздействие проводилось следующим образом. ЭСР подавался на следующие выводы ИС: питание - общая точка (выводы 14-7), вход - питание (выводы 2-14), выход - питание (выводы 1-14), вход-выход (выводы 1-2). Сначала подавалось пять ЭСР одной полярности, затем пять ЭСР другой полярности. После этого замеряли среднеквадратичное значение напряжения НЧШ после ЭСР . Далее ИС хранились в нормальных условиях в течение 72 часов. Замеряли среднеквадратичное значение напряжения НЧШ после хранения . Провели термический отжиг всех ИС при температуре Т=100°С. Замеряли среднеквадратичное значение напряжения НЧШ после ЭСР . Далее Для каждой ИС нашли значения величин , , . Результаты измерения величин среднеквадратичного значения напряжения НЧШ, а также значения величин Δ1, Δ2, Δ3 представлены в таблице 1 (для выборки из партии 1) и в таблице 2 (для выборки из партии 2).

Таблица 1
Результаты испытания выборки из партии 1
, мкВ2 , мкВ2 , мкВ2 , мкВ2
№ ИС Δ1 Δ2 Δ3
1 14,48 14,61 14,46 14,48 -0,13 0,15 -0,02
2 14,19 14,30 14,29 14,26 -0,11 0,01 0,03
3 14,81 14,9 14,88 14,86 -0,09 0,02 0,02
4 14,68 14,76 14,79 14,79 -0,08 -0,03 0
5 14,4 14,65 14,41 14,34 -0,25 0,24 0,07
6 14,68 14,76 14,7 14,72 -0,08 0,06 -0,02
7 14,27 14,34 14,34 14,39 -0,07 0 -0,05
8 14,43 14,69 14,38 14,47 -0,26 0,31 -0,09
9 14,52 14,60 14,58 14,56 -0,08 0,02 0,02
10 14,48 14,64 14,64 14,66 -0,16 0 -0,02

Таблица 2
Результаты испытаний выборки из партии 2
, мкВ2 , мкВ2 , мкВ2 , мкВ2
№ ИС Δ1 Δ2 Δ3
1 14,23 14,48 14,32 14,33 -0,25 0,16 -0,01
2 14,28 15,07 14,99 14,45 -0,79 0,08 -0,54
3 14,15 14,29 14,30 14,26 -0,14 -0,01 0,04
4 14,11 14,48 14,48 14,22 -0,37 0 0,26
5 14,18 14,31 14,22 14,24 -0,13 0,09 -0,02
6 14,22 14,37 14,30 14,29 -0,15 0,07 0,01
7 14,4 14,65 14,66 14,59 -0,25 -0,01 0,07
8 14,29 14,32 14,30 14,29 -0,03 0,02 0,01
9 14,46 14,59 14,46 14,40 -0,13 0,13 0,06
10 14,21 14,35 14,34 14,36 -0,14 0,01 -0,02

Из таблиц видно, что для каждой ИС величины Δ1, Δ2, Δ3 могут иметь как отрицательные, так и положительные значения, причем Δ1 всегда отрицательна. Величины Δ2, Δ3 могут быть как положительны, так и отрицательны. В первой выборке общее число отрицательных значений величин Δ2 и Δ3 девять (ноль считаем за отрицательное значение). Во второй выборке общее число отрицательных значений величин Δ2 и Δ3 семь. Таким образом, общее число отрицательных значений величин Δ1, Δ2, Δ3 в первой выборке больше, чем во второй. На основании этого делаем вывод, что вторая партия более надежна, чем первая.

Источники информации

1. Патент РФ №2381514, G01R 31/26, опубл. 10.02.2010.

2. Патент РФ №2386975, G01R 31/26, опубл. 20.04.2010.

Способ сравнительных испытаний на надежность партий интегральных схем, в соответствии с которым на произвольных одинаковых выборках из партий, составляющих не менее 10 интегральных схем, проводят измерение среднеквадратичного значения напряжения низкочастотного шума до и после воздействия пятью электростатическими разрядами (ЭСР) обеих полярностей потенциалом, предельно допустимым по ТУ, на выводы «питание - общая точка», «вход - питание», «выход - питание», после хранения в нормальных условиях в течение 72 часов и после температурного отжига в течение 2 часов при температуре 100°С, отличающийся тем, что после измерений для каждой ИС находят значения величин Δ=Х-Х, Δ=Х-Х, Δ=Х-Х, где Х - среднеквадратичное значение напряжения низкочастотного шума до воздействия ЭСР, Х - среднеквадратичное значение напряжения низкочастотного шума после воздействия ЭСР, Х - среднеквадратичное значение напряжения низкочастотного шума после хранения в течение 72 часов, Х - среднеквадратичное значение напряжения низкочастотного шума после термического отжига при температуре Т=100°С, по соотношению общего количества отрицательных значений Δ, Δ, Δ для выборок судят о сравнительной надежности партий ИС.
Источник поступления информации: Роспатент

Показаны записи 41-50 из 256.
27.09.2014
№216.012.f95c

Устройство трехмерного сканирования электромагнитных излучений в ближнем поле электронных средств

Изобретение относится к измерительной технике, представляет собой устройство трехмерного сканирования электромагнитных излучений в ближнем поле электронных средств и может быть использовано для измерения напряженности электромагнитного поля при проведении испытаний, диагностики и тестирования...
Тип: Изобретение
Номер охранного документа: 0002529673
Дата охранного документа: 27.09.2014
27.09.2014
№216.012.f95e

Способ разделения интегральных схем "по надежности"

Изобретение относится к контролю качества и надежности интегральных схем (ИС), как логических, так и аналоговых, и может быть использовано как в процессе производства, так и при входном контроле на предприятиях-изготовителях радиоэлектронной аппаратуры. Сущность: на представительной выборке ИС...
Тип: Изобретение
Номер охранного документа: 0002529675
Дата охранного документа: 27.09.2014
10.10.2014
№216.012.fbd5

Способ тепловизионной диагностики радиоэлектронных элементов на печатной плате

Изобретение относится к области диагностики неисправностей радиоэлектронной аппаратуры. Техническим результатом является повышение эффективности диагностики радиоэлектронной аппаратуры или его отдельных элементов неконтактным способом. Способ заключается в получении тепловизионного изображения...
Тип: Изобретение
Номер охранного документа: 0002530315
Дата охранного документа: 10.10.2014
10.10.2014
№216.012.fbda

Способ формирования "виртуальных" каналов приема сигналов

Изобретение относится к области радиотехники и может использоваться при проектировании и эксплуатации комплексов радиопеленгации или систем радиосвязи портативного, мобильного (бортового) и стационарного базирования. Технический результат - повышение устойчивости функционирования методов оценки...
Тип: Изобретение
Номер охранного документа: 0002530320
Дата охранного документа: 10.10.2014
10.10.2014
№216.012.fbdf

Способ повышения надежности микроэвм

Изобретение относится к цифровой вычислительной технике и предназначено для решения задачи обнаружения случайных срывов процессора с заданной программы функционирования, что может быть вызвано действием случайных помех. Техническим результатом является определение случайных единичных искажений...
Тип: Изобретение
Номер охранного документа: 0002530325
Дата охранного документа: 10.10.2014
20.12.2014
№216.013.1261

Способ комбинированного разделения металлов

Изобретение относится к комбинированным методам разделения металлов. Способ включает струйную обработку с использованием свободного абразива и анодное растворение припуска, при этом в качестве абразива используют нетокопроводящие абразивные гранулы, на которые наращивают слой льда из...
Тип: Изобретение
Номер охранного документа: 0002536128
Дата охранного документа: 20.12.2014
27.12.2014
№216.013.162e

Способ дозирования энергии при импульсном брикетировании металлической стружки

Изобретение относится к испытательной технике, в частности к испытаниям, связанным с дозированием энергии при импульсном брикетировании металлической стружки. Сущность: объему пластически деформируемой стружки предварительно к моменту брикетирующего удара придают жесткое боковое ограничение,...
Тип: Изобретение
Номер охранного документа: 0002537102
Дата охранного документа: 27.12.2014
27.12.2014
№216.013.1630

Способ разделения интегральных схем по надежности

Изобретение относится к электротехнике, а именно к способам обеспечения качества и надежности интегральных схем (ИС) как логических, так и аналоговых. Сущность изобретения заключается в том, что на представительной выборке проводят измерение критического напряжения питания (КНП) до и после...
Тип: Изобретение
Номер охранного документа: 0002537104
Дата охранного документа: 27.12.2014
27.12.2014
№216.013.1631

Способ измерения деформаций

Изобретение относится к области экспериментальных методов исследования механических напряжений и деформаций в деталях машин и элементах конструкций и может быть использовано для определения пластических деформаций изделия в машиностроении, авиастроении и других отраслях промышленности. Способ...
Тип: Изобретение
Номер охранного документа: 0002537105
Дата охранного документа: 27.12.2014
10.01.2015
№216.013.1719

Способ определения свойств деформирования

Изобретение относится к обработке металлов давлением, в частности к определению технологических параметров процессов, и может быть использовано при определении механических свойств листовых материалов. Плоский образец круглой формы нагружают эластичным пуансоном в круглой жесткой матрице в...
Тип: Изобретение
Номер охранного документа: 0002537341
Дата охранного документа: 10.01.2015
Показаны записи 41-50 из 295.
27.05.2014
№216.012.c9cf

Генератор управляемый напряжением

Генератор, управляемый напряжением, относится к области радиотехники и может быть использован в качестве источника высокочастотных колебаний в радиопередающих, радиоприемных устройствах и измерительной технике. Достигаемый технический результат - повышение диапазона рабочих частот и...
Тип: Изобретение
Номер охранного документа: 0002517429
Дата охранного документа: 27.05.2014
27.05.2014
№216.012.ca23

Ротор сегментного ветроэлектроагрегата

Изобретение относится к области ветроэнергетики. Ротор сегментного ветроэлектрогенератора содержит ступицу, лопасти, обод и ферромагнитные тела, установленные на ободе. Ферромагнитные тела выполнены в виде отрезков труб прямоугольного профиля. Средняя часть отрезков имеет выборку трех сторон...
Тип: Изобретение
Номер охранного документа: 0002517513
Дата охранного документа: 27.05.2014
10.06.2014
№216.012.cbb9

Полупроводниковый фотопреобразователь

Изобретение относится к полупроводниковой технике, а именно к фотоэлектрическим преобразователям (ФП) для прямого преобразования солнечной энергии в электрическую энергию. Область применения - возобновляемые источники энергии. Согласно изобретению в полупроводниковом ФП, состоящем из...
Тип: Изобретение
Номер охранного документа: 0002517924
Дата охранного документа: 10.06.2014
10.06.2014
№216.012.cbd2

Камера жидкосного ракетного двигателя

Изобретение относится к области ракетной техники. Камера жидкостного ракетного двигателя содержит наружную и огневую оболочки с каналами охлаждения между ними, образованными двутавровыми проставками, на которых размещены турбулизаторы потока. Полки двутавровых проставок выполнены переменной...
Тип: Изобретение
Номер охранного документа: 0002517949
Дата охранного документа: 10.06.2014
10.07.2014
№216.012.da9c

Автомобильный генератор

Изобретение относится к области электротехники, в частности к электрическим машинам, а именно к бесконтактным синхронным генераторам индукторного типа, работающим преимущественно на выпрямительную нагрузку, применяемым в генераторных установках автотракторной техники. Технический результат,...
Тип: Изобретение
Номер охранного документа: 0002521742
Дата охранного документа: 10.07.2014
10.07.2014
№216.012.db43

Грейферная подача для перемещения деталей в прессе

Изобретение относится к грейферным транспортирующим устройствам многопозиционных процессов, преимущественно кривошипных горячештамповочных. Подача содержит неподвижное основание, грейферные захваты, механизм перемещения грейферных захватов вдоль позиций пресса, механизм их вертикального...
Тип: Изобретение
Номер охранного документа: 0002521909
Дата охранного документа: 10.07.2014
10.07.2014
№216.012.db48

Износостойкое наноструктурное покрытие

Изобретение относится к наноэлектронике и наноэлектромеханике и может быть использовано в различных областях современной наноиндустрии, микроэлектронике, альтернативной энергетике и т.д. Износостойкое наноструктурное покрытие выполнено из нанокомпозиционного металл-керамического материала,...
Тип: Изобретение
Номер охранного документа: 0002521914
Дата охранного документа: 10.07.2014
10.07.2014
№216.012.db62

Способ струйной электрохимической обработки

Изобретение относится к струйной электрохимической обработке деталей из металлических материалов. Способ включает электрохимическую обработку металлической детали при подаче струи жидкости с пористыми токопроводящими гранулами, которые предварительно насыщают газообразными продуктами...
Тип: Изобретение
Номер охранного документа: 0002521940
Дата охранного документа: 10.07.2014
10.07.2014
№216.012.db63

Способ магнитно-импульсной обработки деталей

Изобретение относится к машиностроению и может быть использовано при стабилизации геометрии деталей за счет выравнивания остаточных напряжений в их поверхностном слое, в том числе при сложной форме участка обработки. Способ включает обработку детали импульсами тока, осуществляемую индуктором с...
Тип: Изобретение
Номер охранного документа: 0002521941
Дата охранного документа: 10.07.2014
10.07.2014
№216.012.dbc5

Цифровой демодулятор сигналов с частотной модуляцией

Цифровой демодулятор сигналов с частотной модуляцией относится к области радиотехники и может быть использован в устройствах приема дискретной и аналоговой информации для цифровой демодуляции сигналов с частотной модуляцией или манипуляцией (ЧМ). Достигаемый технический результат - обеспечение...
Тип: Изобретение
Номер охранного документа: 0002522039
Дата охранного документа: 10.07.2014
+ добавить свой РИД