×
27.03.2013
216.012.3177

СПОСОБ ПРОВЕДЕНИЯ ГРАДУИРОВКИ МАСС-СПЕКТРОМЕТРА ДЛЯ КОЛИЧЕСТВЕННОГО АНАЛИЗА ГАЗОВЫХ СМЕСЕЙ

Вид РИД

Изобретение

Юридическая информация Свернуть Развернуть
Краткое описание РИД Свернуть Развернуть
Аннотация: Изобретение относится к методам физико-химического анализа и может быть использовано для масс-спектрометрического количественного определения состава газовых сред, содержащих изотопы водорода и гелия. Способ проведения градуировки масс-спектрометра для количественного анализа газовых смесей заключается в определении коэффициентов чувствительности для индивидуальных газов на основании регистрируемых интенсивностей пиков масс-спектров и давления газа в системе напуска масс-спектрометра. Определение коэффициентов чувствительности прибора для индивидуальных газов проводят после набора серии анализов индивидуальных газов и газовых смесей с различным содержанием компонентов. При этом коэффициенты чувствительности определяют путем решения методом наименьших квадратов системы линейных уравнений вида: где P - давление газа в системе напуска масс-спектрометра; - приведенная интенсивность ионного тока j - компонента в i - газовой смеси; n - число анализов; m - число коэффициентов чувствительности, n≥m. Техническим результатом изобретения является разработка способа, позволяющего проводить градуировку масс-спектрометра без приготовления эталонных газовых смесей. 2 табл.
Основные результаты: Способ проведения градуировки масс-спектрометра для количественного анализа газовых смесей, заключающийся в определении коэффициентов чувствительности для индивидуальных газов на основании регистрируемых интенсивностей пиков масс-спектра и давления газа в системе напуска масс-спектрометра, отличающийся тем, что определение коэффициентов чувствительности прибора для индивидуальных газов проводят по серии результатов анализов индивидуальных газов и газовых смесей с различным содержанием компонентов, а коэффициенты чувствительности (K) определяют путем решения методом наименьших квадратов системы линейных уравнений вида: где P - давление газа в системе напуска масс-спектрометра; - приведенная интенсивность ионного тока j - компонента в i - газовой смеси; n - число анализов; m - число коэффициентов чувствительности, n≥m.
Реферат Свернуть Развернуть

Изобретение относится к методам физико-химического анализа и может быть использовано в любых областях науки и техники, где требуется количественное определение состава газовых сред, содержащих изотопы водорода и гелия, масс-спектрометрическим методом.

При определении количественного состава газа масс-спектрометрическим методом неотъемлемой процедурой является градуировка (калибровка) прибора, цель которой заключается в определении зависимостей (коэффициентов чувствительности) регистрируемых интенсивностей пиков ионов от парциального давления газа в системе напуска масс-спектрометра. Величина коэффициентов чувствительности при ионизации газа электронным ударом определяется несколькими факторами, в частности разницей потенциалов ионизации, разницей масс атомов и молекул анализируемого газа, различием структурной формулы и др. [1-3]. Наибольшее отличие масс существует у изотопов водорода и гелия, что обусловливает разницу величин коэффициентов чувствительности для молекул, содержащих изотопы водорода и атомов гелия при масс-спектрометрическом анализе. С увеличением массы молекулы, содержащей изотопы водорода, различие величин коэффициентов чувствительности становится менее значительным.

Известны два основных способа проведения градуировки масс-спектрометра: первый - градуировка проводится по индивидуальным газам, а коэффициент чувствительности определяется путем отношения измеренного парциального давления индивидуального газа к регистрируемой интенсивности пика [2, 4] для всех определяемых газовых компонентов, после чего проводится их нормирование относительно одного выбранного компонента; второй - градуировка проводится по эталонным газовым смесям с известной концентрацией компонентов, при этом коэффициент относительной чувствительности (КОЧ) одного из компонентов принимают за единицу [5, 6].

Аналогом предлагаемого способа может служить способ градуировки масс-спектрометра по эталонным газовым смесям [5, 6]. В данном способе КОЧ индивидуального газа рассчитывают по результатам масс-спектрометрического анализа газовой смеси путем соотношения зарегистрированных интенсивностей пиков масс-спектра с концентрацией соответствующих компонентов данной газовой смеси по формуле

где Ij - зарегистрированная интенсивность j - компонента, Kj - определяемый КОЧ j - компонента, Zj - содержание j - компонента в калибровочной газовой смеси, n - число компонентов в калибровочной газовой смеси.

При расчете КОЧ по формуле (1) один из КОЧ должен быть известен или принят за 1.

Недостатком аналога при решении задач, связанных с количественным определением газовых смесей, содержащих изотопы водорода, является то, что для градуировки масс-спектрометра необходима газовая смесь с известным составом. Однако при наличии в газовой смеси трития или его молекулярных соединений вследствие радиолиза газа бета-частицами происходит неконтролируемый изотопный обмен [7], что, как следствие, ведет к изменению начального состава газовой смеси.

Прототипом предлагаемого способа может служить способ градуировки масс-спектрометра для количественного анализа газовых смесей, заключающийся в определении коэффициентов чувствительности для индивидуальных газов на основании регистрируемых интенсивностей пиков масс-спектра и давления газа в системе напуска масс-спектрометра [4] по формуле

где Kj - определяемый КОЧ j - компонента, Pj - давление j - компонента, Ij - зарегистрированная интенсивность j - компонента.

Недостатком прототипа является отсутствие практической возможности получения индивидуальных газов с однородным изотопным составом типа: HD, НТ, DT, СН3Т, СТ4, NT3 и других подобных соединений. Это, как следствие, делает невозможным проведение градуировки прибора для данных газов по способу-прототипу. Кроме того, при хранении вследствие радиоактивного распада атомов трития образуется изотоп гелия-3, который изменяет состав газовой пробы и будет влиять на результаты масс-спектрометрических анализов.

Сумма перечисленных факторов показывает сложность вопроса, связанного с градуировкой масс-спектрометра применительно к количественному анализу газовых смесей, содержащих изотопы водорода.

Таким образом, задачей изобретения является создание способа, позволяющего проводить градуировку масс-спектрометра по всем изотопным комплексам водорода (Н2, HD, D2, НТ, DT, T2) и изотопам гелия (3He, 4He).

Технический результат, получаемый при использовании изобретения, заключается в том, что проводят серию масс-спектрометрических анализов индивидуальных газов (Н2, D2, Т2, 3He, 4He) и газовых смесей (H2+HD+D2; Н2+НТ+Т2; D2+DT+T2) с различным, но не известным содержанием компонентов. По результатам проведенных анализов определяют коэффициенты чувствительности масс-спектрометра, вследствие чего отпадает необходимость проведения градуировки прибора как самостоятельной стадии анализа, в том числе и по газовым смесям, содержащим изотопные комплексы HD, НТ и DT.

Поставленная задача решается тем, что при осуществлении способа, включающего определение коэффициентов чувствительности для индивидуальных газов на основании регистрируемых интенсивностей пиков масс-спектра и давления газа в системе напуска масс-спектрометра, согласно изобретению определение коэффициентов чувствительности прибора для индивидуальных газов проводят по серии результатов анализов индивидуальных газов и газовых смесей с различным содержанием компонентов, а коэффициенты чувствительности определяют путем решения методом наименьших квадратов системы линейных уравнений вида:

где Pi - давление анализируемой газовой смеси в системе напуска масс-спектрометра; Kj - коэффициент чувствительности j - компонента газовой смеси; Yi,j - интенсивность ионного тока j - компонента в i - газовой смеси; n - число анализов; m - число определяемых коэффициентов чувствительности, n≥m.

На основании определенных коэффициентов чувствительности в дальнейшем при анализе газовых смесей изотопов водорода и гелия расчет концентраций компонентов газовой смеси (Сj) проводят по формуле:

где Р - давление исследуемой газовой смеси в системе напуска масс-спектрометра (Р=ΣPj);

Pj - парциальное давление индивидуального газа в анализируемой газовой смеси.

Способ осуществляется следующим образом. Согласно изобретению градуировку масс-спектрометра проводят по результатам выполненных анализов индивидуальных газов (Н2, D2, Т2, 3He, 4He) и газовых смесей (Н2+D2; Н22; D2+T2). Газовые смеси готовят с различным содержанием компонентов, перекрывая не менее трех диапазонов концентраций, например: 20, 50 и 80%. Для получения значимых концентраций изотопных комплексов (HD, HT, DT) в соответствующих газовых смесях (H2+D2; Н22; D2+T2) проводят процесс уравновешивания изотопного состава путем цикла гидрирования - дегидрирования на гидридобразующем материале, например интерметаллическом соединении ZrCrFex [8]. При проведении масс-спектрометрических анализов в соответствии с патентом РФ №2367939 одновременно регистрируют давление газа в системе напуска масс-спектрометра и интенсивности масс-спектра. Результаты масс-спектрометрических анализов (масс-спектрометр типа МХ-7304) заносят в табл.1, при этом значения интенсивностей пиков (Yj) делятся на значение давления газа (Р), что позволяет перейти от абсолютных значений давления к относительным значениям концентраций (Cj), то есть

Когда число строк табл.1 будет больше или равно числу столбцов, составляют матричное уравнение:

где - приведенное значение интенсивности масс-спектра.

Решают уравнение (7) относительно вектора коэффициентов чувствительности (К) по алгоритмам для разреженных матриц [9, 10]. Наиболее эффективно проводить вычисления на языках программирования MatLab R2009, Maple 13 или Lab-View 2009, имеющих встроенные библиотеки для решения подобных задач. Результаты градуировки по заявленному способу представлены в табл.2.

Таблица 1
Матрица последовательного накапливания данных
m/е=2 m/e=3 m/e=3 m/e=4 m/e=4 m/e=5 m/e=5 m/e=6 Yp
Н2 He-3 HD He-4 HT D2 DT T2 CΣ
0.14527 0 0 0 0 0 0 0 1
0.147 0 0 0 0 0 0 0 1
0.1469 0 0 0 0 0 0 0 1
0 0.1195 0 0 0 0 0 0 1
0 0 0 0 0 0 0.03 1.3693 1
0 0.1187 0 0 0 0 0 0 1
0 0 0 0.135 0 0 0 0 1
0 0 0 0.1381 0 0 0 0 1
0.005 0 0 0 0 0.99 0 0 1
0.07753 0 0 0 0.1626 0 0.01 0.23632 1
0.003 0 0 0 0 0.99 0 0 1
0.0087 0 0 0 0 0.96 0 0 1
0.103 0 0.0925 0 0 0.067 0 0 1
0.047 0 0.1774 0 0 0.2378 0 0 1
0.05 0 0.1489 0 0 0.2951 0 0 1
0.051 0 0.1409 0 0 0.2876 0 0 1
0.072 0 0 0 0 0.5262 0 0 1
0 0 0 0 0.01 0 0.03 1.3682 1
0.067 0 0 0 0 0.54945 0 0 1
0.0352 0 0.1749 0 0 0.3485 0 0 1
0.0661 0 0.097 0 0 0.33536 0 0 1
0.04 0 0.19153 0 0 0.2546 0 0 1
0.041 0 0.20036 0 0 0.2148 0 0 1
0 0 0 0 0 0.4695 0.366 0.30794 1
0 0 0 0,135 0 0 0 0 1
0.04859 0 0.15456 0 0 0.27541 0 0 1
0.09876 0 0.0652 0 0 0.15988 0 0 1
0 0 0 0 0 0.10398 0.01855 1.2089 1

Таблица 2
Коэффициенты чувствительности изотопов водорода и гелия
m/e=2 m/e=3 m/e=3 m/e=4 m/e=4 m/e=4 m/e=5 m/е=6
Н2 He-3 HD He-4 HT D2 DT Т2
6,83 8,4 2,5 7,35 1,8 0,98 0,87 0,717

Для доверительной вероятности Р=0.99 и числе степеней свободы (n-1)=27 (табл.1), коэффициент Стьюдента равен t=2.77, тогда доверительный интервал для коэффициентов чувствительности (Kj) изотопов водорода и гелия составит:

В дальнейшем данные табл.1 могут быть дополнены новыми результатами, что, как следствие, будет минимизировать относительную погрешность определения коэффициентов чувствительности.

Использование изобретения позволит повысить точность и достоверность получаемых результатов при анализе газовых смесей, содержащих изотопы водорода и гелия. Кроме того, снимается проблема приготовления градуировочных газовых смесей и их аттестация альтернативными (независимыми) методами анализа, что весьма актуально при анализе газовых смесей, содержащих атомы трития.

Литература

1. Сысоев А.А., Чупахин М.С. Введение в масс-спектрометрию. М.: Атомиздат, 1977.

2. Агафонов Л.И., Девятых Г.Г. Масс-спектрометрический анализ газов и паров особой чистоты. - М.: Наука, 1980.

3. Сидоров Л.Н., Коробов М.В., Журавлева Л.В. Масс-спектральные термодинамические исследования. Изд. Московского университета, 1985, с.28.

4. Абрамов И.А., Казаковский Н.Т. Способ проведения количественного масс-спектрометрического анализа газовых смесей. Патент РФ 2367939 С1, приоритет от 28.01.2008. G01N 27/64, опубл. 20.09.2009. БИ. №26. (Прототип).

5. Котлеров Д.В. Метрологические основы газоаналитических измерений. - М.: Изд-во Комитета стандартов, мер и измерительных приборов, 1967.

6. Капышев В.К., Милешкин Ю.А. и др. "Методика определения изотопного состава водорода и гелия в тритиевой технологической системе установки ТСП". Вопросы атомной науки и техники. Серия Термоядерный синтез, вып.4, стр.38-41, 1991.

7. Андреев Б.М., Магомедбеков Э.П., Розенкевич М.Б., Сахаровский Ю.А. Гетерогенные реакции изотопного обмена трития. М.: Эдиториал УРСС, 1999, с.27.

8. Ривкис Л.А., Капышев В.К., Осипов И.Е., Князев А.И. Сорбционный компрессор на основе интерметаллида ZrCrFex для обратимого хранения топлива. Аннотации докладов международного семинара "Потенциал российских ядерных центров и МНТЦ в тритиевых технологиях", Саров, 17-21 мая 1999, с.39.

9. Лоусон Ч., Хенсон Р. Численное решение задач метода наименьших квадратов. Пер. с англ. - М.: Наука, Гл. ред. физ.-мат.лит., 1986.

10. Джордж А., Лю Дж. Численное решение больших разреженных систем уравнений. Пер. с англ. - М.: Мир, 1984.

Способ проведения градуировки масс-спектрометра для количественного анализа газовых смесей, заключающийся в определении коэффициентов чувствительности для индивидуальных газов на основании регистрируемых интенсивностей пиков масс-спектра и давления газа в системе напуска масс-спектрометра, отличающийся тем, что определение коэффициентов чувствительности прибора для индивидуальных газов проводят по серии результатов анализов индивидуальных газов и газовых смесей с различным содержанием компонентов, а коэффициенты чувствительности (K) определяют путем решения методом наименьших квадратов системы линейных уравнений вида: где P - давление газа в системе напуска масс-спектрометра; - приведенная интенсивность ионного тока j - компонента в i - газовой смеси; n - число анализов; m - число коэффициентов чувствительности, n≥m.
СПОСОБ ПРОВЕДЕНИЯ ГРАДУИРОВКИ МАСС-СПЕКТРОМЕТРА ДЛЯ КОЛИЧЕСТВЕННОГО АНАЛИЗА ГАЗОВЫХ СМЕСЕЙ
СПОСОБ ПРОВЕДЕНИЯ ГРАДУИРОВКИ МАСС-СПЕКТРОМЕТРА ДЛЯ КОЛИЧЕСТВЕННОГО АНАЛИЗА ГАЗОВЫХ СМЕСЕЙ
СПОСОБ ПРОВЕДЕНИЯ ГРАДУИРОВКИ МАСС-СПЕКТРОМЕТРА ДЛЯ КОЛИЧЕСТВЕННОГО АНАЛИЗА ГАЗОВЫХ СМЕСЕЙ
Источник поступления информации: Роспатент

Показаны записи 1-10 из 57.
27.01.2013
№216.012.20c6

Устройство для определения температурного расширения материала образца

Изобретение относится к области теплофизики и может быть использовано при определении коэффициента термического расширения твердых тел. Заявлено устройство для определения термического расширения твердых тел, содержащее трубку из материала с низким коэффициентом термического расширения и...
Тип: Изобретение
Номер охранного документа: 0002473891
Дата охранного документа: 27.01.2013
10.04.2013
№216.012.33f9

Планетарный мотор-редуктор

Изобретение относится к машиностроению и приборостроению, в которых находят применение приводы, конструктивно объединяющие двигатели вращения и редукторы, в частности мотор-редукторы с планетарными зубчатыми передачами. Планетарный мотор-редуктор состоит из двигателя с ротором (1), который...
Тип: Изобретение
Номер охранного документа: 0002478848
Дата охранного документа: 10.04.2013
27.08.2013
№216.012.65ad

Способ введения соединения урана в матрицу

Изобретение относится к области атомной техники и может быть использовано при изготовления топливного материала для тепловыделяющих элементов (твэлов) исследовательских ядерных реакторов. Способ введения соединения урана в матрицу заключается в пропитке пористого графитового блока раствором...
Тип: Изобретение
Номер охранного документа: 0002491666
Дата охранного документа: 27.08.2013
27.10.2013
№216.012.7aac

Боевой элемент кассетного осколочного боеприпаса

Изобретение относится к боеприпасам, в частности к боевым элементам кассетных осколочных боеприпасов. Боевой элемент кассетного осколочного боеприпаса включает корпус, заряд взрывчатого вещества, систему инициирования и металлическую облицовку, предназначенную для формирования из нее...
Тип: Изобретение
Номер охранного документа: 0002497066
Дата охранного документа: 27.10.2013
10.02.2014
№216.012.9fba

Пиковый детектор

Изобретение относится к импульсной технике и может быть использовано в устройствах автоматики и силовой техники для детектирования, а также для определения канала с экстремальным напряжением и его полярности. Техническим результатом заявленного изобретения выступает расширение функциональных...
Тип: Изобретение
Номер охранного документа: 0002506598
Дата охранного документа: 10.02.2014
20.02.2014
№216.012.a348

Установка для определения упругих констант делящихся материалов при повышенных температурах

Использование: для определения упругих констант делящихся материалов при повышенных температурах. Сущность заключается в том, что установка для определения упругих констант делящихся материалов при повышенных температурах содержит звуководы, снабженные акустическими изоляторами, между концами...
Тип: Изобретение
Номер охранного документа: 0002507515
Дата охранного документа: 20.02.2014
10.04.2014
№216.012.b5fa

Способ получения раствора ферроцианида лития

Изобретение может быть использовано для получения растворов ферроцианида лития, который применяется в синтезе нормальных ферроцианидов переходных металлов (Cu, Ni, Co, Zn, Fe и др.) общей формулы Ме[Fe(CN)]. Способ получения раствора ферроцианида лития заключается в использовании сильнокислого...
Тип: Изобретение
Номер охранного документа: 0002512310
Дата охранного документа: 10.04.2014
10.05.2014
№216.012.c141

Устройство и способы:настройки магнитной системы формирования пучка протонов в объектной плоскости протонографического комплекса, согласования магнитной индукции магнитооптической системы формирования изображения и контроля настройки многокадровой системы регистрации протонных изображений

Изобретение относится к области регистрации изображений, сформированных с помощью пучка протонов, и может быть использовано при исследовании объектов с помощью радиографических методов. Устройство для настройки магнитооптической системы формирования пучка протонов состоит из импульсного...
Тип: Изобретение
Номер охранного документа: 0002515222
Дата охранного документа: 10.05.2014
10.05.2014
№216.012.c1c2

Установка для механических и теплофизических испытаний образца из токопроводящего материала при импульсном нагреве

Изобретение относится к механическим и теплофизическим испытаниям и может быть использовано в процессе испытаний токопроводящих материалов. Заявлена установка для механических и теплофизических испытаний образца из токопроводящего материала при импульсном нагреве, содержащая рабочую вакуумную...
Тип: Изобретение
Номер охранного документа: 0002515351
Дата охранного документа: 10.05.2014
27.05.2014
№216.012.cb39

Способ ограничения интенсивности лазерного излучения

Изобретение относится к оптической технике. В способе ограничения интенсивности лазерного излучения (ЛИ), включающем подачу потока лазерного излучения на вход устройства, ограничивающего мощность лазерного излучения, подачу потока ЛИ ведут путем последовательного пропускания потока ЛИ через...
Тип: Изобретение
Номер охранного документа: 0002517791
Дата охранного документа: 27.05.2014
Показаны записи 1-10 из 59.
27.01.2013
№216.012.20c6

Устройство для определения температурного расширения материала образца

Изобретение относится к области теплофизики и может быть использовано при определении коэффициента термического расширения твердых тел. Заявлено устройство для определения термического расширения твердых тел, содержащее трубку из материала с низким коэффициентом термического расширения и...
Тип: Изобретение
Номер охранного документа: 0002473891
Дата охранного документа: 27.01.2013
10.04.2013
№216.012.33f9

Планетарный мотор-редуктор

Изобретение относится к машиностроению и приборостроению, в которых находят применение приводы, конструктивно объединяющие двигатели вращения и редукторы, в частности мотор-редукторы с планетарными зубчатыми передачами. Планетарный мотор-редуктор состоит из двигателя с ротором (1), который...
Тип: Изобретение
Номер охранного документа: 0002478848
Дата охранного документа: 10.04.2013
27.08.2013
№216.012.65ad

Способ введения соединения урана в матрицу

Изобретение относится к области атомной техники и может быть использовано при изготовления топливного материала для тепловыделяющих элементов (твэлов) исследовательских ядерных реакторов. Способ введения соединения урана в матрицу заключается в пропитке пористого графитового блока раствором...
Тип: Изобретение
Номер охранного документа: 0002491666
Дата охранного документа: 27.08.2013
27.10.2013
№216.012.7aac

Боевой элемент кассетного осколочного боеприпаса

Изобретение относится к боеприпасам, в частности к боевым элементам кассетных осколочных боеприпасов. Боевой элемент кассетного осколочного боеприпаса включает корпус, заряд взрывчатого вещества, систему инициирования и металлическую облицовку, предназначенную для формирования из нее...
Тип: Изобретение
Номер охранного документа: 0002497066
Дата охранного документа: 27.10.2013
10.02.2014
№216.012.9fba

Пиковый детектор

Изобретение относится к импульсной технике и может быть использовано в устройствах автоматики и силовой техники для детектирования, а также для определения канала с экстремальным напряжением и его полярности. Техническим результатом заявленного изобретения выступает расширение функциональных...
Тип: Изобретение
Номер охранного документа: 0002506598
Дата охранного документа: 10.02.2014
20.02.2014
№216.012.a348

Установка для определения упругих констант делящихся материалов при повышенных температурах

Использование: для определения упругих констант делящихся материалов при повышенных температурах. Сущность заключается в том, что установка для определения упругих констант делящихся материалов при повышенных температурах содержит звуководы, снабженные акустическими изоляторами, между концами...
Тип: Изобретение
Номер охранного документа: 0002507515
Дата охранного документа: 20.02.2014
10.04.2014
№216.012.b5fa

Способ получения раствора ферроцианида лития

Изобретение может быть использовано для получения растворов ферроцианида лития, который применяется в синтезе нормальных ферроцианидов переходных металлов (Cu, Ni, Co, Zn, Fe и др.) общей формулы Ме[Fe(CN)]. Способ получения раствора ферроцианида лития заключается в использовании сильнокислого...
Тип: Изобретение
Номер охранного документа: 0002512310
Дата охранного документа: 10.04.2014
10.05.2014
№216.012.c141

Устройство и способы:настройки магнитной системы формирования пучка протонов в объектной плоскости протонографического комплекса, согласования магнитной индукции магнитооптической системы формирования изображения и контроля настройки многокадровой системы регистрации протонных изображений

Изобретение относится к области регистрации изображений, сформированных с помощью пучка протонов, и может быть использовано при исследовании объектов с помощью радиографических методов. Устройство для настройки магнитооптической системы формирования пучка протонов состоит из импульсного...
Тип: Изобретение
Номер охранного документа: 0002515222
Дата охранного документа: 10.05.2014
10.05.2014
№216.012.c1c2

Установка для механических и теплофизических испытаний образца из токопроводящего материала при импульсном нагреве

Изобретение относится к механическим и теплофизическим испытаниям и может быть использовано в процессе испытаний токопроводящих материалов. Заявлена установка для механических и теплофизических испытаний образца из токопроводящего материала при импульсном нагреве, содержащая рабочую вакуумную...
Тип: Изобретение
Номер охранного документа: 0002515351
Дата охранного документа: 10.05.2014
27.05.2014
№216.012.cb39

Способ ограничения интенсивности лазерного излучения

Изобретение относится к оптической технике. В способе ограничения интенсивности лазерного излучения (ЛИ), включающем подачу потока лазерного излучения на вход устройства, ограничивающего мощность лазерного излучения, подачу потока ЛИ ведут путем последовательного пропускания потока ЛИ через...
Тип: Изобретение
Номер охранного документа: 0002517791
Дата охранного документа: 27.05.2014
+ добавить свой РИД