×
25.06.2018
218.016.66c1

АВТОНОМНЫЙ ПОРТАТИВНЫЙ ТЕРМОЭЛЕКТРИЧЕСКИЙ ИСТОЧНИК ПИТАНИЯ

Вид РИД

Изобретение

Юридическая информация Свернуть Развернуть
Краткое описание РИД Свернуть Развернуть
Аннотация: Изобретение относится к термоэлектрическим источникам питания. Сущность изобретения: автономный портативный термоэлектрический источник питания включает термоэлектрическое устройство, преобразующее тепло в электричество, источник тепла, находящийся в тепловом контакте с нагреваемой стороной термоэлектрического устройства, теплообменник, находящийся в тепловом контакте с охлаждаемой стороной термоэлектрического устройства, накопитель электрической энергии. Источник тепла содержит тепловыделяющий элемент, состоящий из веществ, между которыми может происходить самораспространяющийся высокотемпературный синтез. В тепловом контакте с нагреваемой стороной термоэлектрического генератора находится теплопровод. Источник питания содержит также теплоизолятор, который направляет тепло от тепловыделяющего элемента в сторону теплопровода, а от теплопровода к термоэлектрическому устройству, и инициатор самораспространяющегося высокотемпературного синтеза в тепловыделяющем элементе. Технический результат: обеспечение работы в автономном режиме при малых размерах без использования внешнего источника для получения тепла, что дает возможность использовать источник в любых окружающих условиях. 6 з.п. ф-лы, 1 ил.
Реферат Свернуть Развернуть

Изобретение относится к автономным портативным термоэлектрическим источникам питания и может быть использовано для электрического питания портативных электрических и электронных устройств в условиях полного отсутствия стационарных и сетевых источников электричества и любых других источников энергии, таких как солнечный свет, ветер, прилив, тепловая энергия, тепло ядерных реакций.

Известно техническое решение, в котором предложено переносное электрическое зарядное устройство, включающее в себя источник тепла, термоэлектрический генератор, устройство, аккумулирующее электрическую энергию [1]. Данное устройство простое в использовании, и его удобно носить с собой. Однако данное техническое решение предполагает использование стационарного источника тепла, такие как горячая вода или открытый огонь, что ограничивает возможности его использования, данное устройство не является полностью автономным.

Известно техническое решение, в котором предложена конструкция портативного термоэлектрического зарядного устройства, содержащего термоэлектрический генератор, литий-ионный аккумулятор, модуль выхода электрической энергии и тепловую систему [2]. Недостаток данного технического решения состоит в том, что для его эксплуатации также необходим стационарный источник тепла, такой как нагретый трубопровод или нагретый котел, что ограничивает возможности его использования. Таким образом, данное устройство является автономным только частично.

Известно техническое решение по патенту, в котором предложены система и метод генерации электрической энергии, включающие термоэлектрический модуль генерации электроэнергии и контролируемый источник тепла [3]. Недостатком данного технического решения является то, что источник тепла, такой как камера сгорания газа, является стационарным. Таким образом, предложенная система не является автономным независимым устройством.

Известно техническое решение по патенту, в котором предложена конструкция термоэлектрического генератора с использованием телесного тепла, включающего термоэлектрический элемент, носимый на теле, одной стороной контактирующий с кожей и охлаждаемый воздухом с другой стороны через вентиляционные отверстия, в результате чего возникает градиент тепла и вырабатывается электрическая энергия [4]. Данное устройство является достаточно портативным и автономным, но имеет недостатки. Во-первых, градиент температуры, создаваемый человеческим телом, невысок, а следовательно, КПД такого устройства оказывается крайне низким. Во-вторых, не всегда удобно, что устройство оказывается постоянно привязанным к человеку, т.е. автономность устройства неполная.

Наиболее близким техническим решением является «Теплота сгорания, питающая электронный прибор», в котором предложен портативный термоэлектрический источник питания, использующий теплоту сгорания, включающий термоэлектрический генератор, преобразующий тепло в электричество, источник тепла, находящийся в тепловом контакте с нагреваемой стороной термоэлектрического генератора, рассеиватель тепла, находящийся в тепловом контакте с охлаждаемой стороной термоэлектрического генератора, накопитель электрической энергии [5]. Главные недостатки данного технического решения состоят в том, что 1) источник тепла, получаемого от процесса сгорания, является большим по размерам, т.е. является недостаточно портативным, и 2) для процесса горения требуется, по меньшей мере, кислородная атмосфера. Более того, во многих случаях он является стационарным. Эти недостатки ограничивают условия, в которых данное устройство может быть применено.

Задачами настоящего изобретения одновременно являются уменьшение размеров термоэлектрического источника питания, исключение внешнего источника реагента для получения тепла и тем самым повышение его автономности, что обеспечивает возможность его использования в любых окружающих условиях, включая условия, препятствующие обычному процессу горения, такие как вакуум или высокая влажность.

Для достижения этого предлагается конструкция автономного портативного термоэлектрического источника питания, включающая термоэлектрическое устройство, преобразующее тепло в электричество, источник тепла, находящийся в тепловом контакте с нагреваемой стороной термоэлектрического устройства, теплообменник, находящийся в тепловом контакте с охлаждаемой стороной термоэлектрического устройства, накопитель электрической энергии, в которой источник тепла содержит тепловыделяющий элемент, состоящий из веществ, между которыми может происходить самораспространяющийся высокотемпературный синтез, теплопровод, находящийся в тепловом контакте с нагреваемой стороной термоэлектрического устройства, теплоизолятор, который направляет тепло от тепловыделяющего элемента в сторону теплопровода, а от теплопровода к термоэлектрическому устройству, и инициатор самораспространяющегося высокотемпературного синтеза в тепловыделяющем элементе.

Таким образом, отличительными признаками изобретения является то, что источник тепла содержит тепловыделяющий элемент, состоящий из веществ, между которыми может происходить самораспространяющийся высокотемпературный синтез, теплопровод, находящийся в тепловом контакте с нагреваемой стороной термоэлектрического устройства, теплоизолятор, который направляет тепло от тепловыделяющего элемента в сторону теплопровода, а от теплопровода к термоэлектрическому устройству, и инициатор самораспространяющегося высокотемпературного синтеза в тепловыделяющем элементе.

Такая совокупность отличительных признаков позволяет решить поставленные задачи и устранить недостатки способа-прототипа, а именно, данная конструкция автономного портативного термоэлектрического источника питания для получения тепла не требует каких-либо внешних источников, не требует кислорода или какого-либо другого реагента, что дает возможность его использования в любых окружающих условиях, включая условия, препятствующие обычному процессу горения, такие как вакуум или высокая влажность, является компактной, портативной и полностью автономной системой. Особенность самораспространяющегося высокотемпературного синтеза состоит в том, что он может быть инициирован локально и далее распространяется с высокой скоростью, составляющей несколько метров в секунду. При этом выделяется большое количество тепла порядка 3000-5500 кал/см3, которое позволяет быстро и локально нагреть необходимый объем до температуры порядка 2000°С. Следует отметить, что в этом процессе не требуется внешнего источника кислорода, отсутствует газовыделение, источник тепла остается в твердом состоянии, поэтому данный процесс еще называется «твердое пламя». Это быстро выделевшееся тепло необходимо длительно сохранять, поэтому в состав источника тепла входит накопитель тепла.

Теплопровод состоит из материала с высокой теплоемкостью, который сохраняет и продолжительно отдает термоэлектрическому генератору большое количество тепла, быстро выделившегося в результате самораспространяющегося высокотемпературного синтеза в тепловыделяющем элементе. Таким образом, отличительным признаком изобретения является то, что теплопровод состоит из материала с высокой теплоемкостью.

Целесообразно, чтобы тепловыделяющий элемент состоял из порошковой смеси окисляющего реагента и восстанавливающего реагента и/или многослойной структуры чередующихся слоев окисляющего реагента и восстанавливающего реагента. Высокая дисперсность порошка обеспечивает развитую площадь поверхности соприкосновения материалов, что снимает кинетические ограничения и обеспечивает высокую скорость распространения высокотемпературного синтеза выделения тепла. Однако восстанавливающий реагент в высокодисперсном состоянии может частично окисляться, что оказывает влияние на процесс высокотемпературного синтеза, и, в частности, может заметно повышать температуру инициации этого процесса. В этой связи интерес представляют многослойной структуры чередующихся слоев окисляющего реагента и восстанавливающего реагента, в которых при сохранении большой площади поверхности соприкосновения границы разделов материалов защищены от доступа атмосферного кислорода и остаются чистыми. Такие структуры имеют более низкую температуру инициации самораспространяющегося высокотемпературного синтеза. Таким образом, отличительным признаком изобретения является то, что тепловыделяющий элемент состоит из порошковой смеси окисляющего реагента и восстанавливающего реагента и/или многослойной структуры чередующихся слоев окисляющего реагента и восстанавливающего реагента.

Известно, что материалы окисляющего реагента - Ni, Fe, Со, оксид никеля, нитрид никеля, оксид железа, нитрид железа, оксид кобальта, нитрид кобальта, оксид меди, нитрид меди, оксид йода - и материалы восстанавливающего реагента - Al, Mg, Ti, Si, Zr - обеспечивают качественный самораспространяющийся высокотемпературный синтез. Таким образом, отличительным признаком изобретения является то, что окисляющий реагент выбирается из группы веществ Ni, Fe, Со, оксид никеля, нитрид никеля, оксид железа, нитрид железа, оксид кобальта, нитрид кобальта, оксид меди, нитрид меди, оксид йода, а восстанавливающий реагент выбирается из группы веществ Al, Mg, Ti, Si, Zr.

Известно, что приборы из ряда: электрический аккумулятор, электрический конденсатор, суперконденсатор, комбинация электрического аккумулятора и конденсатора или суперконденсатора могут служить в качестве эффективных накопителей электрической энергии. При этом электрический конденсатор или суперконденсатор - это быстро заряжающееся устройство, которое способно выдавать высокую мгновенную мощность, но не способно длительно поддерживать одинаковую мощность, а электрический аккумулятор, наоборот, заряжается более длительное время и является устройством, которое способно длительно поддерживать одинаковую мощность, но имеет ограниченную мгновенную мощность. Таким образом, отличительным признаком изобретения является то, что накопитель электрической энергии представляет собой электрический аккумулятор, электрический конденсатор, суперконденсатор, или комбинацию электрического аккумулятора и суперконденсатора в зависимости от назначения устройства.

Целесообразно, чтобы инициатор самораспространяющегося высокотемпературного синтеза в тепловыделяющем элементе представлял собой пьезоэлектрический элемент, создающий искру, или лазер, поскольку энергии этих устройств достаточно для инициации процесса самораспространяющегося высокотемпературного синтеза. При этом пьезоэлектрический элемент является полностью автономным устройством, а лазерный луч позволяет инициировать синтез с расстояния. Таким образом, отличительным признаком изобретения является то, что инициатор самораспространяющегося высокотемпературного синтеза в тепловыделяющем элементе представляет собой пьезоэлектрический элемент, создающий искру, или лазер.

Теплоизолятор состоит из материала, обладающего низким коэффициентом теплопроводности, и/или содержит теплоотражающий экран в виде слоя из материала с высоким коэффициентом отражения в инфракрасной области спектра длин волн. Это позволяет не рассеивать и эффективно длительно сохранять полученную тепловую энергию, полученную в процессе кратковременного самораспространяющегося высокотемпературного синтеза, и направлять ее в сторону термоэлектрического генератора. Таким образом, отличительным признаком изобретения является то, что теплоизолятор состоит из материала, обладающего низким коэффициентом теплопроводности, и/или содержит теплоотражающий экран в виде слоя из материала с высоким коэффициентом отражения в инфракрасной области спектра длин волн.

На фиг. 1 приведен предлагаемый автономный портативный термоэлектрический источник питания, где: 1 - инициатор; 2 - теплоизолятор; 3 - тепловыделяющий элемент; 4 - теплопровод; 5 - термоэлектрический устройство; 6 - теплообменник; 7 - накопитель электрической энергии.

Термоэлектрическое устройство 5, имеющее охлаждаемую поверхность и нагреваемую поверхность, со стороны охлаждаемой поверхности находится в хорошем тепловом контакте с теплообменником 6, а со стороны нагреваемой поверхности - с теплопроводом 4. С другой своей стороны теплопровод 4 находится в тепловом контакте с тепловыделяющим элементом 3, в котором имеет место самораспространяющийся высокотемпературный синтез. Тепловыделяющий элемент 3 и теплопровод 4 со всех сторон, за исключением контактирующих, окружены теплоизолятором 2, включающим отражающий экран. Инициатор 1 служит для создания локального энергетического воздействия на тепловыделяющий элемент 3, например, в виде электрической искры или лазерного луча, инициируя тем самым процесс самораспространяющегося высокотемпературного синтеза. Термоэлектрическое устройство электрически соединено с накопителем электрической энергии 7.

Проведенные патентные исследования показали, что совокупность признаков предлагаемого изобретения является новой, что доказывает новизну автономного портативного термоэлектрического источника питания. Кроме того, патентные исследования показали, что в научно-технических источниках отсутствуют данные, оказывающие влияние отличительных признаков заявляемого изобретения на достижение технического результата, что подтверждает изобретательский уровень предлагаемого способа.

Настоящее изобретение позволяет устранить недостатки способа-прототипа, обеспечивая автономную работу термоэлектрического источника питания при малых размерах прибора, что повышает его портативность, исключая использование внешнего источника для получения тепла и тем самым гарантируя возможность его использования в любых окружающих условиях и в отсутствие любых других источников энергии.

Пример. Автономный портативный термоэлектрический источник питания представляет собой термоэлектрическое устройство, состоящее из многосекционных термоэлементов. Каждая ветвь многосекционного термоэлемента состоит из последовательно соединенных материалов Bi2Te2,8Se0,2, Bi2,0Te2,4Se0,6, PbTe0,997I0,003, Si0,8Ge0,2, Bi0,5Sb1,5Te3, Bi0,4Sb1,6Те3,0, Ge0,96Bi0,04Te, каждый из которых предназначен для работы в определенном диапазоне температур, что суммарно обеспечивает работу термоэлемента при перепаде температур до 900°С с выходными характеристиками - напряжение от 1 до 12 В, ток - 0,2-5А. С горячей стороны в хорошем тепловом контакте с термоэлектрическим устройством располагается теплопровод на основе ВеО, теплопроводность которого составляет 180 Вт/м*К, обеспечивающий передачу тепла свыше 2000°С. В хорошем тепловом контакте с теплопроводом сверху располагается тепловыделяющий элемент, представляющий собой комбинацию спрессованного порошка Ni-Al в виде таблетки толщиной 5 мм и диаметром 4 см и фольги толщиной 40 мкм, состоящей из последовательно чередующихся слоев Ni-Al с толщиной каждого слоя порядка 100 нм. Для длительного сохранения тепла данная система окружена теплоизолятором на основе волокон Al2O3, SiO2, Fe2O3, плотность которого составляет порядка 300-700 кг/м3. В качестве инициатора самораспространяющегося высокотемпературного синтеза выступает пьезоэлемент на основе кварца, выходное напряжение которого 15 кВ, максимальная мощность 0,5 Вт. С холодной стороны термоэлектрического устройства в хорошем тепловом контакте находится теплообменник в виде радиатора из А1 марки АМц-2, с теплопроводностью 188 Вт/м*К. В качестве накопителя электрической энергии выступает ионно-литиевая батарея емкостью 1800 мА⋅ч, напряжение 3,7 В.

Источники информации

1. Патент Китая 204559207, опубл. 12.08.2015 г.

2. Патент Китая 103825309, опубл. 28.05.2014 г.

3. Патент США 2013205780, опубл. 15.08.2013 г.

4. Патент Великобритания 2395027, опубл. 12.05.2004 г.

5. Патент США 6307142, опубл. 23.10.2001 г. – прототип.


АВТОНОМНЫЙ ПОРТАТИВНЫЙ ТЕРМОЭЛЕКТРИЧЕСКИЙ ИСТОЧНИК ПИТАНИЯ
АВТОНОМНЫЙ ПОРТАТИВНЫЙ ТЕРМОЭЛЕКТРИЧЕСКИЙ ИСТОЧНИК ПИТАНИЯ
Источник поступления информации: Роспатент

Showing 1-10 of 64 items.
20.10.2015
№216.013.8505

Способ и устройство детоксикации организма

Группа изобретений относится к медицинской технике, нефрологии, урологии, токсикологии и реаниматологии, системам заместительной терапии (ЗТ) и детоксикации и может быть использована в лечении больных с почечной недостаточностью, для замещения утраченной функции выведения метаболитов и...
Тип: Изобретение
Номер охранного документа: 0002565656
Дата охранного документа: 20.10.2015
20.01.2016
№216.013.9ff2

Способ изготовления электронных узлов на гибком носителе без процессов пайки и сварки

Изобретение относится к технологии производства многокристальных модулей, микросборок и модулей на основе печатных плат с внутренним монтажом компонентов. Технический результат - создание способа производства максимально компактных, надежных, быстродействующих и более экономичных в...
Тип: Изобретение
Номер охранного документа: 0002572588
Дата охранного документа: 20.01.2016
10.02.2016
№216.014.c2f7

Фотокатодный узел

Изобретение относится к фотокатодным узлам вакуумных высокочувствительных, термо- и радиационно-стойких приемников излучений и приемников изображений для спектрального диапазона 0,19-0,45 мкм. Технический результат - расширение спектральной области чувствительности к электромагнитному...
Тип: Изобретение
Номер охранного документа: 0002574214
Дата охранного документа: 10.02.2016
10.06.2016
№216.015.498f

Источник рентгеновского излучения

Изобретение относится к области рентгеновской техники. Источник рентгеновского излучения содержит автокатод, рабочей областью которого является кромка круглого отверстия в проводящем слое, а антикатод (анод) выполнен симметричным относительно оси отверстия автокатода в виде фигуры вращения и...
Тип: Изобретение
Номер охранного документа: 0002586621
Дата охранного документа: 10.06.2016
26.08.2017
№217.015.dd03

Способ измерения механических напряжений в мэмс-структурах

Использование: для измерения механических напряжений в МЭМС структурах. Сущность изобретения заключается в том, что способ измерения механических напряжений в МЭМС структурах включает формирование между пленкой-покрытием и основой промежуточного слоя, при этом промежуточный слой может иметь...
Тип: Изобретение
Номер охранного документа: 0002624611
Дата охранного документа: 04.07.2017
29.12.2017
№217.015.f120

Электронная система компенсационного акселерометра

Изобретение относится к области измерительной техники, а именно к устройствам для построения электронной системы преобразователя линейных ускорений. Электронная система компенсационного акселерометра содержит дифференциальный емкостный преобразователь, двухфазный генератор переменного тока,...
Тип: Изобретение
Номер охранного документа: 0002638919
Дата охранного документа: 18.12.2017
19.01.2018
№218.016.009e

Суперконденсатор на основе кмоп-технологии

Изобретение относится к твердотельному суперконденсатору и может быть использовано в устройствах хранения энергии разнообразных интегральных микросхем. Суперконденсатор содержит два электрода, размещенный между ними диэлектрический слой, конформно расположенный на нижнем электроде, при этом...
Тип: Изобретение
Номер охранного документа: 0002629364
Дата охранного документа: 29.08.2017
19.01.2018
№218.016.0b19

Устройство для защиты от несанкционированного прослушивания разговоров в помещении

Изобретение относится к области телефонной связи. Техническим результатом является повышение эффективности защиты речевой информации от утечки по техническим каналам. Упомянутый технический результат достигается тем, что в устройстве для защиты от несанкционированного прослушивания разговоров в...
Тип: Изобретение
Номер охранного документа: 0002632188
Дата охранного документа: 04.10.2017
20.01.2018
№218.016.180e

Способ извлечения галлия из порошковых галлийсодержащих отходов

Изобретение относится к области металлургии редких металлов, а более конкретно к способам извлечения галлия из твердых порошкообразных галлийсодержащих материалов. Порошкообразные галлийсодержащие отходы подвергают варке в каустической щелочи при температуре 350-400°С, затем растворяют в вводе,...
Тип: Изобретение
Номер охранного документа: 0002635585
Дата охранного документа: 14.11.2017
20.01.2018
№218.016.1972

Биоприпой для лазерной сварки биологических тканей

Изобретение относится к медицине и касается биоприпоя для лазерной сварки биологических тканей. Биоприпой содержит водную дисперсионную основу белка альбумина. При этом в его состав введены однослойные углеродные нанотрубки и медицинский краситель индоцианин зеленый при следующем соотношении...
Тип: Изобретение
Номер охранного документа: 0002636222
Дата охранного документа: 21.11.2017
Showing 1-10 of 22 items.
20.10.2013
№216.012.765f

Способ получения пористого анодного оксида титана

Изобретение относится к области гальванотехники и может быть использовано в области наноэлектроники. Способ включает формирование слоя пористого анодного оксида анодным окислением титанового образца в потенциостатическом режиме в электролите на неводной основе, при этом после формирования слоя...
Тип: Изобретение
Номер охранного документа: 0002495963
Дата охранного документа: 20.10.2013
10.04.2014
№216.012.b0fe

Тестовая структура для оценки радиуса кривизны острия иглы кантилевера сканирующего зондового микроскопа

Тестовая структура состоит из основания, содержащего приповерхностный слой. Приповерхностный слой имеет рельефную ячеистую структуру с плотной упаковкой. Соседние ячейки имеют общую стенку, а каждая ячейка является как минимум пятистенной. Стенки каждой ячейки расположены вертикально, а верхние...
Тип: Изобретение
Номер охранного документа: 0002511025
Дата охранного документа: 10.04.2014
10.08.2016
№216.015.5514

Способ изготовления межсоединений полупроводниковых приборов

Использование: для изготовления многоуровневой системы межсоединений кремниевой интегральной схемы. Сущность изобретения заключается в том, что формируют в изолирующем слое кремниевой структуры, в которой выполнены полупроводниковые приборы, углубления под будущие проводники-межсоединения,...
Тип: Изобретение
Номер охранного документа: 0002593415
Дата охранного документа: 10.08.2016
10.08.2016
№216.015.5562

Способ изготовления межсоединений полупроводниковых приборов

Использование: для изготовления многоуровневой системы межсоединений кремниевой интегральной схемы. Сущность изобретения заключается в том, что способ изготовления межсоединений полупроводниковых приборов, включающий формирование частиц нанометрового размера на поверхности, выращивание...
Тип: Изобретение
Номер охранного документа: 0002593416
Дата охранного документа: 10.08.2016
12.01.2017
№217.015.5853

Фильтр для очистки скважинной жидкости

Изобретение относится к нефтяной промышленности и может найти применение при очистке жидкости в стволе скважины от плавающего мусора и взвешенных частиц. Техническим результатом является повышение эффективности очистки скважинной жидкости. Фильтр для очистки скважинной жидкости включает щелевой...
Тип: Изобретение
Номер охранного документа: 0002588228
Дата охранного документа: 27.06.2016
12.01.2017
№217.015.609c

Фильтр очистки скважинной жидкости

Изобретение относится к нефтяной промышленности и может найти применение при очистке жидкости в стволе скважины от плавающего мусора и взвешенных частиц. Устройство включает щелевой патрубок, сетку, клапан, герметизатор межтрубного пространства скважины, муфту, корпус и цилиндрическое днище....
Тип: Изобретение
Номер охранного документа: 0002590924
Дата охранного документа: 10.07.2016
13.01.2017
№217.015.7f26

Способ получения термоэлектрического элемента

Изобретение относится к термоэлектрическому преобразованию энергии и может быть использовано при производстве термоэлектрических охладителей и генераторов. Сущность: способ получения термоэлектрического элемента включает подготовку верхней и нижней граней ветвей термоэлемента, создание системы...
Тип: Изобретение
Номер охранного документа: 0002601243
Дата охранного документа: 27.10.2016
25.08.2017
№217.015.99c9

Способ получения аморфных пленок халькогенидных стеклообразных полупроводников с эффектом фазовой памяти

Изобретение относится к способу получения тонких аморфных пленок халькогенидных стеклообразных полупроводников с эффектом фазовой памяти и может быть использовано в качестве рабочего слоя в устройстве энергонезависимой фазовой памяти для электронной техники. Используют модифицированный...
Тип: Изобретение
Номер охранного документа: 0002609764
Дата охранного документа: 02.02.2017
25.08.2017
№217.015.9b41

Способ получения материала фазовой памяти

Изобретение относится к получению халькогенидных ⋅полупроводниковых сплавов, используемых в устройствах энергонезависимой фазовой памяти. Предложен способ получения материала фазовой памяти, включающий измельчение и смешивание исходных компонентов, выбираемых из следующей пропорции:: 66,7 мол....
Тип: Изобретение
Номер охранного документа: 0002610058
Дата охранного документа: 07.02.2017
25.08.2017
№217.015.d015

Способ формирования 3d микроструктур кремния металл-стимулированным травлением

Изобретение относится к области микроэлектроники, в частности к технологии создания 3D микроструктур кремния, являющихся элементной базой функциональной микроэлектроники, металл-стимулированным травлением с использованием локально расположенных масок Ni. В состав раствора для травления кремния...
Тип: Изобретение
Номер охранного документа: 0002620987
Дата охранного документа: 30.05.2017
+ добавить свой РИД