13.02.2018
218.016.2855

СПОСОБ ПОЛУЧЕНИЯ ЭПИТАКСИАЛЬНЫХ СЛОЕВ КРЕМНИЯ

Вид РИД

Изобретение

Юридическая информация Свернуть Развернуть
№ охранного документа
0001591539
Дата охранного документа
10.04.2016
Краткое описание РИД Свернуть Развернуть
Аннотация: Способ получения эпитаксиальных слоев кремния, включающий создание композиции из двух кремниевых пластин с заданным зазором между ними, капиллярное втягивание в зазор расплава, содержащего алюминий, формирование зоны раствора-расплава и последующее ее перемещение в поле температурного градиента через одну из пластин до выхода на ее поверхность, отличающийся тем, что, с целью повышения качества слоев при увеличении их линейных размеров, в расплав дополнительно вводят 0,03-5,00 мас.% металла III B или IV B группы Периодической системы элементов, расплав которого имеет коэффициент поверхностного натяжения 0,44-0,73 Н/м.
Источник поступления информации: Роспатент

Всего документов: 5

Похожие РИД в системе