13.02.2018
218.016.283f

СПОСОБ ПОЛУЧЕНИЯ КРЕМНИЕВОЙ СТРУКТУРЫ

Вид РИД

Изобретение

Юридическая информация Свернуть Развернуть
№ охранного документа
0001559784
Дата охранного документа
10.04.2016
Краткое описание РИД Свернуть Развернуть
Аннотация: Способ получения кремниевой структуры, включающий формирование на рабочей поверхности пластины-источника заданного рельефа, сборку композиции подложка-источник, нагрев композиции до температуры 750-1050°C, заполнение зазора между источником и подложкой раствором-расплавом в течение 5-10 мин через торец композиции и последующее перемещение раствора-расплава через источник в поле градиента температуры, отличающийся тем, что, с целью повышения качества структур, рельеф формируют в виде усеченных пирамид высотой 5-50 мкм и площадью вершины 100-3600 мкм с шагом 500-800 мкм, после нагрева торец композиции приводят в контакт с насыщенным раствором кремния в расплаве алюминия, а перед перемещением раствора-расплава композицию нагревают до 1100-1200°C и выдерживают при этой температуре в течение 2-5 мин.
Источник поступления информации: Роспатент

Всего документов: 5

Похожие РИД в системе