×
10.05.2014
216.012.c1d7

СПОСОБ РАЗДЕЛЕНИЯ ПОЛУПРОВОДНИКОВЫХ ИЗДЕЛИЙ ПО НАДЕЖНОСТИ

Вид РИД

Изобретение

Юридическая информация Свернуть Развернуть
Краткое описание РИД Свернуть Развернуть
Аннотация: Способ разделения полупроводниковых изделий по надежности заключается в том, что на партии полупроводниковых изделий измеряют интенсивность шума на двух частотах 200 Гц и 1000 Гц. Вычисляют показатель формы спектра шума γ по формуле: , где и - квадрат эффективного значения шума соответственно на частотах f и f, проводят воздействие рентгеновским облучением дозой, допустимой по техническим условиям, вновь измеряют интенсивность шума и вычисляют показатель формы спектра γ. По величине коэффициента M, равного M=γ/γ партию изделий разделяют на надежные и потенциально ненадежные изделия. Технический результат - повышение достоверности способа. 1 табл.
Основные результаты: Способ разделения полупроводниковых изделий по надежности, включающий измерение низкочастотного шума на двух частотах f и f, различающихся не менее чем на удвоенные значения ширины полосы измерения, при номинальном напряжении питания и одинаковом значении ширины полосы измерения, и вычисление коэффициента γ, характеризующего вид спектра, по формуле: , где и - квадрат эффективного значения шума соответственно на частотах f и f, отличающийся тем, что измерение низкочастотного шума и вычисление коэффициента проводят до γ и γ после воздействия рентгеновским излучением допустимой по техническим условиям дозой и по значению коэффициента M=γ/γ, партию полупроводниковых изделий разделяют на надежные и ненадежные изделия.
Реферат Свернуть Развернуть

Изобретение относится к микроэлектронике, а именно к обеспечению качества и надежности полупроводниковых изделий (ППИ), и может быть использовано как на этапе производства, так и на этапе применения.

Известно из основ надежности ППИ [1], что надежность конкретных изделий определяется количеством содержащихся в них внутренних дефектов (дислокаций, неконтролируемых примесей и других точечных дефектов). При радиационном облучении ППИ одним из основных эффектов является накопление заряда на внутренних дефектах, изменение поверхностного состояния на границе раздела диэлектрик - полупроводник, внутреннее электрическое поле p-n-перехода, что приводит к изменению электрических параметров, отражающих повышение концентрации дефектов и как результат - снижение надежности каждого изделия.

Известно также из результатов технологических отбраковочных и диагностических испытаний ППИ [2], что наличие дефектов в структуре ППИ неизбежно отражается на характере процессов, связанных с переносом тока через структуру, что приводит к флуктуациям проводимости и воспринимается во внешней цепи как низкочастотный шум (НЧШ), уровень которого пропорционален скорости деградации структуры.

Известен способ отбраковки потенциально ненадежных ППИ [3], когда по критерию шумового параметра отбраковываются изделия с большими шумами как потенциально ненадежные. Недостаток способа в том, что можно отбраковать до 15% надежных изделий.

Известен способ определения потенциально ненадежных ППИ [4], состоящий в том, что после измерения интенсивности шумов пропускают через испытуемое изделие импульс тока, в 1,5-5 раз превышающий по амплитуде предельно допустимое значение, затем вновь измеряют интенсивность шума и по отношению результатов двух измерений судят о потенциальной надежности изделий.

Недостатком способа является подача импульса, в 1,5-5 раз превышающего допустимые по техническим условиям значения, что может вызвать необратимые процессы в структуре изделий, которые могут привести к недостаточной достоверности результатов и преждевременному отказу изделий в эксплуатации.

Наиболее близким аналогом является способ разделения полупроводниковых изделий по надежности [5], по которым разделение партий НИИ по надежности проводят по значению коэффициента γ, характеризующего вид спектра, равного

где и - квадрат эффективного значения шума на частотах f1 и f2.

Недостатком данного способа является то, что его достоверность составляет не более 70%.

Изобретение направлено на повышение достоверности способа. Это достигается тем, что до и после воздействия рентгеновского излучения предельной дозы, допустимой техническими условиями, измеряется интенсивность шума на двух частотах f1 и f2, различающихся не менее, чем на удвоенное значение ширины полосы измерения, при положительном напряжении питания и одинаковом значении ширины полосы измерения Δf. По полученным данным рассчитывается значение коэффициента γ1 до испытаний и γ2 после испытаний по формуле (1). По значениям γ1 и γ2 находят коэффициент M=γ21, по которому разделяют изделия на надежные и потенциально ненадежные.

Способ осуществляется следующим образом.

Методом случайной выборки было отобрано 10 аналоговых ИС типа TLC27, выполненных по МОП технологии. Для каждой ИС были измерены значения НЧ шума методом прямого измерения по выводам «питание - общая точка» на частотах f1=200 Гц и f2=1000 Гц. Ширина полосы измерения частот Δf=200 Гц, время усреднения τ=2 с. По результатам измерений были рассчитаны значения параметра γ1 по формуле (1). После измерений было проведено воздействие рентгеновским излучением на установке УРС 55 общей дозой 10 кР с последующим измерением параметра НЧ шума и расчетом величины γ2 (см. табл.). По значениям γ1 и γ2 найден коэффициент М=γ21, также указан в таблице.

Таблица
№ ИС Значение шума мкB2, на частоте, Гц γ1 Значение шума после облучения мкB2, на частоте, Гц γ2 M=γ21
200 1000 200 1000
1 919 199 0,95 1040 215 0,98 1,03
2 670 157 0,9 782 173 0,94 1,04
3 778 163 0,97 904 179 1,01 1,04
4 847 180 0,98 989 194 1,01 1,03
5 865 187 0,95 998 204 0,99 1,04
6 1085 194 1,07 1301 213 1,12 1,05
7 733 158 0,95 831 174 0,97 1,02
8 1160 200 1,09 1322 221 1,11 1,02
9 964 193 0,98 1044 208 1,00 1,02
10 633 166 0,83 674 174 0,84 1,01

Если выбрать критерий для потенциально ненадежных схем М≥1,05, то схема №6 будет потенциально ненадежной. Можно выделить ИС повышенной надежности со значением М≤1,01 (схема №10).

Источники информации

1. Чернышев А.А. Основы надежности полупроводниковых приборов и интегральных микросхем. - М.: Радио и связь, 1988. - 256 с.

2. Горлов М.И., Емельянов В.А., Ануфриев Д.Л. Технологические отбраковочные и диагностические испытания полупроводниковых изделий. - Мн.: Белорусская наука. 2006. - 367 с.

3. Горлов М.И., Ануфриев Л.П., Бордюжа О.Л. Обеспечение и повышение надежности полупроводниковых приборов и интегральных схем в процессе серийного производства. - Мн.: Интеграл, 1997. - 318-320 с.

4. Авторское свидетельство СССР №490047, G01R 31/26, 1976.

5. Патент РФ №2309418, G01R 31/26, 2007.

Способ разделения полупроводниковых изделий по надежности, включающий измерение низкочастотного шума на двух частотах f и f, различающихся не менее чем на удвоенные значения ширины полосы измерения, при номинальном напряжении питания и одинаковом значении ширины полосы измерения, и вычисление коэффициента γ, характеризующего вид спектра, по формуле: , где и - квадрат эффективного значения шума соответственно на частотах f и f, отличающийся тем, что измерение низкочастотного шума и вычисление коэффициента проводят до γ и γ после воздействия рентгеновским излучением допустимой по техническим условиям дозой и по значению коэффициента M=γ/γ, партию полупроводниковых изделий разделяют на надежные и ненадежные изделия.
СПОСОБ РАЗДЕЛЕНИЯ ПОЛУПРОВОДНИКОВЫХ ИЗДЕЛИЙ ПО НАДЕЖНОСТИ
СПОСОБ РАЗДЕЛЕНИЯ ПОЛУПРОВОДНИКОВЫХ ИЗДЕЛИЙ ПО НАДЕЖНОСТИ
СПОСОБ РАЗДЕЛЕНИЯ ПОЛУПРОВОДНИКОВЫХ ИЗДЕЛИЙ ПО НАДЕЖНОСТИ
СПОСОБ РАЗДЕЛЕНИЯ ПОЛУПРОВОДНИКОВЫХ ИЗДЕЛИЙ ПО НАДЕЖНОСТИ
СПОСОБ РАЗДЕЛЕНИЯ ПОЛУПРОВОДНИКОВЫХ ИЗДЕЛИЙ ПО НАДЕЖНОСТИ
СПОСОБ РАЗДЕЛЕНИЯ ПОЛУПРОВОДНИКОВЫХ ИЗДЕЛИЙ ПО НАДЕЖНОСТИ
СПОСОБ РАЗДЕЛЕНИЯ ПОЛУПРОВОДНИКОВЫХ ИЗДЕЛИЙ ПО НАДЕЖНОСТИ
Источник поступления информации: Роспатент

Showing 1-10 of 16 items.
10.01.2013
№216.012.1a17

Способ разбраковки полупроводниковых изделий

Изобретение относится к микроэлектронике, а именно к способам обеспечения качества и надежности полупроводниковых изделий (диодов, транзисторов и интегральных схем), и может быть использовано для разбраковки по критерию потенциальной надежности как в процессе производства, так и на входном...
Тип: Изобретение
Номер охранного документа: 0002472171
Дата охранного документа: 10.01.2013
20.02.2013
№216.012.2807

Устройство для измерения параметра низкочастотного шума γ

Изобретение относится к области радиоизмерений, а именно к измерению шумов полупроводниковых изделий, и может быть использовано для лабораторных и цеховых измерений параметра шума γ. Устройство для измерения параметра низкочастотного шума γ содержит два независимых канала усиления, к выходу...
Тип: Изобретение
Номер охранного документа: 0002475767
Дата охранного документа: 20.02.2013
10.06.2013
№216.012.49dd

Способ отбраковки полупроводниковых изделий пониженного уровня надежности

Изобретение относится к микроэлектронике, а именно к способам обеспечения надежности полупроводниковых изделий (ППИ) (транзисторов и интегральных схем), и может быть использовано для обеспечения повышенной надежности партий изделий как на этапе производства, так и на входном контроле на...
Тип: Изобретение
Номер охранного документа: 0002484489
Дата охранного документа: 10.06.2013
20.08.2013
№216.012.61bf

Способ сравнительной оценки надежности полупроводниковых изделий

Изобретение относится к микроэлектронике, а именно к способам обеспечения качества и надежности полупроводниковых изделий (ПИИ), и может быть использовано для сравнительной оценки надежности партий НИИ как на этапе производства, так и на входном контроле на предприятиях - изготовителях...
Тип: Изобретение
Номер охранного документа: 0002490655
Дата охранного документа: 20.08.2013
20.08.2013
№216.012.61c0

Способ отбраковки потенциально ненадежных транзисторов

Изобретение относится к микроэлектронике, а именно к способам обеспечения надежности транзисторов, и может быть использовано для разделения транзисторов по надежности в процессе производства, а также на входном контроле на предприятиях-изготовителях радиоэлектронной аппаратуры. Сущность:...
Тип: Изобретение
Номер охранного документа: 0002490656
Дата охранного документа: 20.08.2013
10.09.2013
№216.012.68df

Способ сравнительной оценки надежности партий интегральных схем

Изобретение относится к микроэлектронике, а именно к способам обеспечения качества и надежности интегральных схем (ИС), и может быть использовано для сравнительной оценки надежности партий ИС как на этапе производства, так и на входном контроле на предприятиях-изготовителях радиоэлектронной...
Тип: Изобретение
Номер охранного документа: 0002492494
Дата охранного документа: 10.09.2013
20.02.2014
№216.012.a352

Способ разделения транзисторов по надежности

Изобретение относится к микроэлектронике, а именно к обеспечению качества и надежности полупроводниковых изделий (ПЛИ), в частности транзисторов, и может быть использовано как на этапе производства, так и на этапе применения. Способ разделения транзисторов по надежности включает измерение...
Тип: Изобретение
Номер охранного документа: 0002507525
Дата охранного документа: 20.02.2014
10.04.2014
№216.012.b34d

Способ сравнительной оценки надежности партий полупроводниковых изделий

Изобретение относится к микроэлектронике, а именно к способам обеспечения качества и надежности полупроводниковых изделий ППИ (транзисторов, интегральных схем (ИС) и т.д.) и может быть использовано для сравнительной оценки надежности партий ППИ как в процессе производства, так и при входном...
Тип: Изобретение
Номер охранного документа: 0002511617
Дата охранного документа: 10.04.2014
10.04.2014
№216.012.b35d

Способ отбраковки полупроводниковых изделий пониженного уровня качества из партий изделий повышенной надежности

Изобретение относится к микроэлектронике, а именно к способам обеспечения надежности полупроводниковых изделий (ППИ) (транзисторов и интегральных схем), и может быть использовано для обеспечения повышенной надежности партий изделий как на этапе производства, так и на входном контроле на...
Тип: Изобретение
Номер охранного документа: 0002511633
Дата охранного документа: 10.04.2014
10.09.2014
№216.012.f197

Способ испытания на коррозионную стойкость интегральных схем

Изобретение относится к микроэлектронике, а именно к способам испытаний интегральных схем (ИС) на коррозионную стойкость. Сущность: перед испытанием ИС проводят проверку внешнего вида, электрических параметров и проверку герметичности, нагревают до температуры плюс 125°С со скоростью не более...
Тип: Изобретение
Номер охранного документа: 0002527669
Дата охранного документа: 10.09.2014
Showing 1-10 of 76 items.
10.01.2013
№216.012.1a17

Способ разбраковки полупроводниковых изделий

Изобретение относится к микроэлектронике, а именно к способам обеспечения качества и надежности полупроводниковых изделий (диодов, транзисторов и интегральных схем), и может быть использовано для разбраковки по критерию потенциальной надежности как в процессе производства, так и на входном...
Тип: Изобретение
Номер охранного документа: 0002472171
Дата охранного документа: 10.01.2013
20.02.2013
№216.012.2807

Устройство для измерения параметра низкочастотного шума γ

Изобретение относится к области радиоизмерений, а именно к измерению шумов полупроводниковых изделий, и может быть использовано для лабораторных и цеховых измерений параметра шума γ. Устройство для измерения параметра низкочастотного шума γ содержит два независимых канала усиления, к выходу...
Тип: Изобретение
Номер охранного документа: 0002475767
Дата охранного документа: 20.02.2013
20.02.2013
№216.012.28a9

Умножитель частоты в четное число раз n

Изобретение относится к области электротехники и может быть использовано в качестве источника электропитания повышенных промышленных частот и более высоких частот. Технический результат заключается в уменьшении потерь мощности. Умножитель частоты содержит преобразователь трехфазного напряжения...
Тип: Изобретение
Номер охранного документа: 0002475929
Дата охранного документа: 20.02.2013
20.02.2013
№216.012.28ad

Четырехтактный реверсивный распределитель импульсов для управления шаговым двигателем с автоматической коррекцией одиночных ошибок

Изобретение относится к области автоматики и может быть использовано в коммутаторах шаговых электроприводов систем числового программного управления на базе четырехфазных шаговых двигателей. Технический результат заключается в повышении надежности. Для этого в заявленном устройстве аппаратно...
Тип: Изобретение
Номер охранного документа: 0002475933
Дата охранного документа: 20.02.2013
27.02.2013
№216.012.29e9

Способ очистки воздуха

Изобретение относится к процессам пылеулавливания и может быть использовано в любой отрасли народного хозяйства, где требуется улавливание высокодисперсных аэрозолей из воздушного протока, в частности в пищевой промышленности. Способ очистки воздуха заключается в пропускании воздуха через...
Тип: Изобретение
Номер охранного документа: 0002476256
Дата охранного документа: 27.02.2013
10.04.2013
№216.012.324a

Разнотемпературная конденсационная камера

Изобретение относится к оборудованию для пылеулавливания. Разнотемпературная конденсационная камера с газовым трактом преимущественно прямоугольного сечения содержит нижнее днище, верхнее днище, холодную и горячую боковые стенки тракта с устройствами обеспечения разности температур их наружных...
Тип: Изобретение
Номер охранного документа: 0002478417
Дата охранного документа: 10.04.2013
20.04.2013
№216.012.3773

Роторный ветродвигатель

Изобретение относится к области ветроэнергетики и может быть использовано для создания новых преобразователей энергии ветра в электрическую. Сущность изобретения заключается в том, что для уменьшения поперечного сечения ветроприемника, движущегося навстречу потоку, в роторном ветродвигателе,...
Тип: Изобретение
Номер охранного документа: 0002479748
Дата охранного документа: 20.04.2013
27.04.2013
№216.012.3bc3

Система монтажа полупроводникового кристалла к основанию корпуса

Изобретение относится к области изготовления полупроводниковых изделий, имеющих большую площадь кристаллов. Система монтажа полупроводникового кристалла к основанию корпуса содержит кремниевый кристалл и медный корпус между которыми установлен буферный элемент с образованием паяного шва, при...
Тип: Изобретение
Номер охранного документа: 0002480860
Дата охранного документа: 27.04.2013
20.05.2013
№216.012.4177

Ветроэнергетическая установка

Изобретение относится к области ветроэнергетики и может быть использовано для создания новых преобразователей энергии ветра в электрическую. Ветроэнергетическая установка содержит башню, поворотное основание, поворотные валы с лопастями, статорные элементы, роторные элементы, флюгер с датчиком...
Тип: Изобретение
Номер охранного документа: 0002482329
Дата охранного документа: 20.05.2013
27.05.2013
№216.012.4514

Печь для обжига мелкозернистого материала в псевдоожиженном слое

Изобретение относится к области обжига мелкозернистых материалов в печах с псевдоожиженным слоем. Для повышения равномерности обжига печь, содержащая камеру подогрева с газораспределительной решеткой, снабженную питателем и соединенную с санитарным циклоном, камеру обжига с...
Тип: Изобретение
Номер охранного документа: 0002483261
Дата охранного документа: 27.05.2013
+ добавить свой РИД