Автор РИД: ОБЩЕСТВО С ОГРАНИЧЕННОЙ ОТВЕТСТВЕННОСТЬЮ "КРОКУС НАНОЭЛЕКТРОНИКА"

Предложен способ формирования медной разводки с толстой кобальтсодержащей вкладкой в структуре устройств, работающих на основе магнитного туннельного перехода. В результате осуществления способа по 3 вариантам формируется канавка с медной разводкой и вкладкой кобальта без дефектов. Способ...

Изобретение относится к химико-механической полировке толстых слоев ферромагнитных кобальтсодержащих сплавов и может применяться при изготовлении элементов приборов и устройств в микро- и наноэлектронике. Способ химико-механической полировки толстого слоя ферромагнитного кобальтсодержащего...