Автор РИД: Фигурин Б.Л.

Способ нанесения металлических покрытий в вакууме, включающий очистку подложки путем предварительного нанесения технологического слоя и последующего его удаления, отличающийся тем, что, с целью повышения качества покрытий за счет повышения адгезии, технологический слой наносят магнетронным...

Устройство для получения металлических покрытий в вакууме, содержащее вакуумную камеру с разреженной газовой средой, в которой размещены подложка, анод и катод, отличающееся тем, что, с целью повышения адгезионной прочности покрытий, катод установлен внутри анода в одной плоскости с ним, а...