Автор РИД: Гусейнов Давуд Вадимович

Группа изобретений относится к способам имитационного тестирования изделий микро- и наноэлектроники. На приборную структуру воздействуют эквивалентным облучением ионами с флюенсом от 10 см до 10 см и энергией в интервале 1-500 кэВ, уточняемыми в зависимости от состава и морфологии структуры,...

Группа изобретений относится к технологии вакуумной эпитаксии германия или германия и кремния, включающей применение вакуумного осаждения германия из газовой среды германа в качестве способа удаления естественно образовавшегося или сформированного защитного слоя диоксида кремния с рабочей...