Автор РИД: Евдокимова Татьяна Александровна

Изобретение относится к области нанотехнологий, используемых для нанесения покрытий, и может найти применение в ракетостроении, авиационной и машиностроительной промышленности. Осуществляют поддержание динамического вакуума в камере для нанесения покрытия и проводят поочередное напыление слоя...