Правообладатель РИД: Тоисев Вадим Николаевич

Изобретение относится к устройству для вакуумно-плазменного нанесения металлического двухстороннего покрытия на пьезопленки. Упомянутое устройство содержит вакуумную камеру с источником ионно-плазменного распыления и держатели пьезопленок. Держатели пьезопленок выполнены в виде рамок, каждая из...