Правообладатель РИД: Ткачев Александр Вячеславович

Изобретение относится к области приборостроения и может быть использовано при изготовлении чувствительных элементов, применяемых при изготовлении микромеханических акселерометров, микрогироскопов, интегральных датчиков давления. Способ диффузионной сварки монокристаллического кремния и стекла...