Правообладатель РИД: Потапов Вадим Сергеевич

Изобретение относится к области гальванотехники, в частности к осаждению пленок тройного сплава CoNiFe для элементов интегральных микросистем, концентрирующих или экранирующих магнитное поле. Способ включает осаждение пленок в гальванической ванне с вертикальным расположением электродов при...