Правообладатель РИД: Дмитриева Марина Васильевна

Изобретение относится к способу разделения смеси пыли кремния, абгазов процесса, хлористого алкила и алкилхлорсиланов. Способ характеризуется тем, что разделяемая смесь переменного состава поступает в кубовую часть ректификационной колонны, работающей с полным возвратом флегмы, и на колонне...