Правообладатель РИД: Михеев Андрей Евгеньевич

Изобретение относится к оборудованию вакуумных приборов и может быть использовано в качестве загрузочных или шлюзовых устройств. Вакуумный щелевой затвор предназначен для взаимной изоляции вакуумных объемов в транспортных системах со шлюзовой или кластерной камерами. Вакуумный щелевой затвор...