Правообладатель РИД: Сидоренко Анатолий Сергеевич

Изобретение относится к способу получения электропроводящего покрытия на металлической или неметаллической подложке с использованием механической вибрации. Осуществляют подачу рабочего газа в вакуумную камеру с подложкой и ионно-плазменное напыление проводящего покрытия на подложку магнетронным...

Изобретение относится к способу получения электропроводящего покрытия на металлической или неметаллической подложке с использованием механической вибрации. Осуществляют подачу рабочего газа в вакуумную камеру с подложкой и ионно-плазменное напыление проводящего покрытия на подложку магнетронным...