Правообладатель РИД: МАГДЕНКО-САВУРЕ, Любовь (FR)

Изобретение относится к мишени для катодного распыления и способу изготовления мишени (варианты). Мишень изготовлена с одной стороны из оксида по меньшей мере одного элемента, выбираемого из группы, содержащей титан, кремний и цирконий, и, с другой стороны, из частиц металла, включенного в...