Правообладатель РИД: Сунгатуллин Ильназ Анасович

Изобретение относится к оборудованию вакуумных приборов и может быть использовано в качестве загрузочных или шлюзовых устройств. Вакуумный щелевой затвор предназначен для взаимной изоляции вакуумных объемов в транспортных системах со шлюзовой или кластерной камерами. Вакуумный щелевой затвор...

Изобретение относится к области нанесения покрытий из сплавов, металлов, неметаллов и их соединений, в том числе многокомпонентных, на порошковые материалы, а также для обработки порошковых материалов в плазме. Устройство для нанесения покрытий на порошковые материалы содержит вакуумную камеру...