Правообладатель РИД: Прокопьев Айсен Русланович

Изобретение относится к нанотехнологиям и физике конденсированного состояния вещества и может быть использовано в синтезировании тонких углеродных пленок, применяющихся в широком спектре электронных приборов. Способ формирования углеродных пленок, включающий осаждение атомов углерода на...