Правообладатель РИД: Шиян Ярослав Германович

Изобретение относится к элементам внутрикамерных устройств установок вакуумного напыления и может быть использовано при нанесении металлических и полупроводниковых пленок для покрытия деталей и элементов, применяемых в изделиях электронной, приборостроительной и оптической промышленности, а...

Изобретение относится к поворотному контейнеру для формирования тонких пленок на подложке. Указанный поворотный контейнер содержит плоскую пластину со столбиком-выравнивателем и маску. Плоская пластина соединена соединительным стержнем с маской. В указанной пластине выполнено посадочное место в...